maincontrolitems

本标准指对安全、节能、环境保护、主要使用功能等起决定性 作用的检验项目。

本标准指主控项目之外的其他项目。

电力弱电施工组织设计generalcontrolitems

3.0.1施工单位应按设计文件、设备安装指南或安装说

定内容进行安装施工；需要设计变更时，应经原设计单位的确认， 签证，并应得到建设单位的同意。

防护措施，作业结束时应及时清理施工现场。 3.0.3在洁净区域施工时，应采取保证材料、设备及施工现场清 洁的措施

3.0.4施工前应根据项目生产工艺流程及特点对工艺设备安装

3.0.4施工前应根据项目生产工艺流程及特点对工艺设备 进行技术交底并制定施工方案。基本生产工艺流程可按本材 录A执行。

3.0.5设备安装前应复查基础外形尺寸、坐机

3.0.8各专业的隐蔽工程，施工结束前应检查和清理施工余

杂物，隐蔽前应经建设单位或监理人员的验收及认可签证，检 格后方可进行封闭，并应有现场施工记录和相应影像资料

3.0.9在施工过程中或工程竣工验收前，应做好设备、材料及装 置的成品保护。

应形成书面记录；上道工序未经检验合格，不得进行下道工序 施工。

1.1开箱前的生产设备宜放置在专门的仓库中储存，储存 应干燥、通风，并应便于搬运；暂时存放在露天的生产设备宜垫 应采取防火、防潮、防雨施

4.1.2曦光机、MOCVD等生产设备应按设备的储存要求进行

4.1.6设备包装开箱应及时按原装箱单清点，当装有震动感应器

4.2.1 工程所用材料应符合下列规定 1 应符合设计要求； 应有产品合格证： 3 进场应检验，并应做记录。 4.2.2 工程所用材料、设备和装置的装运方式及储存环境应符合 说明书的规定。

4.2.4厂房内应具备设备安装所需的动力

地系统设施应通过测试合格

4.2.5设备基础应满足安装要求

1设备安装时应预留设备操作、维修空间： 2设备有防微振控制或特别承重要求时，应采取相应的 振或提高承载能力的措施。

5设备布局、位置坐标应符合

1施工前应明确设备布局，确认设备布置图纸的准确； 2根据设备布置图确认设备安装基准线

1 施工方案； 2 人员、机具进场计划； 3事故应急预案。

震动感应器及倾斜感应器等运输智能标贴的，标贴应显示正常。 4.3.21 设备开箱时应检查下列内容： 1 箱号、装箱清单； 2 设备的名称、规格型号； 设备的技术文件； 4 设备的随机附件、专有工具。 4.3.3 设备开箱宜采用专用开箱工具： 4.3.4 设备箱体不得倒置，有防震、防倾斜要求的，应采取防护 措施。 4.3.5 设备开箱不宜在运输车上开箱。 4.3.6 设备开箱宜从顶板开始，再拆除四面箱板，宜保留设备 箱底。 4.3.7 设备零部件清点后应安全有序存放。 4.3.8 设备开箱后应检查设备外观是否完好无损。 4.3.9 设备开箱检验应做好记录。 4.3.10 设备包装材料应做好回收处理，进口设备的木质包装材 料应检疫合格后方可处理

.1设备搬运应符合下列规定：

1应规划好搬运路线图，并应标注清楚路障、设备尺寸和重 量等标识； 2应制定专项方案，并应经过建设单位同意； 3应对作业人员进行技术、安全交底； 4应对作业车辆、工机具及安全防护措施进行全面检查。 4.4.2在搬运设备时，搬运通道应平整、通畅；在整个搬运过程 中，设备应平稳行进。 4.4.3对于有恒温恒湿要求的精密设备，应及时搬入洁净室 （区）。 4.4.4 对于有防微振要求的设备，应采用相应技术措施进行 搬运。 4.4.5设备搬运应符合现行行业标准《化工工程建设起重规范》 HG/T20201的有关规定。 4.4.6起吊旋转过程中，起重臂、钢丝绳或设备应与架空线缆保 持1m以上安全距离。 4.4.7起吊软包装或无包装的设备时应符合下列规定： 1起吊使用的吊索根据设备重量在满足负荷要求的情况下 宜采用柔软吊索； 2吊索捆绑位置应避开仪表及结构脆弱部位，起吊时应注意 设备的重心，并应防止设备倾斜跌落； 3起吊区域下方应设置安全隔离及警示标志，设备起吊时产 禁人员进入起吊区域下方； 4设备起吊不宜过高，以能顺利拆除外包装箱底为宜： 5起吊时应控制提升和下降速度，不得产生冲击、碰撞现象： 6 设备起吊过程中，宜采用附缆控制方向。 4.4.8设备从搬入平台、搬人口、气闸室至洁净室（区）安装就位 时，应符合下列规定： 1所经路线的墙壁、墙角、门框、地面应采取保护措施； 2保护的材料不应产尘、集尘：

3起吊区域下方应设置安全隔离及警示标志，设备起吊时严

3搬运路线上地面承载能力不满足要求时，应做好加固工 作，加固材料应符合洁净室使用要求； 4需拆除门框或墙板时，拆除后应做好保护并应及时恢复； 5进入洁净区的设备、机具等装置应进行洁净处理

搬运路线上地面承载能力不满足要求时，应做好加固工 固材料应符合洁净室使用要求； 需拆除门框或墙板时，拆除后应做好保护并应及时恢复； 进入洁净区的设备、机具等装置应进行洁净处理

5.1.1设备进场应由施工单位、监理单位、建设单位代表共同验 收，设备包装箱应无损坏，设备型号、规格、数量应无误，装箱清单， 产品质量合格证、性能检测报告及产品说明书等随机文件、附件应 齐全，进口设备还应有商检合格证明文件，并应形成验收记录

5.1.2在地坪上直接安装设备应符合设备厂家的固定要求

5.1.4设备接地系统应与厂房接地系统连接良好，需要单独接地

5.1.5设备应根据设计要求配备电源线接口

5.2.1当MOCVD设备搬入洁净间并在事先规划的位置

当MOCVD设备搬人洁净间并在事先规划的位置集成就位

时应水平调整定位，所有设备模块的水平度应优于0.5mm

5.2.2设备四周应保留天于1m的维修保养空间。在规划设备 安装位置时应满足设备厂商对保留空间的特殊要求。 523MOCVD设各安装应饰合下列机定

5.3芯片制作设备安装

5.3.1蒸发镀膜设备的安装应符合下列规定： 1 设备冷却水流量、压力、温度、水质应符合设备技术文件 要求； 2 工艺气体管道及管道部件应使用SUS316L（不锈钢 材料； 3 设备尾气接口应接入厂房相应的废气处理系统。 5.3.2等离子体增强化学的气相沉积法（PECVD）设备的安装应 符合下列规定： 1工艺气体管路及真空管路应正确接； 2气体管道及管道部件应使用耐腐蚀不锈钢材料：

3设备尾气接口应接入厂房相应的废气处理系统。

3设备冷却水流量、压力、温度、水质应符合设备技术文件 要求； 4设备工艺用的每一类特种气源应由满足技术文件要求的 独立气源接口接入，其接口应符合对应气体的特种要求，并应在接 口附近设置气路手动截止阀。 5.3.3 反应离子刻蚀机的安装应符合下列规定： 1 可通过调节四个地脚螺栓高度来调平承片台； 2 设备尾气接口应接入厂房相应的废气处理系统； 3设备压缩空气应由满足技术文件要求的气源接口接入，气 源接口应满足设备用气量要求，气源接口应能承受不小于 0.5MPa的气源压力； 4设备工艺气管道及管道部件应使用SUS316L材料； 5设备循环冷却水流量、压力、温度、水质应符合设备技术文 件要求； ：6刻蚀电极应独立安装循环冷却水系统，水压、水温、水质应 满足设备使用要求。 5.3.4 匀胶设备的安装应符合下列规定： 1 可调节四个地脚螺栓高度使匀胶承片台水平； 应设置与工艺线排风管道口相连接的接口： 3 高速旋盘上方应安装可靠的防护罩； 4 工作台应设有减振装置； 5 自动滴胶系统的安装、储胶罐的接口密闭情况及胶阀的气 压应符合要求； 6断电保护装置应运行正常。 5.3.5曝光机的安装应符合下列规定： 1设备安装前应定制基座用来防震，安装时可通过反复调节 四个地脚螺栓高度使得曦光机承片台水平，并应用水平仪进行检 测确认；

3设备冷却水流量、压力、温度、水质应符合设备技术文件 要求； 4设备工艺用的每一类特种气源应由满足技术文件要求的 独立气源接口接入，其接口应符合对应气体的特种要求，并应在接 口附近设置气路手动截止阀

5.3.5曝光机的安装应符合下列规定：

3.5曝光机的安装应符合下

1设备安装前应定制基座用来防震，安装时可通过反复 四个地脚螺栓高度使得曝光机承片台水平，并应用水平仪送 测确认； 2设备配备二级过滤和二级调压气阀的，安装压缩空

先接入二级过滤阀，再接入二级调压阀，最后再接入设备

5.3.6显影设备的安装应符合

1可通过调节四个地脚螺栓高度，使得真空吸盘呈水平状 态，并应用水平仪进行测试和确认； 2显影腔的排风系统应与厂房内相应的排风系统相连接； 3应正确接人压缩空气、氮气及真空三种气路，以及冲洗用 纯水管路； 4设备应具备排废液管道，废液管应接入相应的废液处理 系统。

5.3.7抛光机的安装应符合

1 可通过调节四个地脚螺栓高度来调平抛光台； 2抛光废液应回收处理，抛光废液管应接入相应的废液处理 系统。

5.4芯片封装设备安装

5.4.1芯片粘片机的安装应符合下列规定： 1设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块： 2设备在拆卸固定块后，工作组件可顺畅地移动到工作范围 的任意位置而不会自行滑动到某个位置。 5.4.2共晶焊机的安装应符合下列规定： 1设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块： 2设备在拆卸固定块后，工作组件可顺畅地移动到工作范围 的任意位置而不会自行滑动到某个位置； 3安装导轨时应调整到滑动运行自如； 4 操纵部件应灵活，可稳定吸取或夹取相应的器件。 5.4.3引线键合机的安装应符合下列规定： 1设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块； 2设备在拆卸固定块后，工作组件可顺畅地移动到工作范围 的任意位置而不会自行滑动到某个位置；

芯片粘片机的安装应付合下列规定： 1 设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块： 2设备在拆卸固定块后，工作组件可顺畅地移动到工作 任意位置而不会自行滑动到某个位置

1设备放置到固定工位之前不得拆卸固定块： 2设备在拆卸固定块后，工作组件可顺畅地移动到工作 任意位置而不会自行滑动到某个位置；

安装导轨时应调整到滑动运行自如。 5.4.4 倒装焊机的安装应符合下列规定： 设备电源接入应符合要求； 2 倒装焊机外壳应接地； 3 设备应配置压缩空气、工艺真空、氮气三种气源接口，以及 个水源接口。

3安装导轨时应调整到滑动运行自如。

5.4.5丝网印刷机的安装应符合下列规定

1由机械手上片的丝网印刷机应确保吸片头的各个叭 整在同一水平面上； 2设备安装后应检测印刷工作台的平面度，确保达到量

1由机械手上片的丝网印刷机应确保吸片头的各个吸盘调

1设备应远离产生腐蚀性气体、液体或有较强振动、电磁干 扰的其他设备： 2 设备安装后应保证摄像头不与任一可动部件运行时相触碰； 3 设备安装环境应有恒湿措施。 5.5.2 激光测厚仪的安装应符合下列规定： 1 测厚仪的工作台应放置于稳固、防振桌面并应固定； 应逐一调节地脚螺栓，将测量工作台调至水平。 5.5.3 X射线检查仪的安装应符合下列规定： 1设备应远离产生腐蚀性气体、液体或有较强振动、电磁干 扰的其他设备； 2应检查各丝杠导轨是否有润滑油，若没有则应及时补充；

1设备应远离产生腐蚀性气体、液体或有较强振动、电 扰的其他设备； 2应检查各丝杠导轨是否有润滑油，若没有则应及时礼 3设备的射线防护设施应安装准确并设置防辐射警示

1设备二次配管配线作业应在设备安装完成、找平、调平 合格后进行，并应复核设备的接口位置、种类、数量、尺寸、

验收合格后进行，并应复核设备的接口位置、种类、数量

5.6.2二次配管配线的材料选择应符合下列规定

1二次配管配线的材料应满足设备技术说明的要求，无明确 要求时应与主系统一致； 2氧气管道、管件、垫片及其他附件都应脱脂： 3洁净室内的电气配管宜采用外表面光滑的金属管，与设备 连接采用的穿线软管应为不燃材料； 4特种气体、大宗气体、纯水和化学品系统的二次配管配线 垃符合现行国家标准《特种气体系统工程技术规范》GB50646 《大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》GB50724、《电子工业 纯水系统设计规范》GB50685和《电子工厂化学品系统工程技术 规范》GB50781的有关规定。

纯水系统设计规范》GB50685和《电子工厂化学品系统工程技术 规范》GB50781的有关规定。 5.6.3二次配管时应根据现场实际情况对图纸进行空间整合设 计，不应在操作面布置管线，还应符合下列规定： 1当管线穿越吊顶、壁板、地板需要开孔时，开洞位置应避开 梁、柱、主龙骨、封口。开洞应用开孔器，不得凿或火焰切割。 2开洞过程中应用中央真空清扫系统或洁净室专用吸尘器 不间断地吸除切屑及粉尘，并应符合现行国家标准《微电子生产设 备安装工程施工及验收规范》GB50467的有关规定。 3管线安装完成后，可采用不锈钢、铝、硬PVC或镀锌密封 牛封堵洞口空隙，并应用硅胶密封。 5.6.4从配管连接到新安装设备时，应从一次配管上预留阀门后 接至设备相应接口，不得在一次配管上新开三通接管。 5.6.5高纯介质二次配管应先在专设的防尘、防静电的洁净小室 为预制成组件，再搬入洁净厂房安装，洁净小室的洁净度不应劣于 6级。 5.6.6输送大宗气体、非腐蚀性溶剂的不锈钢管，当采用焊接连

5.6.3二次配管时应根据现场实际情况对图纸进行空间整合设

5.6.6输送大宗气体、非腐蚀性溶剂的不锈钢管，当采月

5.6.8在有生产工艺设备生产的区域进行安装施工时，一次配管 配线应符合下列规定： 1施工中进行焊接等产烟火作业时，应采取相应的防护措 施，配备相应的消防工具； 2生产区和安装区之间应采取临时隔离措施； 3垂直作业时应采取安全隔离措施，并应设置危险警示 标识。 5.6.9二次配管安装完成后，管道可与一次管道系统一并进行压 力试验，并应符合下列规定： 1试验介质应采用高纯氮气或高纯氩气，其纯度不得低于管 道工作介质纯度； 2不宜采用水压试验； 3试验用压力表宜采用专用管道压力测试记录仪，当采用普 通压力表时，其精度不应低于1.5级； 4管道设计压力小于0.6MPa时，试验压力应为设计压力的 1.15倍； 5管道设计压力大于或等于0.6MPa时，应按设计文件规定 试压，并应采取安全措施。 5.6.10二次配管压力试验完成后应脱开设备用情性气体进行冲 （吹）洗。冲（吹）洗气体的纯度不应低于管网输送介质的纯度。 5.6.11二次配管施工完成后应进行质量检验，并应按本标准附 录B表B.0.2记录。二次配管压力试验和冲洗时，应按本标准附 录B表B.0.3记录。

5.7.1生产设备安装工程质量主控项且应符合下列规

5.7.1生产设备安装工程质量主控项目应符合下列规定：

1生产设备安装工程质量主控项目应符合下列规定： 1设备安装的平面坐标位置应符合设计要求； 2垫板安装位置应准确、接触应紧密、无松动现象；

3防位移、防倾倒的压板设置方向应正确、紧固牢靠； 4特殊基础上平面水平度、安装水平度应符合要求，调整水 平度的螺脚均应与垫板紧密接触； 5设备安装的水平度、垂直度应符合设备安装使用说明书的 要求； 6二次配管的管材、管件、阀门应符合设计要求，并应有产品 合格证和产品质量证明书； 7管线布置和走向应符合设计要求； 8管道的对接焊缝处及曲管处不得焊接支管，焊缝距起弯 点、支吊架边缘应大于50mm； 9二次配管压力试验应符合本标准第5.6.10条的相应 要求； 10二次配管冲（吹）洗按本标准第5.6.11条的规定进行，用 洁净白绸布检查，无污染物应为合格： 11二次配线的电线、电缆规格、型号应符合图纸要求，绝缘 相序应符合设备技术文件，并应符合现行国家标准《建筑电气工程 施工质量验收规范》GB50303的有关规定； 12接地连接应正确可靠，并应符合现行国家标准《电气装置 安装工程接地装置施工及验收规范》GB50169的有关规定。 5.7.2生产设备安装工程质量一般项目应符合下列规定： 1 设备安装用的垫板表面应无尘无油，每组不应超过三块。 2 设备跨壁板安装的密封应严密。 3有坡度要求的管道，其坡度应符合设计规定。 4管材、附件和阀门用螺纹连接时，其螺纹应清洁规整、无断 丝乱丝；镀锌件的镀锌层应无锈斑；螺纹接口填料应无外露。 5法兰连接应符合下列规定： 1）对接应同心、平行、紧密并应与管中心线垂直； 2）衬垫的材质应符合设计要求，且不应超过一层； 3）螺栓露出螺母的长度宜一致，以露出三个螺距为宜。

D 不锈钢管与碳钢支吊架、管卡之间的隔离应无遗漏。 阀门安装应符合下列规定： 1）型号、规格应符合设计要求； 2）进出口方向应正确； 3）手轮朝向应合理。

不锈钢管与碳钢支吊架、管卡之间的隔离应无遗漏。 阀门安装应符合下列规定： 1)型号、规格应符合设计要求； 2）进出口方向应正确； 3）手轮朝向应合理

6.0.1设备单机调试及试运转应在设备安装和二次配管完成，并 应经检验合格后进行。设备单机调试及试运转应由建设单位组织 实施，设备单机调试及试运转结论应有记录并应符合本标准附录 B表 B. 0. 7、表 B. 0. 8 的要求。

6.0.2设备试运转应具备下列

1设备应安装完毕并自检合格； 2设备所需各种气体动力配管配线应已与设备接通，各种介 质的各项参数符合设备使用要求； 3给水、排水，排气、排风管路应已与设备接通； 4电气线路相位应正确，接线端子连接应牢固、可靠，器件接 线应正确，无短路、断路现象； 5接地应正确，连接牢固、可靠，接地电阻应符合设备要求； 6房间洁净度，温、湿度，照度，静电防护指标应测试合格； 7室内各项安全设施和消防设施应满足使用要求。 6.0.3 镀膜机试运行应符合下列规定： 1待溅射基板应清洗，并应在烘干后安装到机内的载片 台上； 2 设备通电后应检查设备操作软件是否工作正常； 3应检查各个运动部件是否正常，并应对各个运动部件进行 位置校正； 4应安装好溅射靶材，靶对机壳的绝缘电阻不得小于1M2； 5应检测设备管路接口是否漏气，具备加热功能的管路应先 空载烘烤； 6启动机械泵、分子泵、低温泵时，运行状态应正常，噪声、振

1应检查紧急按钮是否有效； 2启动真空泵时真空室真空度可在规定时间内降到规定值 极限真空度不应大于5Pa； 3设备工艺反应腔漏气率不应大于1.5Pa/min； 4应根据设备要求设置高纯氮气或氮气等保护气体流量，并 应向炉内通人保护气体进行吹扫； 5应在抽气正常的情况下通入工艺气体，运行淀积程序进行 定积时，应定期检查工艺气体和保护气体流量。

4应将基片放到刻蚀腔室承片台上，应关闭腔室并设置好工 艺气体流量、射频电源电压、刻蚀时间，进行刻蚀工艺。 5设备应具备光学发射光谱法终点检测系统。 6.0.6 匀胶设备的试运行应符合下列规定： 1 应准备好光刻胶、基片等材料及相应的工具： 2 运行设备，设备自动开合旋涂盖功能、涂胶单元真空吸附 功能应正常； 3涂胶功能、顶针上下运动功能、加热部件真空吸附功能应 正常，涂胶台应润滑良好； 4应设置好胶阀压力、滴胶时间、旋涂转速、旋涂时间和热板 温度； 5应分别设定烘烤温度为60℃、120℃和180℃，待温度稳定 后，应在加热器表面Φ200mm范围内选择中心点及外圆周上与X 轴、Y轴相交的四点等五处进行温度测量，然后计算平均值，所测 各点的温度值与平均值相比较时，允许偏差为土1.5%； 6应分别用手动模式和自动模式进行旋涂操作，其他参数应 保持一致。 6.0.7曝光机的试运行应符合下列规定： 1曝光系统应具有光强调节装置，光源调节应灵活可靠，曝 光均匀性应随分辨率要求而定； 2打开曝光机汞灯预热30min后，应用紫外线测量仪测量 承片台上、下、左、右、中五处的光刻强度，均匀度允许偏差为士5%， 并应根据测量强度设置好光刻能量； 3准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻，光刻后应及 时显影；

6.0.7曝光机的试运行应行

6.0.7曝光机的试运行应符合下列规定：

1曝光系统应具有光强调节装置，光源调节应灵活可靠，曦 光均匀性应随分辨率要求而定； 2打开曝光机汞灯预热30min后，应用紫外线测量仪测量 承片台上、下、左、右、中五处的光刻强度，均匀度允许偏差为士5% 并应根据测量强度设置好光刻能量； 3准备工作做好后应进行接触式或投影式光刻，光刻后应及 时显影；

4激光光路及曝光光源必须安装保护装置。

6.0.8显影设备的试运行应符合下列规定：

1应先连接好显影液供应管道、去离子水管道； 2开机后应设置好工艺液体的温度和喷头喷溅压力；

3应设定好真空吸盘旋转速度、显影时间、漂洗时间、冲洗时 间以及主轴转速，并应进入工艺设置选项设置好试运行工艺步骤： 4应按设定的参数和工艺步骤进行自动显影、清洗操作； 5进行显影、漂洗和烘干工序操作时基片均应有氮气保护， 工艺结束后应自动进行氮气吹十和高速甩干； 6设备运行时应无震动和噪声。 5.0.93 抛光机的试运行应符合下列规定： 1应准备好抛光液、待抛光专用测试样片，并将循环水及抛 光液溃入系统； 废液处理系统应工作正常； 3 应调节抛光头及抛光台的转速： 4压力以0.005MPa为一档时，应依次将抛光头压力从 .005MPa调到0.05MPa，应观测压力传感器测量值，测试结果应 满足设备技术要求； 5 应清洗待抛光基片，并应固定到抛光台上； 6 应设置抛光压力、抛光转速、抛光液滴注流量，运行抛光 程序； 7 应进行磨抛后的样片测试并应满足指标要求。 6.0.10 芯片粘片机的试运行应符合下列规定： 1 吸片、滴注工作模式的切换应确保转换灵活； 2 应装配吸嘴、滴注针头； 3 应调节气压及真空，连接与吸嘴、滴注的浆料罐相连的气 路后试触发，检查气路应符合要求； 4应操纵设备在样品上进行粘接试验； 5操纵部件应灵活，可稳定吸取相应的器件，滴注的粘片胶 应大小一致并调节有效。 6.0.11共晶焊机的试运行应符合下列规定： 1切换焊料吸取、元件拾取模式，应确保转换灵活；

相连的气路并试触发； 3应调节加热系统的温度，以常用的种焊料分别设置共晶 温度，到达设置温度后应用计量合格的温度计测量加热台的实际 温度； 4应设置焊接压力、共晶温度、摩擦频次、摩擦幅度； 5待加热台温度稳定后应打开氮气阀门，调节流量，操纵设 备在样品上进行芯片焊接试验，焊接时吸嘴应避免接触加热件表 面，应能顺畅地完成整个焊接过程。

1触发打火杆、线夹等部件并移动键合机手柄时应确保运转 灵活； 2应根据设备的要求调节气体压力并试触发线夹，压缩空气 应符合要求； 3应调节加热系统的温度并设置到常用键合温度，到达设置 温度后测量实际温度应达到工作要求； 4应设置键合超声的功率与时间、键合压力； 5操纵设备在样件上进行键合试验，操纵部件应灵活，在设 定参数的状态下可有效键合； 6全自动键合设备应具有断线检测报警、无焊线报警、错误 位置报警和打火失败报警功能； 7全自动键合设备在防误动作保护下，计算机屏幕上的参数 应禁止修改，开关或阀门等不能操作。 6.0.13倒装焊机的试运行应符合下列规定： 1应确认设备后面板上的压缩空气、负压、氮气、水冷管路安 装连接无误后开启所需气路阀门及调节阀； 2应打开设备的总电源开关、打开工控机的电源，关上主操 作面板的开机”开关； 3在系统操作界面运行设备操作软件前应进行初始化直至

13倒装焊机的试运行应符合下列规定：

1应确认设备后面板上的压缩空气、负压、氮气、水冷管路安 装连接无误后开启所需气路阀门及调节阀； 2应打开设备的总电源开关、打开工控机的电源，关上主操 作面板的“开机”开关； 3在系统操作界面运行设备操作软件前应进行初始化直至 系统提示“待机”状态；

4应在主控界面分别运行并检测机械系统、光路系统、气路 系统、显示系统和加热系统； 5应设置超声时间、超声功率、焊接压力、加热温度，完成对 样品电路的加工； 6设备应具备热台温度超温报警。 6.0.14丝网印刷机的试运行应符合下列规定： 1设备自检通过后应将网版装入网版槽内，按下锁紧装置 查看网版是否被锁紧； 2应加入焊料并完成印刷的主要工艺参数设置和焊料的 印刷； 3在保证印刷工艺参数设置合理时，应用自动光学检测仪检 查网印质量，印刷图形应完整、边缘应齐整。 5.0.15探针测试设备的试运行应符合下列规定： 1应安装测试专用夹具，并应将待测晶圆通过调节手柄安装 到夹具上； 2启动设备总电源，应正常进入初始化界面； 3 开机后设备应无震动或杂音： 4对配有标准测试板的设备应调入测试文件和校准板进行 坐标系统校准、测试针和摄像头校准； 5应进入测试参数设定界面进行测试参数设定；

1应安装测试专用夹具，开应将待测晶圆通过调节手柄安装 到夹具上； 2启动设备总电源，应正常进入初始化界面； 3 开机后设备应无震动或杂音： 4对配有标准测试板的设备应调入测试文件和校准板进行 坐标系统校准、测试针和摄像头校准； 应进入测试参数设定界面进行测试参数设定； 6 测试时设备应自动生成并打印出测试结果： 7 应在设定的测试参数基础上对晶圆进行通断验证，并应符 合打印的测试结果。 6.0.16 激光测厚仪的调试及试运行应符合下列规定： 1 应仔细观察测量传动轴，运动时应顺畅无异响； 2应根据设备技术要求由专业人员使用计量合格的校准件 进行校准； 3激光对焦干分尺旋钮使用中应顺畅，并应能自锁； 4测量范围应满足技术指标要求。

5.0.16激光测厚仪的调试及试运行应符合下列规定：

应仔细观察测量传动轴，运动时应顺畅无异响； 2应根据设备技术要求由专业人员使用计量合格的校准件 进行校准； 3激光对焦干分尺旋钮使用中应顺畅，并应能自锁； 4测量范围应满足技术指标要求

1将待测样件放到设备载片台上、夹持好或吸附住后，应关 闭并锁定设备安全门； 2开启总电源，控制工作台运动，各个运动部位应在运行平 急的状态下使红色指示光标指到待检样件中心位置； 3X光开关开启前必须确保设备安全门处于关闭状态； 4启动X光开关按钮进行设备辐射强度检测，合格后调节 测试参数，设备应能达到显示清晰图像的效果

.0.18MOCVD设备的调试及试运行应符合下列规定：

1应在确认供电相序正确后再给设备逐级送电开确认设备 初始化成功，设备初始化成功后应逐个检查确认紧急断电按钮功 能正常并做好检查记录。 2应检查确认每个MOCVD反应腔的真空压力检测和控制 功能，所有真空部件与气体管道的漏率应符合工艺性能指标要求 3在通入每一路工艺气体之前，应先用纯化氮气代替对设备 每一路气体的气动阀与联动阀的控制逐一确认，并应确认该路气 体管道上的气体质量流量计及压力传感器的设定值与反馈值均可 经由系统控制软件正确发送和读取。 4所有互锁装置功能应有效、逻辑正确，特别是与安全相关 的实时监测传感器应直接触发相关报警并立即关断气源的源端气 动阀。必要时还可切断反应腔与真空泵机组间的连接以进一步保 护反应腔，防止可能发生的气体倒灌造成粉尘沾污。 5所有冷却水流量监测传感器功能应有效，触发时应及时关 断反应器内加热器电源组的供电以起到超温保护作用。 6应测试并确认石墨载盘在做加速、高速及减速转动时的稳 定性及摆动状态，并应确认石墨盘通过自动或手动机械手搬运时 的稳定性和位置的重复性和可靠性。 7应测试反应腔内加热器的有载状态下的温度控制以及重 复性，并应确认温控用温度传感器的信号通道的正确连接以及温

度的精确度。 8应测试设备提供的可供模拟生产工艺用的测试工艺配方 以确认设备经调试已经准备好交给业主做工艺验收

精确度。 应测试设备提供的可供模拟生产工艺用的测试工艺配方 认设备经调试已经准备好交给业主做工艺验收。

7.1.1生产设备安装工程验收宜分为交接验收与竣工验收

7.2.1交接验收应由建设单位组织，并应根据施工合同、本标准

7.2.2 交接验收时施工单位应提交下列资料： 1 生产工艺设备安装工程施工合同： 2 主要材料合格证或质量保证书； 3 设备开箱检查记录； 4 管道焊接检验记录； 5 设备按功能检验批质量验收记录： 6 设备配管配线的检验批质量验收记录； 7 设备二次配管压力试验、冲（吹）洗记录； 8 竣工图及设计变更文件； 9 工程质量事故处理记录。

7.2.3验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收结论。验收

7.2.3验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收结论。验收

7.3.1建设单位接到生产设备调试单位按本标准附录B表 B.0.4填写的《生产设备安装工程交接（竣工）验收报告》后，应组 织安装施工单位、供货单位、设计单位组成验收组，并应根据施工 合同、设计文件、本标准及设备技术文件进行生产设备安装工程竣 工验收，

.3.2设备安装工程竣工验收时绿化标准规范范本，调试单位应提供每台设备 几试运行记录。

7.3.3验收组应对生产设备安装工程的所有工程内容

审核、检查，检查时应做好记录，各项指标符合设计要求应判为合 格。审查内容应包括设备安装、配管配线和设备技术指标。

应填写本标准附录B表B.0.6，参加验收各单位代表应

7.4.1当生产设备安装工程、设备二次配管配线安装工程不符合 质量要求时，应按下列规定处理： 1经返工返修后的设备，安装检验批、二次配管配线检验批 应重新进行验收； 2经返工返修后的检验批能满足安全和使用性能要求时给排水工艺、技术，可 按技术处理方案和协商文件进行让步接收。 7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程

7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程

7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程 不得验收。