SN/T3480.32016

SN/T3480.32016

SN/T3480《进口电子电工行业成套设备检验技术要求》共分为4个部分： 第1部分：印刷线路板表面贴装设备； 第2部分：电线电缆制造专用设备； 一第3部分：平板显示器制造专用设备； 一第4部分：半导体封装测试设备。 本部分为SN/T3480的第3部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本部分由国家认证认可监督管理委员会提出并归口。 本部分起草单位：中华人民共和国厦门出人境检验检疫局、中华人民共和国江苏出人境检验检 疫局。 本部分主要起草人：颜伟民、钟碧菊、黄滢涵、姜克、游聚民、曾志峰、魏或展、陈靖源、蓝振毅、甘露 朱黄鑫。

4.2.2电气安全要求

4.2.2.1应符合SN/T37002013中4.2.3的要求。 4.2.2.2热处理设备金属炉壳的接地或接零保护装置应符合GB5959.1一2005中11的要求。 4.2.2.3 化学气相淀积（CVD)设备对地绝缘电阻应≥5MQ，电磁兼容性应符合GB/T17626.1的 要求。 4.2.2.4磁控溅射设备应有防止触电的保护设施照度标准，且应符合GB/T3797一2005中4.12.1.2的要求；介 电强度应符合GB/T3797—2005中4.8的要求；绝缘电阻应符合GB/T3797—2005中4.8的要求；应 有专用的铜缆接地装置；电控柜的安全接地保护应符合GB/T3797一2005中4.10.6的要求。 4.2.2.5曝光机的绝缘电阻≥2MQ；初级电路与机壳之间的耐压测试应能承受1500V交流电压，测 试时间1min，测试漏电流设定1.0mA，不得发生击穿和放电现象。 4.2.2.6晶片压着机和软性电路板压着机的接地电阻<5Q。

4.2.3安全防护装置、警示方式要求

3.1应符合SN/T3700—2013中4.2.4的要求。 3.2化学气相淀积（CVD)设备应具备温度偏差报警提示功能、流量偏差报警提示功能、反应 )压力异常报警提示及安全防护措施、停水报警及联锁措施、防止误操作的安全保护措施。

4.2.4非机械安全要求

4.2.4.1应符合SN/T3700—2013中4.2.5的要求， 4.2.4.2化学气相淀积（CVD)设备应具备超温报警及安全防护措施、断偶报警及安全防护措方

4.2.5物质和材料安全要求

4.2.5.1应符合SN/T3700—2013中4.2.6的要求。 4.2.5.2化学气相淀积（CVD)设备反应残余气体应使用强排风装置排出净化间，如果反应气体为有毒 有害等危险气体，或者反应生成物中包括粉尘、有毒有害等危险物质，则应加装报警和尾气处理装置。 反应气体断开时，安全保护气体（如N2）应畅通，冷却水应畅通。 4.2.5.3磁控溅射设备应设有水流报警装置。 4.2.5.4等离子清洗设备的真空系统、气路系统、反应仓和管路的密封性应良好。 4.2.5.5干刻机的真空系统中机械泵、扩散泵性能稳定、可靠、运行正常，无异常振动、噪音。真空管路 整齐、清洁，联接牢固可靠，密封性好，无泄漏。高温腔体必须有保护外罩。 4.2.5.6显影设备在进行显影、漂洗和烘干时，每道工序的基片周围均应有氮气保护设施；应具有氮气 欠压保护功能。当氮气压力低于设备的设定值时，设备应立刻报警，并停止工作。应具有真空保护功 能。当真空度压力高于设备设定值时，设备应立刻报警，并停止工作。显影、烘干处应设置防尘罩。 4.2.5.7特殊气体供应及管道系统和化学品供应及管道系统应符合《中华人民共和国特种设备安全法》 《特种设备安全监察条例》和GB/T20801的相关要求

4.2.6人类工效学要求

应符合SN/T3700一2013中4.2.7的要求，

4.2.7使用信息要求

应符合SN/T3700—2013中4.2.8的要求

合SN/T3700一2013中4.2.8的要求，

4.2.8其他相关要求

4.3.1应符合SN/T37002013中4.3的要求。 4.3.2废水应达三级排放标准：化学需氧量≤300mg/L，氟化物≤20mg/L，阴离子表面活性剂 <350mg/L，总磷≤3.0mg/L，氨氮≤35mg/L。 4.3.3废气应达二级排放：氟化物≤7mg/m，二氧化硫≤440mg/m，氯化氢≤80mg/m，非甲烷总 经≤100mg/m，氮氧化物≤1.5mg/m。 4.3.4厂界噪声应达三级排放标准：叠间≤65dB(A)，夜间≤55dB(A)

4.4卫生健康项目要求

4.4.1应符合SN/T3700—2013中4.4的要求。

4.4.1应符合SN/T3700—2013中4.4的要求。 4.4.2化学气相淀积(CVD)设备作业场所噪声<70dB(A）

5.1检验项目分为重点检验项目和一般检验项目。重点检验项目应视作必检项目，一般检验项目可视 实际情况选择检验。 5.2平板显示器制造专用设备检验应按照表1规定的检验项目、检验依据和检验方法，在相应的检验 阶段实施检验

安全生产标准规范范本表1检验项目、检验依据和检验方法

注1：“A"装运前检验；"B"现场安装调试检验；"C"现场试运行检验 注2：“★"重点检验项目，“/”选择项。

液晶平板显示器主要制造专用设备中英文对照见表B.1

附录B （资料性附录） 液晶平板显示器主要制造专用设备

B.1液晶平板显示器主要制造专用设备中英文

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航天标准[1]SJ/T 10478—1994 磁控溅射设备通用技术条件 [2] SJ/T11079—1996 掩模对准曝光机通用技术条件 [3]SJ/T 11184—1998 显影设备通用规范 「4]SI20984—2008化学气相淀积（CVD）设备通用规范