洁净室或洁净区设施按议定力 按议定方式工作的状态

分辨率resolution 可被测量的最小变量，即在相应显示中产生的、可辨认的变化。 注：噪声（内、外部)或摩擦等因素可决定分辨率，被测的量值也可决定分辨率。 [来源：ISO/IECGuide99:2007,4.14] 3.4.2 最大允许测量误差maximumpermissiblemeasurementerror 对一项具体测量、或对测量仪或测量系统，相对于已知参照量值，技术条件或规范所允许的测量误 差极值。 注1：在有两个极限值时，通常用术语“最大允许误差”或“误差限值”予以区分。 注2：“公差”不可用于表示“最大允许误差”。 「来源.ISO/IECGuide99.2007,4.26

光散射（离散式）空气悬浮粒子计数器 light scattering(discrete)airborneparticlecounter;L 依据粒子的光学等效直径镀锌电焊网标准，对空气中单个粒子进行计数和测径的仪器。 注GB/T 29024.4—2017给出了LSAPC的规格

应规定在“空态”“静态”和“动态”的某种或某几种占用状态下（见3.3），对洁净室或洁净区按空气中 粒子浓度进行分级。

当按粒子浓度划分空气洁净度等级时，范围为0.1um～5um的一个或几个粒径挡阅值（低值）。

表1按粒子浓度划分的空气洁净度ISO级别

本表中的所有浓度都是累积的，例如ISO5级，0.3μm所对应的10200个粒子包括所有粒径大于或等于该粒 径的粒子。 b这些浓度需大采样量才能用于分级。可以使用序贯采样程序，见附录D “表格这一区域因粒子浓度太高，浓度限值不适用。 。受采样和统计方法的制约，在粒子浓度低时不适用于分级。 “粒径大于1um的低浓度粒子在采样系统可能有损耗，此粒径不适合分级之用。 1ISO5级中此粒径可采用大粒子M描述符，但至少要结合另一个粒径一起使用（见C.7)。 “该级别只适用于动态。

净室或洁净区内悬浮粒子浓度的表示方法应包

洁净室或洁净区内悬浮粒子浓度的表示方法应包括

GB/T 25915.1—2021

4.5非整数洁净度等级和粒径阀值

当需要非整数等级，或整数和非整数等级需要表1中未列出的粒径挡时，见附录E。

附录A中给出了符合性检测的基准方法，也可以指定其他至少具备同等准确性的方法和（ 器。如无规定或议定的替代方法，应采用基准方法， 应采用校准有效期内的仪器进行符合性认证检测

5.3悬浮粒子浓度计算

各洁净室或洁净区的检测结： 浓度划分的空气洁净度等级。 检测报告应包括下述内容： a）检测机构的名称、地址和检测完成的日期：

GB/T 25915.12021

按粒子浓度划分空气洁净度的基准方法

使用离散粒子计数器在指定的采样点测定大于或等于规定粒径的空气悬浮粒子浓度，

粒子计数器应具有粒径分辨能力，能显示或记录空气中粒子数量和粒径大小，可依据洁净度等级， 测定粒子合适粒径范围内总浓度。 注：通常用光散射（离散）空气悬浮粒子计数器进行空气洁净度分级检测

粒子计数器应有有效的校准证书，校准频度和校准方法应符合GB/T29024.4一2017的要求。 注：某些粒子计数器不能用GB/T29024.4一2017所规定方法校准。此情况下，检测报告中应记录使用该计数器的 决定。

A.3粒子计数检测的准备工作

检测前，确保洁净室或洁净区密封性相关的所有各项均已调试完成并按性能要求运行。 宜注意洁净室性能辅助检测的顺序，检测目录见GB/T25915.3。

A.4.1获取采样点数目

最少数目采样点N.见表A.1。

表A.1洁净室中采样点数目与面积的关系

表A.1洁净室中采样点数目与面积的关系（续）

注1：如果被考虑的面积位于表中两值之间，宜选两值中较大者。 注2：单向流情况时，宜考虑垂直于气流流动方向的横截面面积。其他情况下，可考虑洁净室或洁净区的平面 面积。

A.4.2确定采样点位置

按以下步骤确定采样点位置： a）在表A.1查到最小采样点数目NL； b）将整个洁净室或洁净区分成面积相等的N个区域； c）在每个区域选择一个具有代表性的位置作为采样位置 d）在每个采样位置上，将粒子计数器的探头置于工作面高度或其他指定位置。 关键位置处可增加采样点，其数量和位置也应商定并说明。 增加的采样区域及其相应采样点可计算在总采样点数内，以便将洁净室或洁净区划分为相等采样 区域。 非单向流洁净室或洁净区中，位于无扩散装置的送风口正下方的采样点不具有代表性。

式中： NL—最小采样点数目，带小数时向上进位取整数 A待测洁净室的面积，单位为平方米（m"）。 注：可和用户协商增加关键工艺部位采样点。

A.4.4确定单次采样量和各点的采样时间

所选最大粒径的粒子浓度恰好为规定的ISO级别上限时，在各采样点所采的空气量足以检测到至 少20个粒子。 每个采样点的单次采样量Vs，按公式（A.2）计算

(20)×1 000

Vs=( )×1000

A.5.1依据产品说明书调整粒子计数器（见A.2），包括零计数率校核。 A.5.2采样探头应放置在朝向气流的方向。被采样气流方向是不可控制或不可预测时（例如非单向气 流），采样探头的开口应垂直向上。 A.5.3确定采样前所选定的占用状态已达到规定条件。 A.5.4按A.4.4中规定的每个采样点单次最小采样量进行采样。 A.5.5某个采样点发现非正常情况引起的异常计数时，经验明后可以剔除该计数并在检测报告中予以 说明，然后重新采样。 A.5.6某个采样点的不合格计数是由洁净室或设备的技术故障引起时，宜查明原因，采取补救措施，并 对该点及其周围相邻点或受其影响的其他采样点进行复测。此情况应清楚地记录并说明合理性。

A.6.1.1每个采样点的平均粒子浓度

在某个点进行两次及以上采样时，依据各单次采样的粒子浓度，按公式（A.3)计算并记录该点 粒径的平均粒子数目。

式中： 工： 采样点i处的平均粒子浓度，代表任意点； Ti1至i元 各单次采样的粒子数； 在采样点i处的采样次数。

A.6.1.2单位立方米粒子浓度

A.6.2.1分级要求

每一采样位置测量的粒子浓度（粒/m"）均不超过表1规定的浓度限值时，判定所测洁净室或洁净 区符合规定空气洁净度级别要求。 使用附录E所述的非整数洁净度等级或其他非规定测试粒径时，宜使用表E.1或公式(E.1)确定适 当限值。

A.6.2.2不合格的异常结果

对不合格计数的情形，应进行调查。检测报告中应注明调查结果和所采取的补救措

GB/T 25915.12021

B.1.3用公式（A.2)可计算出所需的单次采样量为

C.（≥0.3μm）=10200个/m C(≥0.5μm)=3520个/m

算得的单次采样量为5.68L。由于所使用的离散粒子计数器每分钟的采样流量是28.3L/min，采 样1min的采样量符合要求（见A.4.4），所以每次采样的采样量定为28.3L。 注：在A.4.4中，通过如上所述的步骤计算最小采样量，然后确定粒子计数器运行1min对应的采样量。每个点的 采样至少持续1min；当1min内的采样足以满足最小采样量要求时，则1min到后可结束采样。当所用仪器 1min内的采样量不足以满足最小采样量要求时，需以分钟（min）为单位继续采样且至满足最小采样量要求为 止。由于有几种不同采样流量的粒子计数器，在此提醒使用者，在确定采样时间既满足1min要求也满足计算 的最小采样量时，核对所用具体仪器的采样流量。 B.1.4每个点只进行一次采样。在每个采样点处各个粒径对应的每立方米粒子数目工；的计算如表B.1 和表B.2所示。

表B.1>0.3μm粒子的采样数据

GB/T 25915.1—2021

表B.2>0.5um粒子的采样数据

B.1.5如表B.1和表B.2所示，D≥0.5μm粒子的每一个浓度值都小于10200个/m的限值，D 的每一个浓度值都小于3520个/m3的限值；因此该洁净室按粒子浓度划分的空气洁净度达到 的ISO等级。

B.2.3从公式（A.2)可算出单次采样量要求为：

)×1000 20 ×1000 Vs=(0.02)X1000 Vs=20.0 L

计算得出的单次采样量为20.0L，因此所使用的50.0L/min的离散粒子计数器采样1min的采 合要求（见A.4.4）。所以50.0L即作为每个单次采样的采样量。 4在每个采样点只采样一次。每个采样点每立方米的粒子数目：的计算如表B.3所示

表B.3>0.1μm粒子的采样数据

表B.3≥0.1μm粒子的采样数据（续）

.2.5D≥0.1μm粒子的每个浓度值都小于表1中规定的1000个/m的限值；因此该洁净室按 求度划分的空气洁净度达到所要求的ISO等级

从公式（A.2)可算出所要求的单次采样量为：

出的单次米样量为5.68 4.4)，所以将28.3L即作为每个单次采样的采样量， 在每个采样点只采样一次。每个采样点每立方米的粒子数工：的计算如表B.4所示。

表B.4≥0.5um粒子的采样数据

表B.4≥0.5μm粒子的采样数据（续）

5D=0.5μm粒子的每个浓度值都小于表1中规定的3520个/m的限值；因此该洁净室按粒 划分的空气洁净度达到所要求的ISO等级

式（A.2)可算出所要求的单次采样量为：

Vs= X1000 Vs=( X1000 3520 Vs=(0.00568)X1000 V.=5.68 L

算出的单次采样量为5.68L。由于所用的28.3L/min离散粒子计数器1min的采样量符合要求 （见A.4.4），所以将28.3L即作为每个单次采样的采样量。 B.4.4查表A.1，采样点数NL取7。但在本例中，客户和供应商商定另外增加3个采样点，总共10个。 每个点进行的单次采样次数为1次～3次。 B.4.5由于记录的原因，每个采样点每立方米的粒子数(浓度)工：将以每个点单位采样量（28.3L)的平 均计数（28.3×35.3）进行计算，如表B.5所示。

表B.5≥0.5um粒子的采样数据

表B.5>0.5um粒子的采样数据（续）

.4.6在4号采样点，采样的平均浓度4165个/m超出了ISO5级限值3520（个/m）。在3 号采样点，尽管这两点的平均粒子浓度符合表1中规定的限值，但是每个点各有一次采样的粒子 放据超出了表1中所规定的限值。由于4号采样点的粒子浓度不符合洁净度要求，因此该洁净室 子浓度划分的空气洁净度未达到所要求的ISO等级。

c.(≥0.5 μm)=10~×()

其中N=7.5D=0.5um

其中N=7.5,D=0.5um

B.5.3从公式(A.2)可算出所要求的单次采样量为

Vs= 0×1000 20 Vs= )×1000=0.01799L (1112000

算出的单次采样量为0.01799L。由于所用的28.3L/min离散粒子计数器1min的采样量符合要 求（见A.4.4)，所以将28.3L即作为每个单次采样的采样量。 B.5.4每个点进行的单次采样次数为1次～3次。每个采样点每立方米的粒子数（浓度）工：的计算如 表B.6所示。

表B.60.5μm粒子的采样数据

B.5.5在4号采样点，第三次采样的浓度1222507个/m（34632×35.3）超出了ISO7.5级限值 1110000（个/m"）。可是并不要求每个单次采样的粒子浓度都符合表1中所规定的限值。由于各采样 点的平均粒子浓度要符合表1中所规定的限值要求，因此该洁净室按粒子浓度划分的空气洁净度达到 所要求的ISO等级。

GB/T 25915.12021

工字钢标准附录C （资料性） 悬浮大粒子的计数和测径

某些情况下，特别是与特定的工艺要求 关的情况下，可依据表列等级粒径范围之外的粒子总体 规定空气洁净度。用户和供应商应就这类粒子的最大允许浓度和验证的检测方法等问题达成一致， C.2中给出了有关检测方法的要点以及规定的技术表述格式。

C.2大于5μm粒子（大粒子）—M描述

如果要评定大于5μm的粒子造成的污染风险粉煤灰标准，宜采用适合于这类粒子具体特性的采样装置和测 量程序。 阈值粒径分布在5μm～20μm的悬浮粒子浓度的测量，可在三种规定状态（空态、静态和动态）下 进行。 空气悬浮粒子总体中的大粒子主要是工艺环境中释放出的粒子。宜根据具体的应用情况来确定适 用的采样装置和测量程序。需要考虑的因素有粒子的密度、形状、体积和空气动力学特性，也有可能需 要侧重于整个悬浮粒子总体中如纤维等的特殊成分。

C.2.2M描述符的格式

C.3悬浮大粒子的计数