4.1现有污染源自本标准实施之日起至2020年3月31日止执行第I时段规定的限值，自2020年4 月1日起执行第II时段规定的限值。 4.2新建污染源自本标准实施之日起执行第IⅡI时段规定的限值。 4.3厂区内VOCs无组织监控要求自2020年4月1日起执行。 4.4其他未划分时段的排放限值和控制要求等，自本标准实施之日起执行。

5.1电子工业生产过程中，设备或车间排气筒排放大气污染物浓度执行表1规定的限值。

表1排气筒大气污染物排放浓度限值

石油天然气标准规范范本适用于电子专用材料、电子元件、即制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件工业企业的确酸酸洗工艺。 适用于印制电路板和半导体器件工业企业。 适用于电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件工业企业。 适用于电子专用材料、半导体器件和显示器件及光电子器件工业企业。 °苯系物包括苯、甲苯、二甲苯、三甲苯、乙苯和苯乙烯。 适用于电子专用材料、电子元器件、印制电路板和电子终端产品工业企业。 适用于电子专用材料、电子元器件、印制电路板、半导体器件和电子终端产品工业企业

5.2VOCs燃烧（焚烧、氧化）装置除满足表1规定的限值外，还需对排放烟气中的氮氧化物、二嗯 英类进行控制，达到表2规定的限值。

Cs燃烧（焚烧、氧化）装置除满足表1规定的限值外，还需对排放烟气中的氮氧化物、二嗯 控制，达到表2规定的限值

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VOCs燃烧（焚烧、氧化）装置氮氧化物和二嗯

5.3进人VOCs燃烧（焚烧、氧化）装置的废气需要补充空气进行燃烧、氧化反应的，排气筒申实测 大气污染物排放浓度，应按公式（1）换算为基准含氧量为3%的大气污染物基准排放浓度，并以基准 排放浓度作为达标判定依据。进入VOCs燃烧（楚烧、氧化）装置中废气含氧量可满足自身燃烧、氧化 反应需要，不需另外补充空气的（燃烧器需要补充空气助燃的除外），按排气筒中实测大气污染物浓度 作为达标判定依据，但装置出口烟气含氧量不得高于装置进口废气含氧量。

式中： 0基一一干烟气基准含氧量，%，取值为3; 0实一一实测的干烟气含氧量，%； 5.4非燃烧（烧、氧化）类废气处理装置的排放口以实测浓度作为达标判定依据。 5.5排气筒高度应按环境影响评价要求确定，且应不低于15m。排气筒排放氯气、氰化氢两种污染物 中任一种或一种以上时，其高度应不低于25m。 5.6当执行不同排放控制要求的废气合并排气筒排放时，应在废气混合前进行监测，并执行相应的排 放控制要求。若可选择的监控位置只能对混合后的废气进行监测，则应按各排放控制要求中最严格的规 定执行。

6.1VOCs物料的储存、转移和输送控制要求

6.1.1VOCs物料应储存于密闭的容器、包装袋、储罐、储库、料仓中。盛装VOCs物料的容器或包 装袋应存放于储存室内。盛装VOCs物料的容器或包装袋在非取用状态时应加盖、封口，保持密闭。 6.1.2对于真实蒸气压≥2.8kPa且储罐容积≥20m"的挥发性有机液体储罐，应符合以下规定之一： a）采用浮顶罐； b）采用固定顶罐，应安装密闭排气系统，排气至废气收集处理系统并执行表1和表2规定的限值

c）采取气相平衡系统； d）采取其他等效措施。

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d）采取其他等效措施。 6.1.3固定顶罐应符合下列规定： a) 储罐呼吸阀、计量或取样装置，除工作、测量或取样外，应保持气密状态； 罐顶不应有破洞、裂缝或其他破损情况。 6.1.4 内浮顶罐应符合下列规定： 内浮顶罐应安装液体镶嵌式密封、机械式鞋形密封、双封式密封或其他等效密封的其中一种高 效密封方式； b） 罐顶上方VoCs检测浓度不应超过4000μumol/mol。 6.1.5外浮顶罐应符合下列规定： 外浮顶罐应采用双封式密封，且初级密封应为液体镶嵌式密封、机械式鞋形密封或其他等效密 封的其中一种高效密封方式； b) 初级密封外壳和二级密封不应有任何开口。 6.1.6液体VOCs物料应采用密闭管道输送。非管道输送方式转移VOCs物料时，应采用密闭容器。 6.1.7粉状、粒状VOCs物料应采用气力输送设备、管状带式输送机、螺旋输送机等密闭输送方式， 或者采用密闭的包装袋、容器或罐车进行物料转移。 6.1.8盛装过VOCs物料的废包装容器应加盖密闭。

6.1.3固定顶罐应符合下列规定：

6.2VOCs物料的使用过程控制要求

2.1VOCs物料的使用过程应采用密闭设备，或在密闭空间内进行操作，废气经收集系统导入 统后排放。不能密闭的，应采取局部气体收集导入处理系统后排放。VOCs物料的使用过程包括 限于以下作业：

a）溶剂复配、配胶等； 上（点）胶、涂漆、喷涂、涂覆、印刷等； c) 光刻、显影、刻蚀、扩散等； d）研磨、清洗、烘干等。

a）溶剂复配、配胶等； b）上（点）胶、涂漆、喷涂、涂覆、印刷等； c）光刻、显影、刻蚀、扩散等； d）研磨、清洗、烘干等。

6.2.2企业应记录含VOCs原辅材料的名称、使用量、回收量、废弃量、去向以及VOCs含量。记录 保存期限不得少于三年。 6.2.3实验室若涉及使用含VOCs的化学品进行实验，应在通风柜（橱）中进行，废气应排至VOCs 废气收集处理系统。

6.2.3实验室若涉及使用含VOCs的化学品进行实验，应在通风柜（橱）中进行，废气应排至VOCs 废气收集处理系统。

6.3.1对气态、液态VOCs物料流经的泵、压缩机、阀门、法兰及其他连接件等密封点大于等于2000 个的企业（不含洁净空间内的设备或管线组件密封点），企业应进行泄漏检测。满足下列条件之一，则 认定设备与管线组件发生了泄漏：

a）目测设备与管线组件存在渗液、滴液现象

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b）设备与管线组件密封点的VOCs泄漏检测值超过表3规定的限值。

3设备与管线组件密封点的VOCs泄漏检测限

单位：umol/mol

则认定企业未采取有效措施减少物料泄漏 企业应建立泄漏检查、检测与修复制度，对设备与管线组件应每周进行不少于一次的目视检查， 缩机等动密封点每季度检测一次，对设备与管线组件的静密封点每半年检测一次。泄漏检测应 ，记录检查时间、设备与管线组件状况、检测时间、检测仪器读数，修复时应记录修复时间和 成修复的时间，记录修复后检测仪器读数，记录保存期限不得少于三年。

6.3.3企业应建立泄漏检查、检测与修复制度，对设备与管线组件应每周进行不少于一次的目视检查， 对泵、压缩机等动密封点每季度检测一次，对设备与管线组件的静密封点每半年检测一次。泄漏检测应 建立台帐，记录检查时间、设备与管线组件状况、检测时间、检测仪器读数，修复时应记录修复时间和 确认已完成修复的时间，记录修复后检测仪器读数，记录保存期限不得少于三年。 6.3.4存在泄漏的设备及管线组件，应予以标识，并最晚不迟于自发现之日起15日内完成修复。符合 下列条件之一的设备与管线组件可纳入延迟修复范围，并于下次停车检修期间完成修复。 a）装置停车条件下才能修复； b）立即维修存在安全风险； c）泄漏源立即维修产生的VOCs排放量大于延迟修复的排放量。 3.3.5采用无泄漏型式的设备或管线组件，免干泄漏检测

6.4敲开液面VOCs逸散控制要求

5.4.1在安全许可条件下，废水收集系统（所有用于含VOCs、恶臭污染物废水集输的设备、管线） 应采用密闭管道输送；如采用沟渠输送的，应加盖密闭。废水集输系统的接入口和排出口应采取与环境 空气隔离的措施

4.2废水储存、处理设施的开液面上方100mm处的VOCs浓度，如大于100umol/mol，应符 规定之一：

a）采用浮动顶盖（曝气池和气浮池除外）； b）采用固定顶盖，应排气至废气收集处理系统并执行表1和表2规定的限值； c）采用其它等效措施。

6.4.3对开式循环冷却水系统，每半年对流经换热器进口和出口的循环冷却水中的总有机碳（TOC） 浓度进行检测，若出口浓度大于进口浓度10%，则认定发生泄漏，并应进行泄漏源修复与记录，

6.5.1废气收集处理系统应先于生产活动及工艺设施启动，并同步运行，后于生产活动及工艺设施关 闭。废气收集处理系统发生故障或检修时，对应的生产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使 用：生产工艺设备不能停止运行或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。

GB/T16758、AQ/T4274规定的方法测量控制风速，测量点应选取在距排风罩开口面最远处的VOCs无 组织排放位置，控制风速不应低于0.3m/s

组织排放位置，控制风速不应低于0.3m/s。 6.5.3废气收集系统的输送管道应密闭。废气收集系统应在负压下运行，若处于正压状态，应对输送 管道组件的密封点进行泄漏检测，泄漏检测值不应超过500umol/mol，亦不应有感官可察觉泄漏。泄漏 检测频次、修复与记录的要求按照6.3规定执行

a）吸附装置，应记录吸附剂种类、更换/再生周期、更换量； b 燃烧装置，应记录运行时操作温度； 采用其他VOCs治理设施，应记录保养维护事项，并记录主要操作参数； d）应记录VOCs治理设施及排污工艺设施的运转时间。

6.5.5采用非原位再生吸附处理工艺进行废气治理的，应按审定的设计文件要求确定吸附剂的使用量

5.5采用非原位再生吸附处理工艺进行废气治理的，应按审定的设计文件要求确定吸附剂的使 更换周期，每万立方米/小时设计风量的吸附剂用量不应小于1立方米，更换周期不应长于1个 吸附剂应进行处置或综合利用，购买吸附剂和废吸附剂处理的相关合同、票据至少保存三年。

6.6厂区内VOCs无组织监控要求

电子专用材料、电子元器件、印制电路板和电子终端产品工业企业应对厂区内非甲烷总烃无组 行监控。 区内非甲烷总烃无组织监控点浓度限值执行表4规定的限值。

表4厂区内无组织排放限值

7.1.2企业边界大气污染物浓度执行表5规定的限值。

7.1.2企业边界大气污染物浓度执行表5规定的限值。

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表5企业边界大气污染物浓度限值

3.1.1企业应依法按照《环境监测管理办法》和HJ819等规定，建立企业监测制度，制定监测方案， 对污染物排放状况及其对周边环境质量的影响开展自行监测，保存原始监测记录，并公布监测结果。 8.1.2企业应依法安装污染物排放自动监控设备，自动监控设备要求按《污染源自动监控管理办法》 和HJ75中相关要求执行。 3.1.3企业应根据使用原料、生产工艺过程、生产的产品、副产品和实际排放监测结果，从大气污染

8.2.1按DB11/1195的规定设置废气采样口和采样平台，并满足GB/T16157、HJ/T397和DB11/T 1484规定的采样条件，

8.3.1对）区内NMHC无组织排放进行监控时，在）房门窗或通风口、其他开口（孔）等排放口外 1m，距离地面1.5m以上位置处进行监测。若厂房不完整（如有顶无围墙），则在操作工位下风向1m， 距离地面1.5m以上位置处进行监测。厂区内NMHC任何1小时平均浓度的监测采用HJ604、HJ1012 规定的方法，以连续1小时采样获取平均值，或在任何1小时内以等时间间隔采集3个以上样品，计算 平均值。 8.3.2企业边界大气污染物的监测采样应按HJ/T55的规定执行。企业边界大气污染物浓度应以任何 连续1小时的采样获取平均值，或在任何1小时内以等时间间隔采集3个以上样品，计算平均值，

习且 3.2企业边界大气污染物的监测采样应按HJ/T55的规定执行。企业边界大气污染物浓度应以 续1小时的采样获取平均值，或在任何1小时内以等时间间隔采集3个以上样品，计算平均值， 3.3泄漏和散开液面排放的VOCs检测应按HJ733的规定执行。

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4.1大气污染物浓度的分析测定应按照表6规定的方法执行。 4.2本标准发布实施后，国家发布新的污染物监测方法标准，如适用范围和条件满足本标准要 适用于本标准相应污染物的测定。

8.4.1大气污染物浓度的分析测定应按照表6规定的方法执行。

表6大气污染物浓度测定方法标准

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污染物浓度测定方法标

8. 5监测工况要求

5.1对于建设项目环境保护设施工验收监测或限期治理后的监测，采样期间的工况不应低于 况的75%。对于监督性监测，不受工况和生产负荷限制。 5.2生产设施应采用合理的通风措施，不应稀释排放。

重庆标准规范范本1本标准由市和区生态环境主管部门统一监督实施。

示准由市和区生态环境主管部门统一监督实施。 吸生态环境部门在对企业进行监督性检查时，可以现场即时采样或监测的结果，作为判定排污 饰全排达运准以及实游相关环培保拍能进旅的信据

9.2各级生态环境部门在对企业进行监督性检查时，可以现场即时采样或监测的结果，作为判定排污 行为是否符合排放标准以及实施相关环境保护管理措施的依据。

本标准中电子专用材料涵盖的产品如下：

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A.1电子功能材料： A.1.1半导体材料：单晶硅棒（片）、单晶锗、砷化镓等； A.1.2光电子材料：发光二极管（LED）用蓝宝石基片医疗器械标准，液晶显示器件（LCD）、有机发光二极管显 示器件（OLED）、非线性晶体等所用的材料等； A.1.3压电晶体材料：石英晶棒及晶片、锯酸锂晶棒及晶片、钼酸锂晶棒及晶片、频率片等； A.1.4铝电解电容器电极箔：未化成电极箔、化成电极箔等。 A.2互联与封装材料： A.2.1 覆铜板：刚性覆铜板、挠性覆铜板、金属基覆铜板、印制电路用粘结片等； A.2.2 电子铜箔：印制电路用电解铜箔、压延铜箔、合金箔等。 A3工艺与辅助材料：电子浆料等