表时精度不应低于1级。 3.8.16压力试验应分为强度试验和气密性试验。强度试验应采 用设计压力的1.15倍，保压3min，应以无损坏、无泄漏为合格。 管道设计压力不大于0.6MPa时，气密性试验应采用设计压力的 1.05倍.保压24h，应以无压降、无泄漏为合格。 3.8.17二次配管压力试验开始时，应测量试验温度，试验温度严 禁接近材料脆性转变温度。 3.8.18当设计文件规定以卤素、氮气或其他方法进行泄漏性试 验时，应符合现行国家标准《氮泄漏检测》GB/T15823的有关规 定。 3.8.19二次配管压力试验完成后，应脱开设备进行冲、吹洗 冲、吹洗气体的纯度不应低于管网输送介质的纯度。 3.8.20生产设备、电气配管、氢气配管、氧气配管的接地，必须与 专用接地线连接。 3.8.21二次配管压力试验和冲、吹洗完成后应填写设备二次配 管压力试验、冲（吹)洗记录，应按表A.0.3记录；二次配管施工完 成后应填写设备配管检验批质量验收记录，应按表A.0.4记录。

4.2.1设备试运行前应符合下列要求

公共安全标准4.2.2设备安全性测试应符合下列要求

1应将绝缘电阻测试仪的正极端接至设备相线端，负极端接 至设备机壳进行绝缘电阻测试，电源输人端与机壳之间应施加 500V直流电压，并应稳定10s，绝缘电阻值应大于2MQ。 2应将耐压测试仪的高压端接至设备相线端，接地端接至设 备机壳进行耐压测试，设备抗电强度应符合国家标准《测量、控制 和实验室用电器设备的安全要求第1部分：通用需求》GB4793.1 的有关规定。 3当开路电压超过规定的安全限值（36V)时，应使用一个串 接1500Q电阻的电流表与设备接地导体串联测量设备的泄漏电 流，不应大于5mA。 4.2.3设备噪声测试应采用声级计在设备水平面4个方向上，并 应在离地高度1.2m，距离设备1m处进行测量。在人员操作位置 以每天暴露时间8h计时，其等效连续A声级噪声不宜大于 60dB。

4.3，1设备试运行时，应将外接电源及接地与设备电源及各线路 按设备电路图接好，应检查确认无误后再接通总电源， 4.3.2在开机状态下，利用钳形电流表测量设备的电压、电流和 功率时，应满足设备使用的要求。 4.3.3设备调试时，应按产品规范或合同中规定的调试项目和步 骤对设备进行调试，并应填写设备调试记录，按表A.0.5记录。 4.3.4设备试运行合格后，应连续无故障工作48h，并应填写设 备试运行记录，按表A.0.6记录。连续工作前、后应进行设备主 要性能指标测试，测试结果应符合设备技术指标的要求。

5.1.1液晶显示器件生产设备安装工程验收，可分为交接验收与 竣工验收阶段， 5.1.2液晶显示器件生产设备二次配管配线工程完成后，应对各 系统进行检验，并应在合格后再进行交接验收。 5.1.3液晶显示器件生产设备交接验收合格后应进行单机调试 及试运行，并应在达到设备技术指标后再进行峻工验收。 5.1.4设备应按合同规定进行提交。 5.1.5订购方应具备检测所需的符合标准规定的检测仪器、试验 设备、工具及试验场所。检测仪器和试验设备应在有效计量检定 周期内。 5.1.6设备安装施工单位应向建设单位提交工程质量验收记录， 验收记录应按附录A的有关规定填写。

5，2，1建设单位应组织施工单位、设计单位组成验收组，并应 据施工合同、本规范及设备技术文件进行交接验收。 5.2.2交接验收应按下列步骤进行： 设备找正、调平后进行设备安装交接验收。 Z 设备配管配线完成后，进行配管配线交接验收。 5.2.3 液晶显示器件生产设备安装单位应提交下列资料： 设备安装工程施工合同。 2 主要材料合格证或质量保证书， 设备开箱检查记录

设备安装检验批质量记录。 5 设备安装检验批质量记录及分项工程质量验收记录。 设备配管配线检验批质量记录及分项工程质量验收记录。 管道焊接检验记录 8设备二次配管压力试验、冲吹)洗记录。 9峻工图及设计变更文件。 10工程质量事故处理记录。 11设备随机技术文件。 5.2.4液晶显示器件生产设备安装工程质量主控项目，应按下列 要求和方法检查： 1设备安装的平面坐标位置应符合设计要求。 检验方法：对照图纸用钢卷尺检查。 2垫板安装位置应准确，接触应紧密、无松动现象。 检验方法：目测和用小榔头轻击垫板检查。 3防位移、倾倒的压板设置方向应正确、紧固牢靠。 检验方法：对照设备安装使用说明书目测和用小榔头轻击压 板检查。 4特殊基础上平面不平度、安装水平度应符合设备正常使用 要求，调整水平度的螺脚均应与垫板紧密接触。 检验方法：用水平尺和塞尺测量基础上平面不平度；用水平仪 测量基础水平度.抽拉垫板检查接触紧密度， 5设备安装的水平度、垂直度应符合设备安装使用说明书的 要求。 检验方法：用水平仪测量。 6二次配管的管材、阀门应符合设计要求，并应有产品合格 证和产品质量证明书。 检验方法：查看设计图纸、产品合格证和产品质量证明书， 7管线布置和走向应符合设计要求， 检验方法：对照图纸检查。

检验方法：目测或用钢卷尺测量 8管道支吊架间距应符合设计或国家现行有关标准的规定。 检验方法：观或用钢卷尺测量 9二次配管压力试验应符合本规范第3.8.15条和第3.8.16 条的规定。 检验方法：查看记录， 10二次配管冲（吹）洗应按本规范第3.8.19条的规定进行， 应用洁净白绸布检查，无污染物应为合格 检验方法：查看记录， 11二次配线的电线电缆规格、型号，应符合图纸要求；绝缘、 相序应符合设备技术文件或现行国家标准《建筑电气工程施工质 量验收规范》GB/T50303的有关规定。 检验方法；对照图纸检查.用相应电压等级的兆欧表检查 12接地联接应正确可靠.并应符合现行国家标准《电气装置 安装工程接地装置施工及验收规范》GB50169的有关规定。 检验方法：观察检查或电阻测定、 5.2.5液晶显示器件生产设备安装工程质量一般项目，可按下列 要求和方法检查： 1设备安装用的垫板表面应无尘无油，每组不应超过3块。 检验方法：观察或用白绸布擦拭检查。 2设备跨壁板安装的密封应严密， 检验方法：目测，必要时进行夜间漏光检查。 3防微振基础周围与活动地板之间应柔性接触，嵌人的柔性 胶条应牢固。 检验方法：目测与手触检查。 4有坡度要求的管道.其坡度应符合设计要求 检验方法：拉线和尺量检查。 5管材、附件和阀门用螺纹连接时.其螺纹应清洁规整、无断 丝乱丝；镀锌件的镀锌层应无损伤、无锈斑：螺纹接口填料应无外露

检验方法：目测检查。 6法兰连接应符合下列要求： 1)对接同心、平行、紧密并与管中心垂直。 2)衬垫的材质应符合设计要求，且不应超过1层；螺栓露出 螺母的长度应一致，宜露出3个螺距。 检验方法：目测检查。 7不锈钢管与碳钢支吊架、管卡之间的隔离应无遗漏。 检验方法：目测检查。 8阀门安装应符合下列要求： 1)型号、规格符合设计要求； 2）进出口方向正确； 3）手轮朝向合理。 检验方法：对照图纸检查型号、规格，观察检查安装的正确性。 .6设备交接验收应填写设备安装工程交接验收报告，按表 0.7记录。

5.3.1建设单位应组织施工单位、供货单位、设计单位组成验收 组，并应根据施工合同、设计文件、本规范及设备技术文件进行液 晶显示器件生产设备安装工程骏工验收 5.3.2设备安装工程峻工验收时，调试单位应提供每台设备的单 机调试及试运行记录， 5.3.3验收组应对液晶显示器件生产设备安装工程的所有工程 内容进行全面审核、检查，检查时应做好记录，各项指标符合设计 要求应为合格。审查内容应包括设备安装、配管配线和设备技术 指标。 5.3.4验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收结论，并应 填写设备安装工程峻工验收报告，按表A.0.8记录，参加验收单 位代表应在验收报告上签字认可

5.3.5液晶显示器件生产设备峻工验收合格后，可交付进行试生产

5.3.5液晶显示器件生产设备峻工验收合格后，可交付进行试生产。 5.4验收不合格的处置

装工程质量不符合要求及设备工艺技术指标不符合要求时，应按 下列要求处理： 1经返工后的设备安装检验批、二次配管配线检验批应重新 进行验收。 2经返修后的分项工程仍能满足安全和使用性能要求时，可 按技术处理方案和协商文件进行验收。 5.4.2经返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程不得 验收。

附录A工程质量验收记录用表

A.0.1设备开箱检查记录的内容及格式应符合表A.0.1的规定。 表A.0.1液晶显示器件生产设备开箱检查记录

A.0.2设备安装检验批质量验收记录的内容及格式应符合表 A.0.2的规定

液晶显示器件生产设备安装检验批

A.0.3设备二次配管压力试验、冲（吹)洗记录的内容及格式应 符合表A.0.3的规定。 表40.3减晶显示器件生产设备二次配管压力试验、冲（吹）洗记录

A.0.4设备配管配线检验批质量验收记录的内容及格式应符合 表A.0.4的规定

A0.4设备配管配线检验批质量验收记录的内容及格式应符合 表A.0.4的规定

A.0.5设备训试记录的内容及格式应符合表A.0.5的规定

.0.6设备试运行记录的内容及格式应符合表A.0.6的规定 表A.0.6滤晶显示器件生产设备试运行记录

A,0.7设备安装工程交接验收报告的内容及格式应符合表 A.0.7的规定

A.0.7设备安装工程交接验收报告的内容及格式应符合表 A.0.7的规定。

A.0.8设备安装工程峻工验收报告的内容及格式应符合表 A.0.8的规定，

8液晶显示器件生产设备安装工程

附录B部分国产液晶显示器件生产 设备单机试运行及验收

B. 1. 1 试运行前应符合下列要求： 1 环境温度应为一10℃~40℃，相对湿度应小于80%。 2真空系统、气路系统、反应仓和管路的密封性，应符合产品 要求。 3 应检查接地是否正确可靠。 应启动真空泵检查电机旋转方向是否正确。 反应仓内电极架的安装应符合使用的要求。 B.1.2 验收应符合下列要求： 1 电源频率、设备功率、射频电源功率、气体流量、反应仓尺 寸、设备尺寸，应符合设备使用说明书的要求。 2 设备工作压力的检测，应用真空计测量，压力应达到 10Pa~1000Pa。 3设备极限压力的检测，应在不充入工作气体以及不产生等 离子体的情况下，用设备本身配套的真空系统进行试验，在正常工 作条件下启动真空泵，极限压力不应大于0.5Pa。 4反应仓抽气时间的检测应在反应仓空载状态下，当反应仓 内起始压力为一个大气压时，可启动真空泵抽气，到反应仓内压力 达到技术文件中规定的工作压力所用的时间应为反应仓抽气时 间，空载抽气时间不应大于25min。 5反应仓升压速率的检测，应采用静态升压法测量，并应在 反应仓充分除气情况下进行，当仓内达到极限压力后，应关闭真空 系统各通气口的阀门，并应关停真空机组。升压速率应按下式计 算，计算结果不应大于0.65Pa/min：

B.2.1安装应符合下列要求，

1干燥炉安装时应避免设备出人口正对门窗或风源 2干燥炉排风口大小的选择，应符合工艺曲线的要求。 B.2.2试运行前应符合下列要求： 1环境温度应为15℃~30℃.相对湿度应小于85%。 2开机前应检查按钮均处在（FF状态，电源线连接应正确 可靠，气路连接应正确。 3传递运行方式和传递速度应已选择，空气压力应已调 整。 启动排风扇，应运转正常，并应根据工艺要求选择是否 开启冷却风机。 5设备进入加热状态并到设定温度后，应再稳定一定时 间能否进人下一阶段工作状态。 B.2.3验收应符合下列要求： 1工件传输方式可分为网带式、铁氟龙带式、网链式、链 条式。 2传送速度检测时应给一定距离，应用秒表记录传送链 网带传送该距离所用的时间，再计算出传送速度，传送速度应

B.3.1试运行前应符合下列要求： 1环境温度应为15℃～35℃，相对湿度应小于85%。 2开机前应确认伺服电机输出轴与机械连接处的螺杆无松 动，电缆配线及气源配管应无外力压迫，工作台上应无残渣，工作 台上的油封应无外漏。 3当玻璃定位销边线与导轮轨迹不平行时，应进行工作台的 角度调警， 4 应根据具体情况对光学监控系统能进行位置调整 5 应根据技术要求调整刀头的压力和切深。 ? 在切割前应调整真空吸附压力，玻璃应吸附在工作台面上。 系统启动后应进行空压检查，应使原点复位，并可按提示

进行尺寸输人和画线操作。 B.3.2验收应符合下列要求： 1工作台验收应用钢卷尺测量，其有效尺寸应符合产品具 体要求。 2画线精度应用游标卡尺测量，其精度应符合产品具体要 求。 3画线速度应用秒表测量，应符合产品具体要求 4电源应为交流单相220V土10%、频率50Hz，功率应符合 产品具体要求。 5压缩空气应在开机状态下接通气源，并应通过调压阀调 节，目测压力表的气压应为0.4MPa～0.7MPa。 6裂板检测应取与工作台尺寸相同的玻璃板，并应输人各项 参数进行自动画线，裂板后应用卡尺测量长度和宽度，应符合尺寸 要求。

进行尺寸输人和画线操作

B.4.1试运行前应符合下列要求： 1环境温度应为15℃～35℃，相对湿度应小于85%。 2电源电压应为220V±10%，频率应为50Hz。 3压缩空气压力应为0.4MPa0.7MPa。 + 工作台吹气压力应为0.2MPa～0.3MPa 5 当刀头与工作台上的定位销不平行时，可进行工作台的角 度调整。 可根据要求调整刀头的升降速度和压力。 B, 4. 2 验收应符合下列要求： 用钢卷尺测量工作台尺寸时，其有效尺寸应符合产品具体 要求。 2工作台运行速度应用计时器测量.应符合产品具体要求。 3 应在开机状态下接通压缩空气气源，应通过调节调压阀，

目测压力表的气压应为0.4MPa～0.7MPa。 4用游标卡尺测量裂片的长度和宽度时，应符合产品具体要 求。

B.5.1安装应符合下列要求

1安装前应用酒精清洗真空室及各连接部件，且应干燥后再 进行安装。 2设备安装完毕后，真空泵应安放平稳，底部应垫橡胶板减 震，应将水平仪放置在真空室底面，并应通过调节机架的6个支 脚，调整设备水平。 3应装好真空测量规管，且应与真空计连接好。 B.5.2试运行前应符合下列要求： 1环境温度应为20℃～25℃，相对湿度不应大于85%。 2 检查气路接头不应有漏气现象。 3应接通罗茨泵冷却水，并应检查有无进出水，且各接头不 应有漏水现象。 4真空室内不应有粉尘和杂物。 应调平工件架，每层篮具相对每层工件架均应平行。 检查升降盘上、下限位开关位置应正确，动作应可靠，升降 盘行程应正确，在运转过程中工件架间不应有碰撞现象。 7开机前应先判断机械泵、罗茨泵的转向是否正确，不正确 时不得运行真空机组。 8升降机构运行应自如。 9开机前应将水压调为0.15MPa～0.20MPa，气压应调为 0. 4MPa~0. 7MPa。 B.5.3验收应符合下列要求： 真空室的温度应用数字温度巡回检测仪设定、控制和调 节，其温控精度应为士3℃。

2抽气应符合下列要求： 1)慢抽气阶段打开机械泵、排气阀，通过慢抽管路进行抽 气，根据产品的不同工艺要求，抽到所需压力。 2)快抽气阶段视产品性能、工艺要求，在机械泵抽到一定压 力后，再打开罗茨泵。 3充气应符合下列要求： 1)慢充气阶段关闭罗茨泵、关闭排气阀，打开慢充气阀，通 过慢抽管路开始充气。 2)快充气阶段，真空室内压力达到设定压力值后，可打开快 充气阀。 4电源应为三相交流380V土10%、频率50Hz，功率应符合 产品具体要求。 5自动功能应符合下列要求： 1）设定注人定时、排气定时及真空度，将“手动、自动”按钮 切换到自动，升降机构回复到初始位置。 2）按下“启动”按钮.机械泵、排气阀开，真空计到设定值 时，罗次泵开；排气时间到设定值，升降机构上升、下降； 设定时间到，排气阀关闭，罗茨泵停，慢充气阀打开；达 到设定气压时，快充气阀打开；达到大气压时.快充气、 慢充气阀关闭；注人时间到设定值时，升降机构运行到 初始位置，报警提示一个周期完成，消除报警。 6真空室抽气速率测试应采用设备配用的数字式真空显示 仪，在真空室空载状态下，应通过真空传感器进行测量，应用计时 钟监视抽气时间。打开机械泵开始计时，应按抽气线路对真空室 进行抽真空，抽气速率应达到设备技术规格书指标。

B.6.1试运行前应符合下列要求

1环境温度应为15℃~30℃.相对湿度应小于85%

2 电源应为三相交流380V±10%、频率50Hz。 压缩空气应为0.5MPa0.7MPa。 开机前应检查气路，连接应正确、畅通。 排风管直径应大于150mm。 B. 6. 2 验收应符合下列要求： 电源接通后在手动状态下应符合下列要求： 1)测试整平座翻转、运行动作正常； 2)UV灯点亮后设备不应有光外泄； 3)用UV照度计测量UV固化灯光照强度，应符合设备技 术规格书指标： 4)测试UV固化灯移动正常； 5)检查UV灯箱光栅门开闭自如。 2应将“手动、自动”开关置于手动位置，设备应具备手动设 置加压压力、回压压力、加压时间、回压时间、固化时间等参数的功 能。 3应将“手动、自动”开关置于自动位置上，应按动“启动” 按钮，设备应按程序控制自动运行，且应具有联锁、互锁、急停 报警的功能，以及自动加压、自动回压、自动开启UV灯等的功 能。

B.7.1安装还应符合下列要求： 1应调整机架底部4个地脚螺栓使机架上部水平，并应用水 平仪测量，调整水平后，应锁紧螺栓。 2手动调试后，自动运行前应按原点复位。 B.7.2试运行前应符合下列要求： 1环境温度应为15℃35℃，相对湿度应小于85% 2电源应为单相交流220V土10%、频率50Hz。 3压缩空气应为0.4MPa～0.7MPa。

4水源应为纯净水0.05MPa～0.2MPa。 5开机前大、小带轮的底面应在同一个平面上。 6应根据要磨的玻璃片的厚度调节砂轮的前后及上下位置， 检查要磨削的玻璃片的尺寸应同显示屏上设定的数值一致。 7在磨削玻璃前应开启冷却泵， B.7.3验收应符合下列要求： 1工作台尺寸及行程应用钢卷尺测量，其有效尺寸应符合产 品具体要求， 2定位台行程及砂轮调整值应用千分表测量，其精度应符合 产品具体要求。 3砂轮额定转速应用机载仪表测量，应符合产品具体要求。 4应在开机状态下接通气源，并应调节调压阀，目测压力表 的气压应为0.4MPa~0.7MPa。

试运行应付合下列要求： 1环境温度应为15℃～35℃，相对湿度应小于80%。 2电源应为三相交流380V土10%、50Hz。 3设备安装完毕后，应用水平仪找平，调整地脚使主传动体 安装垫板面水平，并应调整梁上平面与垫板平行在0.1mm以内。 4送料系统调整应用水平仪找平直线导轨，两导轨共面应小 于0.03mm，应调整丝杆轴承座，丝杆及导轨平行度应小于 0. 03mm。 5调刀应采用硬纸板试切，应根据刀梁组件上安装的百分表 读数，调整调刀螺杆，并应调整切刀的上下位置，切刀与梁之间平 行误差不应大于0.25mm。 B.8.2验收应符合下列要求： 1开机状态下，每个尺寸段内应任意取两组不同尺寸（包括 最小尺寸和最大尺寸）输入设备系统，应切割偏振片或厚度

0.2mm～0.5mm的硬纸，利用游标卡尺和工具显微镜测量时，应 符合切片准确度要求。 2开机运行状态应利用计时器通过人工计数方式计算切割 速度，应为25次/min～80次/min，并可根据切片宽度自动调整切 片速度。 3开机状态下应接通气源，并应调节设备调压阀使压力表气 压为0.5MPa~0.7MPa

B.9.1试运行前应符合下列要求： 1环境温度应为15℃～35℃，湿度应小于80%。 2电源应为单相交流220V土10%、频率50Hz，功率应符合 产品具体要求。 3开机前应将各气缸速度及各传感器位置调节好，且前、后 位及上、下位不应调错或互换。 4压力开关、光纤传感器、送料时间、电机调速器应调节或设 定好。 5 真空系统应畅通，贴片头侧面的工艺孔上的密封胶带应完 好。 64个支脚应升起并锁紧，并应保证2个定位气缸同步运 动；应保证传送部件横、纵向调节灵活且间距合理。 7贴片胶辑表面应洁净并完好，并应能保证胶辊与运动平台 平行，各个传送辊子应运转灵活、无死点。 8空气净化器的油雾器里应有油。 9基片和偏振片应合格，可根据LCD基片调节平台的侧定 位条，并可根据偏振片大小调节偏振片吹气管的位置。 10开机后应依序进行平台真空调节，贴片真空调节，贴片胶 辑调节，上胶带、放置并定位调节偏振片，调节基片等步骤后再进 行贴片操作。

B.9.2验收应符合下列要求

用游标卡尺测量贴片精度，应符合产品具体要求。 2用秒表测量贴片速度，应符合产品具体要求。 3开机状态下应接通气源，并应通过调节设备调压阀使压力 表气压为0.5MPa～0.6MPa

B. 10. 11 试运行前应符合下列要求： 1环境温度应为15℃～30℃，相对湿度应小于85%。 2电源应为三相交流380V士10%、频率50Hz。 3加压检查管道、炉门和阀门的密封性应良好。 4电源接通后，各仪表应正常工作，风扇转向应正确。 5开机前气路连接应正确、畅通，工作气压调节应为0.4MPa~ 0. 7MPa, 6各按钮功能应正常，门开关应灵活。 B.10.2验收应符合下列要求： 1加热功率应符合设备技术规格书指标。 2应根据产品工艺要求，用压力开关和调压阀、电接点压力 表设定压力值.并应用其测量工作室压力，设定的压力值不应大 于设备技术规格书中允许的最高压力。 3使用温度控制仪检测设备的升温速率及控温精度时，应符 合设备技术规格书指标。 4应根据产品工艺要求设定所需工作温度，设定温度不得超 过设备允许的最高温度。 5应根据产品工艺要求，用时钟测量定时器设定值，设定值 应为0~999h。

B, 10, 1i 试运行前应符合下列要求： 1环境温度应为15℃～30℃，相对湿度应小于85%。 2电源应为三相交流380V士10%、频率50Hz。 3加压检查管道、炉门和阀门的密封性应良好。 4电源接通后，各仪表应正常工作，风扇转向应正确。 5开机前气路连接应正确、畅通，工作气压调节应为0.4MPa～ 0.7MPa, 6各按钮功能应正常，门开关应灵活。 B.10.2验收应符合下列要求： 1加热功率应符合设备技术规格书指标。 2应根据产品工艺要求，用压力开关和调压阀、电接点压力 表设定压力值.并应用其测量工作室压力，设定的压力值不应大 于设备技术规格书中允许的最高压力。 3使用温度控制仪检测设备的升温速率及控温精度时，应符 合设备技术规格书指标。 4应根据产品工艺要求设定所需工作温度，设定温度不得超 过设备允许的最高温度。 5应根据产品工艺要求，用时钟测量定时器设定值，设定值 应为0~999h。

B.11.1试运行前应符合下列要求

1环境温度应为15℃～30℃，相对湿度应小于85%。 2开机前，检查电气所有的按钮应处于“OFF”态，供电、供气 应正常。 3电气线路接通后，电传感器测试软件应运行正常， 4原点返回后，可在触屏上选择自动、单步、手动操作或进行 数据设定。 B.11.2验收应符合下列要求： 1验收的试验条件应为在开机状态下，用下列尺寸的玻璃基 板和IC芯片进行实验： 1)玻璃基板(25~150)mmX(20~120)mmX(1.2~2.8)mm。 2)集成电路芯片（4~25)mm×(1~6)mmX(0.3~0.8)mm。 2电源应为三相交流380V士10%、频率50Hz、功率5kW 3在触摸屏上设定压焊时间，压接1个芯片的周期应为11s 左右（以主压焊时间5s计算）。 4压接长度应为5mm~30mm，宽度应为2.0mm~6.0mm， 对位精度应为长L土0.3mm、宽W士0..15mm，温度范围应为室 温~120℃，压接压力应为9.8N～98N.压接时间应为0.1s～30s， 时间调节间隔应为0.1s，压接头平面误差为士5um， 5芯片预压焊对位精度X土5um（38）、Y±5μm（38）、压头温 度范围室温100℃、焊接压力9.8N～49N.控温精度士5℃、压焊 时间0.1s～30s（时间调节间隔0.1s）、底座平台误差不应大于 ±3μm。 6芯片主压焊对位精度X及Y与?不应大于土5um（38）、 土0.02°温度范围室温～350℃、控温精度应为土5℃、焊接压力 9.8N～294N、头部平面误差和底座平面误差不应大于土3um、压 焊时间应为0.1s～30s，时间调节间隔应为0.1s。 7ACF、预邦定、主邦定对位精度测试是将玻璃基板ACF 贴附、预邦定、主邦定后，用设备上的CCD来观察精度是否符合要 求。

B.12.1 运转即州音下水： 环境温度应为15℃～30℃，相对湿度应小于85%。 2 通风管道连接好后应畅通无阻。 3 各连接螺栓不应松动。 4 网带上（工作区）不应放置除被照物外的其他杂物。 5应关闭所有的门，且箱体四周门的密封性应良好。 B.12.2验收应符合下列要求： 1关机状态下，利用钢卷尺进行测量时，光照区尺寸、传送带 区间尺寸、进料口高度，应符合设备技术规格书指标。 2在带速一定的情况下，应根据照度计测得的光强、光积量 调整灯的高度，应符合工艺要求。 3网带速度可由调速器设定，开机状态下，应用秒表进行测 量，传送带带速应为0.012mm/s~0.120mm/s无级调速。 4开机状态下，应利用数字温度巡回检测仪测量炉内温度 应符合设备技术规格书指标。 5电源应为三相交流380V士10%、频率50Hz

《液晶显示器生产设备安装工程施工及验收规范》GB50725一 2011，经住房和城乡建设部2011年9月16日以第1160号公告批准 发布。 本规范按照实用性原则、先进性原则、合理性原则、科学性原 则、协调性原则、规范化原则制定 本规范制定过程分为准备阶段、编制及征求意见阶段、送审阶 段和报批阶段，编制组在各阶段开展的主要编制工作如下： 准备阶段：起草规范的开题报告，重点分析规范的主要内容和 框架结构、研究的重点问题和方法，制定总体编制工作进度安排和 分工合作等。 编制及征求意见阶段：编制组根据审定的编制大纲要求，由专 人起草所负责章节的内容。各编制人员在前期收集资料的基础上 分析国内外液晶显示技术现状和液晶显示器件生产设备安装施 工、搬运、安装就位及工程验收的实际经验，然后起草规范讨论稿， 并经过汇总、调整形成规范征求意见稿初稿。 在完成征求意见稿初稿后，编写组组织了多次会议分别就重 点问题进行研讨，并进一步了解国内外相关技术现状以及设备安 装情况，在此基础上对征求意见稿初稿进行了多次修改完善，形成 了征求意见稿和条文说明。并由信息产业部电子工程标准定额站 组织向全国各有关单位发出“关于征求《液晶显示器件生产安装工 程施工及验收规范》意见的函”，在截止时间内，共有6个单位返回 105条有效意见和建议，编制组对意见逐条进行研究，于2010年5 月份完成了规范的送审稿编制。 送审阶段：2010年7月13日，由工业和信息化部规划司在上

3.1.1微电子生产设备是按生产流程布置，其位置由工艺决定， 不能任意更改，故规定应按批准的技术文件施工，修改有关技术文 件应有相应单位的批准。

3.2.1本条对普通液晶显示器件生产设备中转库的结构及库内 环境要求作出规定。对液晶显示器件生产设备中转库的消防设施 作出的规定，是因为液晶显示器件生产设备一般比较贵重，应有可 靠的消防设施，避免因发生火灾造成巨大损失。对特殊液晶显示 器件生产设备用中转库还应设置恒温恒湿存放间来满足特定的温 湿度要求，但在编制施工作业计划时应尽可能安排将这类设备直 接搬人洁净厂房安装就位。 3.2.2本条对普通液晶显示器件生产设备的贮存要求作出规定 目的在于保证设备出库时不致因设备存放混乱而造成倒库，增加 设备损坏的风险，浪费设备出库的时间，这也是保证设备安装进度 的措施之一。明确规定不得与腐蚀、易燃、易爆物品同时存放，不 得接近火种的要求，其目的除从人身及设备的安全考虑外，设备的 价格特别昂贵也是重要原因。所以在设备安装的任何一个环节， 对设备的安全都是重点考虑的问题之一。此外，有特殊贮存要求 的设备按技术文件的要求进行贮存。

3.3.1本条列出了液晶显示器件生产设备安装工程施工应具管

的技术文件。其中除施工组织及施工方案由施工单位提供外，其 余的技术文件应由建设单位提供。 3.3.2本条提出洁净厂房空态验收合格，且净化空调系统连续正 常运行24h以上，目的是保证各洁净室（区）的洁净度、温湿度、房 目压差等环境参数达到设计要求，从而满足液晶显示器件生产设 备在洁净室（区）安装就位后对环境的要求，所以将这一条定为液 晶显示器件生产设备搬人安装的基本条件之一；安装生产设备时， 人流已进人受控阶段，为确保洁净室（区）净化指标不被破环，人员 进人洁净室（区）应经过已启用的风淋室，其他临时人口一概封堵， 故条文规定人员净化室已启用，并应有专人按洁净厂房管理制度 进行管理；建筑结构振动特性已验收测试及分析合格，以及规定要 先对防微振设施进行测试验收，目的是为满足有防微振设备的要 求：规定厂房内消防设施应已通过专项验收，并应已启用，是要求 在设备搬人前厂房的消防设施、防雷设施及防静电设施已安装验 收完成，防止设备搬人以后发生火灾或雷击情况无法对设备进行 有效保护，以及满足设备对环境的静电要求

定。第2款对室外搬运用机具从可靠性及吊具的强度、索具的柔 软性方面提出要求，防止在捆绑和吊装、运输中对设备造成损伤。 3.4.3本条对安装设备用的材料作出规定，其中第1款～第6款 的核心内容是为防止任何材料上附着的尘埃、铁锈、铜锈、油腻被 带人洁净室（区）而破坏工艺环境所作的相关规定；并要求所用材 料在使用过程中也不生锈、不散发尘埃，使用的紧固件、易老化的 密封材料应有产品合格证都是出于同一目的；第7款是对进人洁 净室（区）的文件资料的要求。

3.5.1本条明确了开箱责任人员的组成给排水造价、定额、预算，目的在于设备一且发现 问题，便于分析产生的原因、分清责任，作出正确的处理意见。 3.5.2本条对拆除外包装的地点作出规定，是为避免在地面拆除 外包装后进行垂直吊运对设备增加的风险；规定要保留内包装的 目的是不让室外空气中尘埃污染设备 3.5.3本条对设备开箱的步骤和应注意的事项作出了明确的规 定，是确保生产设备安全的措施之一。 3.5.4本条提出设备拆除外包装箱以后，要检查内包装是否完 好，对设有监视振动装置的精密设备，还要检查其装置是否发生过 异常情况，并在出现异常时应留下法律认可的证据，以此作为是否 还要对设备作进一步检查的依据之一。 3.5.5本条规定了拆除内包装的场所，同时规定了拆除内包装后 应立即由参加开箱的各方代表共同进行检查和清点，发现异常时 应及时照相或录像，为分析、解决间题留下有效依据；设备拆除内 包装后应尽快搬人洁净室（区），这是因为设备裸露以后不允许长 时间置于亚洁净的气闸室。 3.5.6本条对设备开箱后需要检查的事项作出了规定，并明确要 求及时办好附件、技术文件移交手续，做好详细记录，做到有据可 查。

3.6.1、3.6.2这两条是保证液晶显示器件生产设备在室外搬 运过程中，任何一个环节都不得产生对设备安全有害的振动而 作出的相关规定。设备搬运除应遵守本规范的规定外，还应遵 守《工程建设安装工程起重施工规范》HG20201的相关规定。 3.6.3国家现行标准起重机械安全规程》GB6067中规定，在架 空输电线路一侧工作时，不论在任何情况下，起重臂、钢丝缝或重 物等与1kV以下架空输电线路的最近距离不小于1.5m。 3.6.4条文对搬运通道采取的防护措施作出规定，包括为防止对 搬运通道、墙、地面的刮伤而采取的铺垫措施和防止损坏架空地板 结构、确保设备安全搬运到位而对地板提出的加固要求，如搬运路 线上地面承载能力不足的应做好加固工作，加固材料应符合洁净 室使用要求；当需拆除门框或墙板时，拆除后应做好保护且及时恢 复。 3.6.5在拆除外包装的情况下起吊、搬运有内包装的设备时，对 设备造成损伤的可能性增大，条文对其作业过程提出了必要的要 求，这些规定不但保证了设备不被空气污染，也确保了设备搬运的 安全。 3.6.6从平稳性和省力的角度考虑，气垫搬运法是在平地搬运精 密、重型设备较理想的方法，但由于其装置价格相对昂贵且利用率 低，使用尚不普遍。 3.6.7由于活动地板的承载能力有限，在活动地板上吊装设 备，要根据设备重量和地板结构情况编制安全可靠的吊装技术 方案。

3.7.2对液晶显示器件生产设备的安装环境作出了规定，安装环 境应和规定的环境要求相一致，是为了避免设备间的相互干扰。 54·

3.8.5二次配管配线明管较多，设备周围管线布置得不合理，将 给设备的使用和维修带来不便，还可能占用操作人员的活动空间， 为避免这类情况的发生，规定管线的走向和排列应按二次配管配 线图施工。 3.8.7液晶显示器件生产用的大宗气体为高纯度气体，如被污 染，对电子产品质量影响很大，基至不能生产出合格的电子产品， 极氩弧自动焊不仅焊缝成型好，又能确保管子内外壁不被氧化， 是目前较普遍使用的理想的焊接方式，故在条文中规定输送大宗 气体、非腐蚀性溶剂的不锈钢管，当采用焊接连接时，应采用钨极 氨弧自动焊机施焊。 3.8.8高纯介质二次配管应先在专设的防尘、防静电的洁净小室 内预制成组件，再搬人洁净厂房安装，其目的是将洁净厂房内的施 工焊接作业减至最少。为使组件在预制过程中不受到污染，要求 洁净小室具有必要的洁净度，严格地讲，洁净小室的洁净等级应与 其安装场所的洁净等级相同，但这在国内目前条件尚不成熟，因 此，在条文中采取适中的做法，即洁净小室的洁净度不应低于5 级。 3.8.10为防止碳钢支吊架生锈污染洁净室（区），条文明确规定 碳钢支架应采用镀锌材料或不锈钢材料；支吊架制作时的切割端 面常被忽视而未做防锈处理，故在条文中明确规定切割端面要做 防锈处理。 3.8.11二次配管配线是在洁净室（区)已经达到生产要求的工艺 环境内进行的，这时环境不允许受到污染.因此禁止锯、锋、钻等轻 度发尘作业·但在实际施工中并不能完全排除这些发尘作业，当个 别情况不可避免时，应在作业前做好围护，并在作业时用中央集尘 系统或无尘室专用吸尘器不间断地吸除尘埃。 3.8.13十几年的工程实践发现.大多数洁净厂房设备的二次配 管都会采用PFA、PU管等软管.故本条对设备二次配管采用软管 的安装作出了要求。软管的弯曲同软管接头的安装及其运动平面

在同一平面上，是为了防止扭转。若不能满足弯曲半径、移动行程 及4%的余量时，应增加硬管长度。若软管两端的接头需在两个 不同的平面上运动时，应在适当的位置安装夹子，把软管分成两部 分，使每一部分在同一平面上运动。 3.8.15本条对二次配管的压力试验作出规定，是考虑到液晶显 示器件厂房的封闭性和对人员及设备的潜在危险。虽然二次配管 的管程相对较短，也不能忽视压力试验，所以规定二次配管的管程 中有焊缝或其他连接接头，且设计压力大于0.1MPa时应做压力 试验。对有毒、可燃及有腐蚀性介质的管道还应做气密性试验。 根据液晶显示器件厂房的禁水要求和管内无杂质的要求，压力试 验、气密性试验和泄漏性试验的试验介质应为高纯情性气体，不得 采用水压试验。 3.8.16根据实践经验，气压试验的试验压力为1.15倍设计压 力，0.6MPa是个重要界限。当设计压力超过0.6MPa时，应按设 计文件进行试压，或拟定安全技术措施经建设单位同意后进行。 进行管道压力试验，应缓慢升压和稳压，防止升压过快使管道因受 力不均产生有害振动或发生爆炸。保证试验持续时间是进行气密 性试验的前提，其所以确定为24h，是根据经验和进行气密性试验 的目的确定的。当试验气体升到规定压力后保持24h后进行检 测，可完全查出管道的密闭性。持续时间短于24h，对于细微的缝 隙可能查不出来：大于24h会增加人力物力，造成浪费。 3.8.17由于气压试验的最大风险在于温度太低，本条规定试验 时应先测量试验温度，严禁试验温度接近材料脆性转变温度。 3.8.19二次配管的压力试验完成后，除排风、排气管外应进行冲 （吹)洗。对于无毒、非可燃气体管道，可用管网本底气体进行冲、 吹洗。 3.8.20因为接地是确保液晶显示器件生产设备能正常运转，并 确保厂房、生产设备及人员安全的措施，所以将此条列为强制性条 款，要求设备安装施工人员必须严格执行。

5)钳形电流表。测量范围：交流电压0～600V；准确度：士 (1.2%±5)。 交流电流0～400A；准确度：± (1.8 %±5)。 6)数字多用表。测量范围：0～750V(AC)；准确度：士（1%十5）。 7)压力数显仪。测量范围：050kg；准确度：士5%。 8）温湿度计。测量范围：温度：一20℃~40℃；准确度：士1℃。 湿度：0~100RH%；准确度：±5%RH。 9)数字声级计。测量范围：35dB~130dB；准确度：0.1dB。 10)秒表。测量范围：0～999h；准确度：0.001s。 11)数字温度巡回检测仪。测量范围：一200℃～1600℃；准确 度：±0.2℃。 12)千分尺。测量范围：0~1mm；准确度：士0.001mm。 4.2试运行前的准备

弧和闪烁等现象。 3泄漏电流测试：设备工作期间，其金属外壳（包括外壳上的 金属构件）与地之间的开路电压超过规定的安全限值（36V)时，应 测量外壳与地之间的泄漏电流。 4.2.3设备噪声测试。设备不应产生有损于人员听力和心力的 强噪声。对于限制噪声以避免对器件生产产生影响的设备，噪声 测试按产品规范或合同的具体要求进行。声级计用A声级、慢速 挡。然后计算平均值，

4.3.2根据液晶显示器件生产设备需要信息技术标准规范范本，选择380V或220V交 流电源供电。设备应具有良好的电源适应性，以保证设备在电源 电压或频率变化时能正常工作。若无其他规定，当电源电压在额 定值的90%~110%、电源频率在额定值的95%~105%范围内变 化时，设备变化时，设备应满足规定的性能指标要求；当电源电压 为额定值的80%时，设备应能工作（性能指标允许下降到规定 值）；当输人电压为额定值的115%时，设备不应损坏。 设计液晶显示器件生产设备时应尽量提高设备效率、降低功 耗。对于所使用的工作气体应做到充分利用，气源管路精简、气流 畅通、密封良好、保证整个系统稳定高效地运行。具体要求在产品 规范中规定

5.2.1液晶显示器件生产设备安装工程交接验收是安装单位按 本规范要求将质量合格的工程移交给建设单位的过程。提出建设 单位应及时组织验收组核实安装单位提交的安装工程交接验收报 告的符合性。 5.2.3规定了施工单位应向建设单位提交的技术资料，当有2个 以上施工单位分别承担设备安装及二次管线安装时，由各施工单 位提交其施工范围的相关技术资料，