GB／T 40300-2021  微束分析 分析电子显微学 术语

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而不是理想像点的现象

聚光镜系统中固定式或可移动光阑，用以选择电子束的某一部分，从而控制试样的照明面积和入射 电子束剂量，还可限定电子束的会聚角

电气装置标准规范范本意光闯objectiveapertu

成像系统中最后一级透镜，用于放大中间镜的像并将最终像形成在图像记录装置上。

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湘机常数cameraconstant

导电覆层conductivecoating 为了在电子显微镜观察中减轻荷电问题而在非导电试样表面涂覆的碳或金属导电薄层， 6.11 复型replica 在样品表面生成塑性膜或碳膜并将其剥离下来，从而获得样品表面浮凸的复制品。 6.12 萃取复型extractionreplica 在含有析出物或夹杂物的样品表面生成塑性膜或碳膜并将其剥离下来，这种复型薄膜中固定有试 样所含析出物或夹杂物

导电覆层conductivecoating 为了在电子显微镜观察中减轻荷电问题而在非导电试样表面涂覆的碳或金属导电薄层， 6.11 复型replica 在样品表面生成塑性膜或碳膜并将其剥离下来，从而获得样品表面浮凸的复制品。 6.12 萃取复型extractionreplica 在含有析出物或夹杂物的样品表面生成塑性膜或碳膜并将其剥离下来，这种复型薄膜中固定有试 样所含析出物或夹杂物

7分析电子显微术成像和像处理术语

双应 样品特征的周期性与形成扫描图像的像点格栅的周期性叠加，或由于晶体结构取向不同或晶 同的干涉图样叠加，而形成莫尔条纹的现象

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8分析电子显微术像诠释和分析术

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ZAF校正法ZAFcorrectionmethod

X定量分析的校正方法，对试样发射特征X射线的原子序数、吸收和荧光效应的影响都进行了 在TEM/EDS的薄膜试样分析中，这些影响非常小

能量过滤器energyfilte

让特定动能电子通过的装置，这对于在图像及衍射花样中扣除非弹性散射电子背底很有效，还可 于获取能量过滤图像以进行分析

图像分辨率imageresolution 图像上可以清晰分辨开的两个特征间的最小间距；对于非晶薄膜，可以通过快速傅里叶变 获得图像分辨率。 ［来源：ISO22493，有修改]］ 9.2 图像放大倍数imagemagnification 图像放大[倍］率 M 试样图像上的线度L，与试样本身对应长度1之间的比率。 注：图像放大倍数的公式为

［来源：ISO22493和ISO23833，有修改

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9.2.1 校准格栅calibrationgrating 用来校准透射电镜放大倍数绝对值的、间距已知的标准参考格栅。 ［[来源：ISO22493，有修改］ 9.2.2 衍射光栅复型diffractiongratingreplica 用来校准透射电镜放大倍数的已知间距的标准参考光栅复型。 9.3 信息极限informationlimit 高分辨像分辨率的理论极限，是通过观察非晶试样确定的并用来作为一台透射电镜的性能指标。 9.4 衍射极限diffractionlimit 电子光学系统没有像差时的分辨率极限，仅取决于数值孔径和电子波长，并用艾里斑的大小来 表征。 9.5 点分辨率pointresolution 在舍尔策离焦条件下，衬度传递函数（CTF)第一次与横坐标相交时的空间频率定义为点分辨率。 9.6 晶格分辨率latticeresolution 成像时对应于试样周期点阵结构的分辨率。 9.7 艾里斑Airydisc 由理想透镜和圆形光阑形成的衍射限制的点光源像。 9.8 参考物质referencematerial;RM 一个或多个特征参数足够均匀并被确认的材料或物质，可用于校准仪器、评估测量方法或者为材料 赋值。 注：本文件适用的参考物质(RM)需要具有可用于图像放大倍数或相机常数校准所需的周期间隔和精度。 9.8.1 有证参考物质certifiedreferencematerial;CRM 标准样品 附有证书的参考物质，其一个或多个特征参数已通过一定程序认证，确认了精确实现表示该特征参 数的单位的可溯源性，而且每一个认证值都附有所述置信度水平的不确定度。 Q9

校准格栅calibrationgrating 用来校准透射电镜放大倍数绝对值的、间距已知的标准参考格栅。 ［[来源：ISO22493，有修改］ 9.2.2 衍射光栅复型diffractiongratingreplica 用来校准透射电镜放大倍数的已知间距的标准参考光栅复型。 9.3 信息极限informationlimit 高分辨像分辨率的理论极限，是通过观察非晶试样确定的并用来作为一台透射电镜的性能指标。 9.4 衍射极限diffractionlimit 电子光学系统没有像差时的分辨率极限，仅取决于数值孔径和电子波长，并用艾里斑的大小来 表征。 9.5 点分辨率pointresolution 在舍尔策离焦条件下，衬度传递函数（CTF)第一次与横坐标相交时的空间频率定义为点分辨率。 9.6 晶格分辨率latticeresolution 成像时对应于试样周期点阵结构的分辨率。 9.7 艾里斑Airydisc 由理想透镜和圆形光阑形成的衍射限制的点光源像。 9.8 参考物质referencematerial;RM 一个或多个特征参数足够均匀并被确认的材料或物质，可用于校准仪器、评估测量方法或者为材料 赋值。 注：本文件适用的参考物质(RM)需要具有可用于图像放大倍数或相机常数校准所需的周期间隔和精度。 9.8.1 有证参考物质certifiedreferencematerial;CRM 标准样品 附有证书的参考物质，其一个或多个特征参数已通过一定程序认证，确认了精确实现表示该特征参 数的单位的可溯源性，而且每一个认证值都附有所述置信度水平的不确定度。 9.9

玻璃标尺glassscale

用扫描仪对图片进行数字化扫描时用于测量数字图像中距离的参考标尺，该标尺具有精 创度。

用扫描仪对图片进行数字化扫描时用于测量数字图像中距离的参考标尺，该标尺具有精细的 刻度。

10分析电子显微术电子衍射的术语

10分析电子显微术电子衍射的术语

10.1 透射波transmittedwave 直射波 向前散射或者未被试样散射的电子波，其方向与光轴一致。 10.2 衍射波diffractedwave 在试样中发生布拉格衍射的电子波。 10.3 布拉格衍射Braggdiffraction 由符合布拉格衍射关系的相长干涉导致入射电子束在相对于晶体原子平面特定角度发生显著强散 射的物理过程。 [来源：ISO22493,有修改］ 10.3.1 布拉格衍射关系Braggdiffractionrelation 发生衍射时人射辐射的波长、晶体原子面间距以及人射束与原子平面所成角度之间关系的数学表 达式。 注：该关系可用下式表达：

式中： 入一波长； d晶面间距； 一布拉格角。 10.3.2 运动学衍射kinematicaldiffraction 薄试样中仅有一束布拉格衍射发生而且忽略不计试样吸收的衍射过程。 10.3.3 动力学衍射dynamicaldiffraction 试样中同时发生多个布拉格衍射束的衍射过程。 10.3.3.1 二次衍射doublediffraction 人射束在晶体中的一次衍射束再次发生布拉格衍射。 10.3.3.2 菊池线 Kikuchi lines 在衍射花样背底上出现的明暗线对，是由试样中的非弹性散射电子发生布拉格衍射产生的 10.3.4 选区电子衍射selectedareaelectrondiffraction 用位于中间镜前方的选区光阑选择试样区域进行衍射的技术。 10.3.5 微衍射microdiffraction 应用小电子束斑在试样的亚微米尺寸区域获取衍射花样的衍射技术。 18

GB/T 40300=2021

GB/T40300—2021

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ADF探测器 8.13 EDS探测器 8.12 FIB减薄 6.6 k因子 8.6.9.1 k因子法 8.6.9

饮用水标准STEM环形明场像 4.5.5 X射线连续谱 8.6.3 X射线能谱法 8.6 ZAF校正法 8.6.8

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10.3.3.1 10.3.3

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石化标准GB/T 40300—2021

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