GB 50646-2020 特种气体系统工程技术标准(附_条文说明)

corrosive gas

对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不 可逆变化的气体

oxidizinggas

一般通过提供氧气排水标准规范范本，比空气更能导致和促使其他物质燃烧的 任何气体。

在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体。

在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa的气体

2.0.10特种气体系统

特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和附件的 总称。

2. 0. 11大宗硅烷系统

bulk silane system

是指包括ISO标准集装瓶组、长管拖车、钢瓶集装格、Y型卧 式钢瓶，或总的水容积超过250L的硅烷系统。

2.0.12大宗特种气体系统

一般指单个气体设备容积大于400L的特种气体储存和 系统。

2.0.13液态特种气体系统

是指以液态输送、分配，在用户终端进行汽化的特种气体 系统。

设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其他特种气体 输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空 气中的浓度来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供 探测数据的系统。

包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视 系统、数据传输与处理系统的气体管理与控制系统的统称

2. 0. 16生产区

abrication are

电子生产厂房内布置生产设备及相关的研发、测试的区域，有 些生产过程将使用危险性生产材料，该区域为生产厂房的核心 区域。

电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装 格、尾气处理装置等气体设备，并通过管道向生产设备输送特种气 体的房间。

2.0.18特种气体站

oecialtygasstation

电子工厂放置卧式气瓶、气瓶集装格、ISO标准集装瓶组、长 管拖车、尾气处理装置等气体设备，并通过管道向用生产厂房气设 备输送特种气体的独立建（构）筑物

2.0.19特种气体站房

specialtygas stationandroom

是指在电子工厂特种气体间与特种气体站的统称。

silane station

是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶、钢瓶集装格、卧式钢瓶、 长管拖车或ISO标准集装瓶组、硅烷气化装置、尾气处理装置、电 气装置等，并通过管道向生产厂房供应硅烷气体的独立建（构）筑 物或区域。

thebundleof gascylinders

用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联 组合的气体钢瓶组单元

2.0.22ISO 标准集装瓶组

ISO module

采用集气管将气体钢瓶、长管钢瓶或气瓶集装格相互连接并 安装在专用金属框架上的组合集装模块。

2. 0. 24 气瓶架

特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备

2. 0. 25阀门箱

gas rack(GR)

valvemanifoldbox(VMB)

特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于 个或多个工艺设备提供特种气体。

特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体， 一个或多个工艺设备提供特种气体。

2. 0. 26 阀门盘

valve manifold panel(VMP)

特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用于向 一个或多个工艺设备提供特种气体，

2.0.27尾气处理装置

local scrubber

自燃性、易燃性、剧毒性、腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现

场处理装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排用气车间的 排气管道。

2. 0.28卧式气瓶

horizontalcylinder

1型：在标准温度和压力下，钢瓶内和阀门出口均为负压的 气源。 2型：在标准温度和压力下，钢瓶内为正压，阀门出口为负压 的气源。

2. 0. 32 不相容性

不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境产生 危害作用的特性。

用氮气或情性气体对特种气体系统内的本质气体或工作气体 进行置换的过程，

2. 0. 34 排气

特种气体设备与系统中排出的本质气体或工作气体

在空气中使健康的成年大白鼠连续吸入1h，能引起受试白鼠 在14d内死亡一半的气体的浓度

毒性气体在空气中的浓度小于该值时，充分且持续暴露于该

毒性气体在空气中的浓度小于该值时，充分且持续暴露于该 环境中的作用人员的健康不会受到损害。

3.1.1特种气体站房应布置在独立的建（构）筑物或生产厂房的 特种气体间内。 3.1.2布置在生产厂房内的特种气体间，可采用气瓶柜、气瓶架 卧式气瓶、气瓶集装格等向生产设备供应特种气体。 3.1.3布置在单独建（构）筑物的特种气体站，可采用气瓶集装 格、卧式气瓶、ISO标准集装瓶组、长管拖车等向生产设备供应特 种气体。

3.1.4布置在生产区的特种气体设备应符合下列规定：

1特种气体的最大允许使用储存量应符合表3.1.4的规定； 2特种气体应设置气瓶柜、排风装置； 3生产区应设置自动消防喷淋系统，并应用防火隔墙与其他 区域相互隔离； 4当特种气体的使用储存量超过表3.1.4规定的数量时，应 设置特种气体间。

1.4生产厂房生产区最大允许使用储

注：气体总量为标准状态下的气体体积量。

3.1.5特种气体间的设计应符合下列规定

1特种气体间应设置排风系统，并应按负压设计； 2 特种气体间应采用防火隔墙相互隔离； 3特种气体间的设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规 范》GB50016的有关规定

应设置独立的特种气体站

应设置独立的特种气体站。

3.1.7生产厂房内生产区的低蒸汽压力特种气体设备宜

3.1.8特种气体间应集中布置在生产厂房一楼或其他辅助楼层 位置宜靠外墙。

3.1.8特种气体间应集中布置在生产厂房一楼或其他辅助楼

3.1.9 特种气体间的附近区域宜布置货运通道、货运电梯等运输 设施，

3.1.9特种气体间的附近区域宜布置货运通道、货运电梯等运输

3.2.1特种气体应根据其物理化学性能及安全特性进行分类 工程设计。

工程设计。 3.2.2特种气体站房的生产的火灾危险性类别应符合现行国家 标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。 3.2.3生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为易燃性气 体间、毒性（腐蚀性）气体间、惰性（氧化性）气体间、剧毒性气体 间等。

3.2.3生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为易

体间、毒性（腐蚀性）气体间、惰性（氧化性）气体间、剧毒性气 间等。

3.2.4独立的特种气体站根据气体种类、兼容性等因素应分为

3.2.5大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开散式建筑.不得

布置在地下室。开敬式建筑应带屋顶遮盖，外墙面的遮挡部分不 得大于三面，且墙体与墙体之间、墙体与屋顶结构之间应设置自然 通风的空间。硅烷容器与四周障碍物的最小距离小于障碍物高度 的2倍时，大宗硅烷系统应设置机械通风。

3.2.6硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺气体盘之间的距 离小于9m时,应设置2h以上的防火隔断。

3.2.7硅烷气瓶柜内的硅烷钢瓶应固定在钢架上，两个钢瓶之间

3.2.8非大宗硅烷系统气体设备可放置在室内，不得建在地

下室。 3.2.9.布置在开式建筑中的大宗硅烷站应在设备区域设置防 雨防晒措施。

3.2.9.布置在开式建筑中的大宗硅烷站应在设备区域设置防

3.3特种气体设备布置

3.3.1不相容特种气体的气瓶架应布置在不同房间里；当布置在 同一房间时，气瓶架之间的距离应大于6m。 3.3.2同时具有易燃性和毒性气体的设备应放在易燃性气体间 3.3.3特种气体房间内的气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集 装格等设备宜靠墙布置，具有相同或相近性质的气体设备应布置 在一起。

3.3.4特种气体间的中间通道宽度不得小于2m，特种气体设备

的布置应预留满足设备运输、维修与操作、安全逃生的空间。

3.3.6液化特种气体设备应设置不同种类的磅秤装置。

3.3.7剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或堵漏工具、排风 装置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处理装置。 3.3.8剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和防止 人员入侵的技术防范设施。

3.3.7剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或堵漏工具、排风

3.3.9特种气体站房内特种气体生产储量达到重危险源的数

3.3.9特种气体站房内特种气体生产储量达到重天危险源

3.3.10特种气体系统的电气控制室的设计应符合下列规定：

1电气控制室应布置在与特种气体间相邻的控制室内； 2电气控制室应以耐火极限不小于3.00h的隔墙和不低于 1.50h的楼板与特种气体间隔开，穿越隔墙的管道孔隙应以防火 材料填堵

4.1.1特种气体工艺系统应设置下列主要装置： 1 储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格、卧式气瓶、长管 拖车； 2气体分配用阀门箱、阀门盘； 3，辅助氮气吹扫系统； 4尾气处理装置。 4.1.2特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特 种气体工艺参数、污染控制、使用安全的要求。 4.1.3不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统。 14不相空的 排风管道不得接入同一排风系统

4.1.1特种气体工艺系统应设置下列主要装置：

4.1.4不相容的特种气体的排风管

4.2.1特种气体系统的气瓶柜、

4.2特种气体输送系统

4.2.1特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定： 1气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺 气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构配置； 2不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中； 3气瓶柜、气瓶架应设置作业用气体面板； 4系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实； 5气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，柜内的排风换 气次数不得低于300次/h； 6自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固 定式气体泄漏探测器； 7气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于2.5mm，并应有防腐

蚀涂层； 8气瓶柜门应具备自动关闭功能，并应配备防爆玻璃观察 窗；气瓶柜的固定螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求； 9气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标识牌； 10当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时，其设计应符 合现行国家标准《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB50058的 有关规定。

4.2.2特种气体的气瓶柜、气瓶架的气体面板设置应符合下列

1自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀 门，并应为常闭气动阀门，位置应靠近气瓶； 2气瓶压力大于0.1MPa的自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气 体面板应设有过流开关； 3自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹 扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀； 4气体面板应设置工艺气体排气口。 4.2.3可燃和自燃性特种气体的气瓶柜应符合下列规定： 1当硅烷气瓶使用直径0.25mm限流孔时，气瓶柜的排风 换气次数不得低于1200次/h，当使用直径0.15mm限流孔时，气 瓶柜的排风换气次数不得低于400次/h，且气瓶柜的负压应连续 监控； 2自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器： 3易燃性特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统；

1自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀 门，并应为常闭气动阀门，位置应靠近气瓶； 2气瓶压力大于0.1MPa的自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气 体面板应设有过流开关； 3自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹 扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀； 4气体面板应设置工艺气体排气口。

4.2.3可燃和自燃性特种气体的气瓶柜应符合下列规定

1当硅烷气瓶使用直径0.25mm限流孔时，气瓶柜的排风 换气次数不得低于1200次/h，当使用直径0.15mm限流孔时，气 瓶柜的排风换气次数不得低于400次/h，且气瓶柜的负压应连续 监控； 2 自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器： 3 易燃性特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统； 4 自燃性特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板

4.2.4大宗特种气体系统应符合下列规定

1应设置独立气瓶、储罐或长管拖车等的压力指示或钢瓶称 重装置、连接回型管、气流控制的气体面板、吹扫氮气单元、电气控 制柜等装置； 2大宗特种气体系统的功能配备应符合本标准第4.2.1条

的有关规定； 3液态气体瓶应设计钢瓶加热与保温装置； 4减压降温效应显著的气体，应在减压前对气体进行预热。 4.2.5液态特种气体系统的设置应符合下列规定： 1应设置独立的液体槽罐、液体输送柜、连接回型管、驱动气 体单元、吹扫氮气单元、电气控制柜、重量计量等装置； 2液态特种气体系统宜利用驱动气体压力将液态特种气体 从槽罐输送至液态特种气体柜，或从液态特种气体柜直接驱动输 送至用气工艺设备，液态特种气体亦可采用泵送； 3用气点应设置鼓泡器或蒸发器，将液态特种气体鼓泡或直 接蒸发，以汽化形式输送至工艺反应设备； 4液态特种气瓶柜功能设置应符合本标准第4.2.1条的有 关规定； 5具有自燃性和遇水反应性的金属有机物前驱体液体，供应 柜应设置相应灭火系统；底部应设置收集槽，并应放置吸附材料。 4.2.6自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的阀门箱设置 应符合下列规定： 1 应设置进气管路隔离阀及压力指示装置； 2气体支路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器； 3气体支路应设有独立的出口隔离阀； 4气体分支路应设置独立的吹扫气体装置。 4. 2.7 惰性及氧化性特种气体系统的阀门盘设置应符合下列 规定： 1 应设有进气管路隔离阀及压力指示装置； 2 气体支路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器； 3气体支路应设有独立出口隔离阀门。 4.2.8 负压气源特种气体的气瓶柜、气瓶架的设置应符合负压气

1自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫气体应 与独立的气源连接，不得与公用气源或工艺气源系统相连； 2不相容性特种气体系统的吹扫气体不得共用同一气源； 3吹扫气体管线应设置止回阀。 4.3.2 吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀、排气管、高低压 截止阀、高低压压力指示装置、安全阀。 4.3.3 特种气体系统的辅助抽真空装置的设置应符合下列规定： 真空发生器宜采用氮气作为引射气源； 2 抽真空用氮气可由公用普通氮气供给；自燃性和腐蚀性气 体，氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀。 4.3.4 特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定： 1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置； 2自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体的排空气体应经过 良三m

4.3.2吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀、排气管、高低压

1真空发生器宜采用氮气作为引射气源； 2抽真空用氮气可由公用普通氮气供给；自燃性和腐蚀性气 体，氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀

4.3.4特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定

1特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫装置； 2自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性特种气体的排空气体应经过 尾气处理装置处理，处理后的气体应符合现行国家废气排放要求

1尾气处理装置的类型，应根据所处理的排气中特种气体的 特性进行选择，不相容特种气体应分别设置尾气处理装置； 2尾气处理装置应靠近特种气体柜、气瓶架等特种气体设备 布置； 3．特种气体的尾气处理方法宜采用干式吸附、湿式洗涤、加 热分解、燃烧、等离子分解、稀释及以上几种处理方式的组合

4.1硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定： 1 硅烷站的规模； 2硅烷的物理化学性质：

硅烷站的规模； 2 硅烷的物理化学性质：

3当地硅烷供应的充装、运输状况； 4用户对硅烷纯度、压力和负荷变化的要求。 4.4.2硅烷输送系统应设有硅烷容器、气体面板、阀门箱及连接 管道。 4.4.3石 硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫、排气、安全控制的 功能。 4.4.4硅烷系统必须采用独立的情性气源进行吹扫。 4.4.5硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4.2.6条的规定外，还 应配置惰性气体吹扫装置、气体泄漏探测器和紫外红外火焰探 测器。 4.4.6 硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定： 1 硅烷系统的排气管不得接入排风系统； 2排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于 0.3m/s。 4.4.7硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的 安全出口应设置手动紧急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按 钮与输送装置的距离不应小于4.6m。 4.4：8硅烷系统阀门、附件的设置应符合下列规定： 1硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀、隔膜阀、调 压阀； 2硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板； 3硅烷系统应配置过流开关、紧急切断阀，调压阀的加热装 置应根据流量核算确定

3当地硅烷供应的充装、运输状况； 4用户对硅烷纯度、压力和负荷变化的要求。 4.4.2硅烷输送系统应设有硅烷容器、气体面板、阀门箱及连接 管道。 4.4.3 硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫、排气、安全控制的 功能。

4.4.4硅烷系统必须采用独立的情性气源进行吹扫。

4.4.5硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4.2.6条的规定外，还 应配置惰性气体吹扫装置、气体泄漏探测器和紫外红外火焰探 测器。

4.4.6硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定：

1 硅烷系统的排气管不得接入排风系统； 2排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于 0. 3m/s。

4.4.7硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的

1硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀、 压阀； 2硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板； 3硅烷系统应配置过流开关、紧急切断阀，调压阀的加热装 置应根据流量核算确定

5.1特种气体管理系统

5.1.1应用多种特种气体的生产厂房宜设特种气体管理系统，并 应符合下列规定： 1特种气体管理系统应配置特种气体的连续检测、指示、报 警的功能，并应能记录、存储和打印； 2特种气体管理系统宜为独立的系统，应具有特种气体探 测、应急处理、工作管理、监视、数据传输与处理的功能； 3特种气体管理系统宜与工厂设备管理控制系统和消防报 警控制系统通过数据总线相连

2特种气体管理系统宜为独立的系统，应具有特种气体探 测、应急处理、工作管理、监视、数据传输与处理的功能； 3特种气体管理系统宜与工厂设备管理控制系统和消防报 警控制系统通过数据总线相连。 5.1.2特种气体管理系统应设在全厂动力控制中心，在消防控制 室和应急处理中心宜设特种气体报警显示单元和集中应急阀门切 断控制盘。 5陆种气体盒斯坛

5.1.2特种气体管理系统应设在全厂动力控制中心，在消防控制 室和应急处理中心宜设特种气体报警显示单元和集中应急阀门切 断控制盘。

5.1.2特种气体管理系统应设在全厂动力控制中心，在消防控

的通信接口应与气体管理系统连接。

5.2.1储存、输送、使用特种气体的下列区域或场所应设置特种 气体探测装置： 1自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体气瓶柜和阀门 箱的排风管口处； 2生产工艺设备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气 体阀门箱的排风管口处，工艺设备的排风管口处； 3生产工艺设备的特种气体的废气处理装置排风出管口处； 4惰性气体间可能产生室息的区域：

5.2.3自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体、氧气检测装置报警设

器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处。当特种气体 相对密度大于0.75时同轴电缆标准，特种气体探测器应设置在释放源下方离地

面0.3m~0.5m处，

5.2.6硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应小于或等于 50ppm，并应与硅烷气源的自动切断阀联锁；硅烷站环境气体探测 器的报警设定值应小于或等于5ppm，环境气体探测器报警时，硅 烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路。

5.2.6硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应小于或等

烷控制系统不应自动切断硅烷输送管路。 5.2.7有机金属前躯体材料应设置相应的侦测及火灾报警装置地基标准规范范本， 当无对应侦测器时，应根据其分解物选择侦测器

当无对应侦测器时，应根据其分解物选择侦测器