如相关规范有要求，应在 偏压（或偏压循环)应在温度和相对湿度达到稳定状态后施加到试验样品上，并延续到试验样品处 在恢复条件下为止

但温度和相对湿度不应超出规定值。在试验循环期间的任一时刻，试验样品上均不允许有凝结水。温 变和相对湿度应在1.5h内达到稳定。 但是，如果规定的试验持续时间长于48h，并在3h内达到稳定，即使稳定时间长于1.5h也视为满 足试验要求。 6.4.2在相关规范所规定的试验持续时间内，温度和相对湿度应维持在规定的容差范围内。只要温湿 度条件达到稳定，就应开始计算试验持续时间。 6.4.3在规定的试验时间结束后，试验箱内的压力、温度和相对湿度应在1h～4h内恢复到测量和试 验用标准大气条件。 在该阶段，温度和相对湿度不应大于规定值，这些条件可用自然冷却的方法达到。 如用放气的方法降压，则应注意，试验样品不应受急速降压作用的影响，压力不应降到低于实验室 压力。在该阶段通常应维持偏压。 6.44降温阶段一结市盗验程品即应进入恢复序

相关规范可要求在试验期间进行电气或机械性能检测，或对二者都进行检测。 如要求进行中间检测地基标准规范范本，相关规范应规定检测项目以及在试验的哪一阶段进行这些检测。 中间检测不应使试验条件产生任何变化。 在试验期间，不允许在恢复前将试验样品移出试验箱进行检测，

试验样品应接受相关规范规定的目视检查，尺寸和功能检测。

10相关规范应提供的信息

在相关规范中包含本试验时，应就 料，特别应注意带星号（*）标记的项目，因为这些资料始终是需要的

a) 试验严酷等级 b) 初始检测 c) 特殊安装装置 &) 偏压 e) 中间检测 最后检测

B.1水蒸气的加速作用

水蒸气加速渗人试验样品，是未饱和蒸汽试验最重要的物理因素。加速作用是因非气密试验样品 内部与试验环境之间存在着水汽分压的压力差

本试验主要应用于集成电路和其他塑封半导体器件中使敷铝加速腐蚀。然而，当考虑将本试验 其他产品时，重要的是确定失效模式，以及与每种失效模式相关的劣化过程和严酷等级。应指 电工电子产品的失效模式可能与表1给出的严酷等级不相关联。

日前，在水汽环块 高压区直接测量湿度的标准方法尚未建立 因此，确定该区域的湿度不得不建立在对测得值进行理论评估的基础上，应采用能使被测定的湿度 与理论值的偏差保持在允许范围内的方法。

C.2 测量方法的适用范用

C.3对各种适用的方法进行分类。对每种方法的说明仅限于其在C.4中规定的可能用途。此外， 每种方法的正确性均建立在下述假设的基础上：在试验的空间内，从加湿用水和试验样品中散发出来的 其他气体和空气可以忽略不计、湿度的高低不因存在有这些气体而受影响，也就是说，试验箱的工作空 间内充满了水汽， 注：试验箱中除存在水汽外，尚存在着由试验样品和材料散发的微量气体，可能对试验结果有影响 酷录

C.3湿度测量法的分类

a）温度法 工作空间内未饱和水汽和饱和水蒸气的温度，均直接由传感器测量，这些温度下的相对湿度则从附 录A的表中查出。 饱和水蒸气的温度就是加湿用水的温度，或在加湿用水上方直接测得的水蒸气温度。 b）干湿球法 在试验箱的工作空间内安装干湿球温度计求出干湿球温差。实际上可以用如a)中同样的方法确 定相对湿度。 c）露点计法 在工作空间内安装一个带镜面的露点计，在凝结开始时测出镜面温度；工作空间内的干蒸汽温度直 接由温度计测出，用如同a)中同样方法确定工作空间的相对湿度。 先测量温度，然后根据蒸汽表确定相对湿度，是C.3的a)、b)和c)中三种规定方法的共同点。上述 方法都是间接测量工作空间相对湿度的方法。应注意的是，测量结果会受除了水蒸气外的空气和其他 气体的影响（见C.2)。

C.4各种测湿法的应用

a）温度法L见C.3的a)项』 该方法符合这种试验环境中的湿度定义，是最合理的测湿方法，既用于认可试验设备的性能，也用 于监测试验期间的条件。 b）干湿球法[见C.3的b)项] 该方法用于监测试验进行期间的试验条件

a）温度法L见C.3的a)项』 该方法符合这种试验环境中的湿度定义，是最合理的测湿方法，既用于认可试验设备的性能，也用 于监测试验期间的条件。 b）干湿球法[见C.3的b)项] 该方法用于监测试验进行期间的试验条件

通带使用两类装置 a】单容器型[见图D.1a)] 加湿水箱和工作空间均在一个容器内，工作空间由几个壁面围成，并与水箱分开。通常借助于安装 在试验箱中的风扇强迫水汽流动。 b）双容器型[见图D.1b)] 这种装置由两个压力容器组成，其中一个用作工作空间，另一个则装有加湿用水。两个容器间的水 汽压力差形成了蒸汽的对流流动。在这种类型中可用风扇促使和/或协助蒸汽流动。 在上述两类装置中，气流速度宜保持在0.5m/s以下，接近于自然对流的风速。 由于试验方法涉及试验箱内部超压，因此，要注意遵守设备操作规程

在本试验规定的温、湿度综合条件下，为使腐蚀和其他机理产生的劣化效应和释放的污染物降至最 低空调标准规范范本，应注意选择试验箱所用的材料。适合的材料有，不锈钢、玻璃、陶瓷及其他耐腐蚀材料

偏压的定义为：根据试验目的，为了强化湿度的效应而施加的电压。偏压不一定与试验样品的正常 功能有关。 如有要求，应按相关规范的规定，在试验期间给试验样品施加偏压。 应按下列原则施加偏压，这些原则按其重要性的大小次序给出： a）试验样品表面规定位置的温度宜低于工作空间的标称温度2℃。 b）在选择既能增强水解作用又能限制试验样品自热的偏压时，应特别注意，因为这会影响湿气 的渗透和/或吸收。在连续施加偏压，会产生显著自热的场合，建议断续地施加偏压，除非另 有规定，宜先不施加偏压3h，接着施加偏压1h。施加偏压的顺序宜先从不施加偏压开始。 c）宜采取预防措施，限制错误条件引起的能量耗散， 注：在恒定湿度条件下施加偏压，会加强湿气诱导效应。另一方面，偏压引起功率耗散，使局部升温，导致临界位置 的相对显度降低，可能产生与试验目的相反的效果。

可以使用稀释的实验室用洗涤剂，用一个软毛刷清洗试验箱和内部安装工具，然后用蒸馏水或去离 子水冲洗。建议在每次试验前清洗试验箱 每次试验后，应清除蒸汽发生容器和/或试验箱中的全部积水

建议使用手套和面罩，防止已清洗零 受污染，并建议在相当清洁的地方使用该设备。 除非另有规定，应在标准“条件”下遵守正常的程序对试验样品进行试验。对试验前经过特殊清洗 的样品进行试验，可能不会表现出在使用当中出现的那些效应

D.5两种典型试验装置的整体结构

说明： PV 压力容器（试验箱和蒸汽发生器的）： DO 门; ws 工作空间； PV, 用作（试验箱）工作空间的压力容器： PV2 用作（蒸汽发生器)加湿水箱的压力容器 WA 加湿用水； PG 压力表； SV 安全阀； AV 排气阀； S: 湿气的温度传感器； Ss 加湿用水的温度传感器； F 风扇； HM 湿气加热器； HW 加湿用水的加热器

图D.1试验装置结构图

图D.1试验装置结构图

粉煤灰标准亍印日期：2014年5月9HF009A