DL/T23102021

大相对标准偏差［TV(t)］应按式（1）计算，且

T(t)一 外延层厚度相对标准偏差，以百分数表示（%）。 N 测试点数，直径为100mm的外延片采取5点，分别指中心点及平行和垂直于主参考面 的两条直径上距周边6mm土1mm的5点位置处；直径为150mm的外延片采取9点， 分别为中心点及平行和垂直于主参考面的两条直径上1/2半径产品质量标准，以及距周边6mm土 1mm的9点位置处。 一第i点的外延层厚度，单位为微米（μm）。 外延层厚度的平均值，单位为微米（μm）。

表3外延层厚度最大相对标准偏差

4.6.1n型外延层掺杂元素为氮，p型外延层掺杂元素为铝。 4.6.2外延层掺杂浓度允许偏差应符合表4的规定。

表4外延层掺杂浓度允许偏差

3外延层掺杂浓度最大相对标准偏差［Cv(c）］应按式（2）计算，外延层掺杂浓度最大相对 差应符合表5的规定。

DL/T2310202

DL/T23102021

表5外延层掺杂浓度最大相对标准偏差

表6外延片表面缺陷极限值

4.8外延片表面粗糙度

面粗糙度应符合表7的去

表7外延片表面粗糙度

4.9n型外延片原生少子寿命

n型外延片原生少子寿命应符合如表8的规定。

DL/T2310=2021

表8n型外延片原生少子寿命

4.10外延片翘曲、弯曲度、总厚度变化

外延片翘曲、弯曲度、总厚度变化应符合表9的规定。

表9外延片翘曲度、弯曲度、总厚度变化

对各种金属离子污染浓度的限制要求见表10。

4.12有特殊规定，应由供需双方协商确定。

DL/T23102021

5.5外延片表面粗糙度测试应采用原子力显微镜方法进行，或由供需双方商定。 5.6外延片少子寿命测试应采用微波反射光电导衰减法进行包装标准，或由供需双方商定， 5.7外延片翘曲度、弯曲度、总厚度变化的测试应符合GB/T32278的规定。 5.8外延片金属污染测试应采用全反射X光荧光光谱法进行，或由供需双方商定 6包装、标志、运输、储存

6.1.1碳化硅外延片应在洁净室内装入专用的包装盒，外用洁净的塑料袋充氮气或真空封装。每个片 盒应贴有产品标签，标签内容应包括产品名称、规格、片数、批号等信息；或采用供需双方商定的包 装方法。

6.1.2包装箱内应有装箱单，外侧应有“小心轻放”“防腐防潮”“易碎”字样或标志，并注明下发 内容：

6.1.2包装箱内应有装箱单，外侧应有“小心轻放”“防腐防潮”“易碎”字样或标志，并注明下

6.1.3每批次产品应附产品质量证明书，并应注明下列内

b）产品规格和名称； c）产品批号； d）产品数量； e）产品晶向； f）各项检验结果； g）采用标准编号； h）出厂日期。

6.2.1产品运输中应轻装轻卸、勿挤勿压煤炭标准，并有防振措施。

6.2.1产品运输中应轻装轻卸、勿挤勿压，并有防振措施。 6.2.2产品应储存在洁净干燥的环境中。