1 密封后，设备与密封组件之间应案性接触。 2 密封组件与壁板的连接应紧密、空围。 3 密封面应平整、美观。 4 微孔池沫密封带的厚度不应小于5mm，且应累贴设备，不 应有缺摄和漏风现象。

35.3魔板并润前的谁备，持合下列规定

1应测量设备周边尺寸及装修口的铝型材断面相关尺寸 并应增加防止铝型材直接按触设备而需放大的量，同时应计算出 照板开源尺寸， 2应选择合适的铝型材，必要时应作所面组装试验。 3应在需开洞的壁板上划切割线，经复核无误后应在紧靠 制线的外侧粘贴适当宽度的彩色胶带， 3.5.4需切割的壁板应取下：并应搬至临时加工场所进行切割

萍应用操布擦去灰尘。对板芯易散发尘埃的壁板应先用洁净铝箱 单面胶带密封切口核电厂标准规范范本，并应在达到清措要求后墩入洁净室（区）。 3.5.5设备应按本规范第3.9节的要求安装，并应将切割加工好 的壁板组装复位。 3.5.6施工人员应用事先选定的密封材料违行客封、固定，密封 作业质量应符合本规范第3.5.2条的要求

3.6.1设备搬运前，建设方、发包方和承包方的责任人员应共同 对设备进行检查和确认，对设有监视倾斜装置的箱体还应检查装 置是否出现异常，检查后应做好设备开箱检查记录。 3.6.2设备自！区中转库或临时存放点至设备搬入平台的室外 搬运，应符合下列规定： 1室外搬运道路应平坦、畅通， 2吊车支脚不得文在道路外的虑土上，支脚下应无暗沟、埋 地管线。 3凋绑吊索应按箱上标示的位置进行。 4使用机械从集装箱深处取出较重设备时，宜采用低速卷场 机将设备拖至箱口，再用义车取出。 5用叉车搬运设备时，全过程应平稳，不得产生冲击现象，设 备距路面高度应确保不触及路面障得。 6用汽车运输时，起步.停车时不得出现冲击现象，不得采用 急刹车，车速应均句，行进应平慈， 7用手动液压撤运车搬运设备时，起步、停车应缓漫，行车速 度应均匀，不得产生太大的振动，两侧应有搬运人员全程扶持和监 视设备位移。 8·超精密设备应采用恒温恒运输车运输，装卸应迅速，在 厂房设备搬人口取出后应迅速般人洁净室（区），并应符合本规范 第3.7和3.8节的有关规定

9遇雨、需及风五级以上天气时不得进行室外振运作业。 10当撑运设备过程中遇雨、需时应中止搬运，并应用防雨布 保护设备。 11设备搬运除应执行本规范的规定外，尚应符合国家现行 标准《工程建设安装工程起宣施工规范》HG20201的有关规定。

3.7.1设备开箱应有建设方、设备制造厂家、发包方和承包方的 责仁人员共同参加，进口设备还应有海关商检代表参加。 3.7.2设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行，且应完整 保留内包装。

3.7.3设备开箱应使用专用开箱器械按开箱程序进行，不得用大 锤敲击箱体，在不了辉箱体内部情况时不得将据杠等器械插人箱 内，拆下的包装材料应及时收集运离现场。 3.7.4拆除设备外包装箱后，应及时检查内包装是否完好，对有 监视振动装置的精密设备应及时检查其装置，并应按表D.C.1记 录，如发现异常情况还应立即进行像记录。

3，7.5起币有内包装的设备时，应符合下列规定：

1用干起吊的吊索应根据设备重量按本规范第3.2.6条规 定选用。 2吊索捆绑位置应避开仪表及结构脆彧部位。 3设备起吊不宜过高，以能顺利拆除外包装底盘为宜。 4，起吊时应防止设备恢斜、跌落，升降速度应均匀，不得产生 冲击碰撞现象 5液压搬运车运载设备的，放置应平稳，不得偏问一侧。 6起吊设备除应执行本规范的规定外，尚应符合国家现行标 准《工程建设安装工程起量施工规范》IIG20201的有关规定。 3.7.6设备内包装宜在气闸室拆除。拆除前应先用中央真空清

除内包装后，应立即由参加开箱的各方代表共同进行设备的检查 和清点，并应按表D.0，：记录。经检查无异常的没备应迅速搬人浸 净室（区）就位。当发现异常时应及时做影像记录并提出处理意见。 3.7.7在拆除肉包装后的作业过程中不得损坏设备的表面及密封面。

3.8.1设备从搬人平台经气间率至洁净室（区）安装就位的搬运 应符合下列规定： 1洁净广房设备搬般人口的尺寸应满足最大件设备搬入要求， 人口位置宜靠近最大、最重设备安装处，选用人口数量宜少。 2沿搬运路线的壁、墙角、汀准立临过数设3mm厚的硬 PVC板保沪，当采用5mm厚的胶合板时应奖取随止尘埃产生和 扩散的措。 3在活动地板上用手动液压搬运车搬运设备时，宜在搬运路 线的地板上销2mm厚的PVC遂明软板；也可先铺塑料薄膜后， 再铺设3mm厚不锈钢板或4~5mm厚合金锌板。 4当搬运设备重量超过活动地板的承载能大时，应根据现场 实际情况制订加固方案，并应经建设单位确认后如固。加间方案 立满足“列要求： 1)加固材料应为不产尘材料； 2)严禁破坏和改变原结构： 3)不得在洁净室（区）采取焊接的方式进行加固； 4)加固过程中不可整免产生微量尘埃时，应在作业前作好 国护，在作业时应用中央真空涛扫系统或无叁室专用吸 尘器清際尘埃； 5)当加周结构碍空气垂直层流流型时，应在设各搬运别 成后拆除。 5设备撤人期间所有房门应为关闭状态，在设备搬人过程 中：需通过某一门时，可开启该门，设备通过后应立即关闭。当无

3.9.1在自流坪地面安装设备时，对地面的保护措施应按本规范

3.9.1在自流坪地面安装设备时，对地面的保护措施应按本规

第3.8.1条警3款的规定热行

3.9.2在活动地夜上装设备应编制吊装技术方案

3.9.3没备在基础或地板上的同定方法应符合备技术文件的 规定，若无明确规定时宜按下列方式实施： 1有调整支脚，且不需设置防位移、防倾倒固定装置的设备： 可只在支脚下设置不锈钢垫板： 2无调整支脚，且不需设置防位移、防倾倒固定装置的设备； 应设置匹组以卜平势板。每组宣用1决，最多不得超过3块。每 组多块垫板时，厚板应在下面，薄板应在上面，最薄的应在中间。 3有脚轮和可调支承脚的设备，就位后应在支承脚下准确放 置垫板，并应调整支承脚找平设备。 4.需设置固定装暨的设备，其设置点和安装方向应符合设备 技术文件的规定。当未给出固定装置的形式时，宜用Z形或L形 不锈银开山压板压住设备支。 5设有荷重分散板的设备，就位前应先核对固定设备的孔和 管线连接用孔的位置及孔径：并应在荷重分散板上开孔：然后在规 定位置安装荷重分散板，该备就位后应及时用螺栓固定。 6在独立基础上或自流坪地面上安装需固定的设备时，宜采 用胀螺栓固定。 ·7在基础或范板上开孔时，应用中央真空清扫系统或无尘室 专用吸生器吸除所产生的尘埃，并应吸尽孔内的尘漠， 8安装在防酸磁基确或防酸碱环氧地面上的没备，应采用不 锈钢化学错固螺栓固定。 3.9.4需吊装就位的设备，宜采用龙门架、手动萄芦等起重装置。 龙门架支脚应设置荷重分散板，并应核对活动地板的承或能力，活 动地板的承载能力不能满足要求时应进行加固，加固应按本规范 第3.8.1条第4款的规定执行。 3.9.5设备定位的基准面、基准线或基准点，对安装基准线的平 面位置分许偏差应符合下别规定

与其他设备无机概联系的设备应为主0mm， 2与具他设备有机被联系的设备应为土Imm， 3成排同型号同规格的设备，其操作面应在同一直线上，安 装偏差不应大于3mm。 3.9.6设备找正调平的测量基准面、基准线或基准点，在设备技 术文件无规定时，宜在下列部位选择： 1设备的主要工作面。 2 支承滑动部件的导向面。 3 精度较高的表面。 4设各水平或铅垂的主要轮廓面，

3.9.7设备找正调平的基准面、基准线或准点确定后，设备找 正、调平应在选定的测量位置上进行测量，复查、检验时不得改变 原测量的基准位置

3.9.8设备找正调平的水平度或铅垂度应符合设备技术文件的

3.10二次配管配线

3.10.1二次配管配线应包括下列内容：

1 从各和给水、排水系统的一次管道至设备接二之间的配管。 2从各种大宗气体系统的一次管道至设备接口之间的配管， 3从各和排风.排气系统的一次管道至设备接二之间的配管， 4从生产动力终端配电盘至设备电源接口之间的配管配线。 3.10.2三次配管不应包括持种气体系统、化学品供给与回收系 统的一次管道至设备接口之问的配管，

3.10.3设备二次配管配线作业应在设备投正调平并验收合格后

3.10.4二次配管配线除应执行本规范的规定外：属于压力管道 的施工还应符合现行《特种设备安全监察条例》的有关规定，

3.10.5二次配管的主材应符合设计要求。当设计有规定时应按 设计采用垫料、填料等辑材；当设计无规定时应采用符合工艺要 求、密封性能好、不产尘的垫料、填料等辅材、 3.10.6用于二次配管的管材、管件、阀门应有产品合格证及材质 证明书，自出厂至安装地点的储运应采用符合气体纯度要求的双 层密封包装。 3.10.7配管预制作业应在专用的洁净小室内进行，加工件应经 洁净处理后搬人清净空（区）进行安装，洁净小室的清净度等级不 应低于5级。 3.10.8二次配管配线应按施工图施工，管线排列应整齐、美观， 定向应合理，维修应方便，不得在设备操作面布设管线。 3.10.9当管线穿越吊顶、壁板、地板需开洞时，开润位置应避开 梁、柱、土龙骨、风口。活动地板的管线洞口边线与单块活动地板 边沿的距离应大于40mm。并应用开孔器，严禁菌或火焰划割。 开洞过程中应用中央真空清扫系统或洁室专用吸尘器不间断地 吸除切屑及粉尘。 3.10.10管线安装旁成后，可采用不锈钢、铝、硬PVC或镀锌密 封件封堵洞口空隙，并应用硅胶密封。 3.10.11碳钢支架、吊架应采用镀锌材料：切割端面应作防锈处 理，安装应牢同可靠，管卡应与普子直径相匹配；不锈钢管与碳钢 支架、管卡之间应分别设置隔离垫和隔离套管，隔离坚直用软质聚 四氟之烯板，套管宜用桑乙烯软管。 3,10.12从二技术卖层引下的管线，应数设在生产设备降近的管 道竖并内。无竖并时应增设竖井，并壁宣用C形钢微框架，框架 应外贴装饰不锈钢板，面板上可安装电气插座、开关箱及气体快速 接头。 3.10.13输送大宗气伏，非离蚀性溶剂的不锈钢管，当采用焊接 连接时，应采用钨极氩弧自动焊，钨极氩弧自动焊使用的保护气体 纳度席效合本规活管324条管6款的期会

3.10.11碳钢支架、吊架应采用镀锌材料：切割端面应作防锈处 理，安装应牢可靠，管卡应与普子直径相匹配；不锈钢管与碳钢 支架、管卡之间应分别设置隔离垫和隔离套管，隔高坚宜用软质聚 四氟之烯板，套管宜用桑乙烯软管、 3,10.12从二技术卖层引下的管线，应数设在生产设备降近的管 道竖并内。无竖并时应增设竖井，并壁宣用C形钢微框架，框架 应外贴装饰不锈钢板，面板上可安装电气插座、开关箱及气体快速 接头。 3.10.13输送大宗气伏，非离蚀性溶剂的不锈钢管，当采用焊接 连接时，应采用钨极氩弧自动焊，钨极氩氢弧自动焊使用的保护气体 纯度应符合本规范第3.2.4条第6款的规

5.10.14进行二次配管配线时，不得在洁净室（区）内进行锯、锂、 站、凿等产尘作业。 3.10.15生产设备、电气配管、氢气配管、氧气配管的接地必领与 专用接地线可靠连接 3.10.16当微电子生产设备的生产和安装同时进行时，二次配管 配线应符合下列规定： 1施工中进行焊接等产烟明火作业时，必须取得建设单位签 发的动火许可证及动用消防设施许可证。 2生产区与安装区之间应采取临时隔离措施。 3垂直作业时，应采取安全编离措施，并应设互危险警示标志。 4清净度等级高于等于5级的清净率(区)的人员密度不应 大于0.1人/m，洁净度等级低于5级的洁净室（区）的人员密度 不应大于0.25人/m。 3.10.17管子从在用配管连接到新安装没备时，必须从一次配 上预留阀门后接至设备相应接口，严禁在一次配管上新开三通接管。 3.10.18管子从停用配管连接到新安装设备时，应排尽阀后所 有管内介质，其中可燃、易爆和助然介质应排至奎外安全场所。

3.11二次配管压力试验

3.11.5进行压方试验时应缓慢升压，达到0.2MPa时应暂停升 玉并应进行检查，无异带后可继续缓慢升压到试验压力，稳压 0min后应将压力降到设计压力。应用中性发泡剂险查，无损坏、 无泄漏应判为合格。 3.11.6气密性试验可在压力试验后连违行，试验压力应为设 计压力，试验时间应持续24h。应用中性发泡剂检查，并应重点检 查闵门填料函、法兰及螺纹连接处，无压降、无泄漏应判为合格。 8，11，7泄漫性试验日结合吹洗于进行，试验玉力放为投升压 力，并应重点检查阀门填料函、法兰及螺纹连接处，无泄漏应判为 合格。 3.11.8当设计文件规定以卤素、氮气或其他方法进行泄漏性试 验时，虚符合现行国家标准《氮泄漏检验》G3/T15523及相关的 技术规定。

3.11.9三次配管压力试验完成后应脱开设备用情性气体进行冲 （吹）洗。冲（吹）洗气体的纯度不应低于管网输送介质的纯度。除 输送介质为可燃、易爆和助燃的网外，可用管网输送的介责进行 冲（吹）洗。

3，11.10输送介质为可燃、录爆和联燃的管道应采用情性气体进 行冲[吹)洗，冲（吹洗气体的纯度不应低于管网输送介质的纯 度。 3.11.11三次配管施工完成后，应进行质量检验，并应按表 D.0.3证录；次配管压力试验和冲流时，应按表D.0.4记录。 ·1

3，11.10输送介质为可燃、录爆和联燃的管道应采用情性气体进

4.0.1设备单机调试及试运转应在设备安装和二次配管配线完 成，关应经检验合格后进行。设备单机调试及试运转应由建设单 位组织实施。当设备安装与单机调试非同一安装单位时，单机调 试应由生产一或供货方进行；当设备安装与单机调试为同一安装 单位时，单机调试应由施工单位进行

2设备试运转应具备下列条价

1设备安装完毕，验收合格。 2设备所需各种气体动力配管配线已与设备接通，各种介质 的各项参数（包括纯度）符合设备使用要求。 3给水、排水、排气、排风已与设备接通。 4 电气线路相位正确，接线靖子连按牢固、可靠，绝缘电阻测 试合格， 5按地正确，连接牢固、可靠。 6房间洁净度、温湿度，照度指标测试合格。 7 室内各项安全设施和消防设施满足便用要求，且运行正 常。

5.1，1微电予生产设备安装工程验收可分为交接验收与峻工验 收。 5.1.2微电子生产设备二次配管配线工程完成后，应对名系统进 行检验，含格后应进行交接验收。 5.1.3微电子生产设备交接验收后应进行单机试运转。经调试 试运转，达到设备技术指标后应进行峻工验收。 5.1.4微电子生产设备安装工程质量验收应按现行国家标准建 筑工程施工质量验收统一标准GB50300的有关规定执行。设备 交接验收应按每台设备的安装工及每台设各的配管配线工程各 划为一个检验批，并按设备安装工程及设备配管配线工程各划为 “个分项工程进行设备交接验收

5.2.1建没单片接到安装单位按表D.0.5填写的&微电子生产 设备安装工程交接（峻工)验收报告》后，应组织施工单立、设计单 位组成验收组，并应根据施工会同、本规范及设各技术文件的规定 进行交接验收，

5.2.2交接验收应在下列阶股进行：

1设备找正，调平后，进行设备安装交接验收。 2设备配管配线完成后，进行配管配线交接验收。 5.2.3交接验收时安装单位应提交下列资料： 1微电子生产设备安装工程施工合同。 2主要材料合格证或质量保证书。

3 设备开箱检查记录。 4 设备安装检验批质量记录及分项工程质量验收记录， 5 设备配管配线检验批质量记录及分项工程质量验收记录。 6 管道接检验记录， 7 设备二次配管压力试验、汁（吹）洗记录。 峻丁图及设计变更文件。 9工程质量事故处理记泉。 10 设备随机技术文件， 5.2.4 微电子生产设备安装工程质量主控项目，应按下列要求和 方法检查： 1设备安装的平面坐标位置应符合设计要求。 检验方法：对照图纸用钢皮尺检查。 2垫板安装位督应准确、接触应紧密、无松动现象， 检验方法：日测和用小头轻击垫板检查。 3防位移、防倾倒的压板设置方向应正确、紧固率靠 检验方法：对照设备安装使用说明书目测和用小榔头轻击用 板检查。 4侍殊基础上平面不平度、安装水平度应符合要求，调整水 平度的螺脚均应与垫板紧密接触。 检验方法：用水平尺和寒尺测量基础上平面不平度；月水平仪 测量基础水平度，抽拉垫检查接触紧密度。 5设备安装的水平度、垂真度应符合没备安装使用说明书的 要求。 检查办法：用水平仪测量。 6二次配管的替材、阀门应符合设计要求，并应有产品合格 证和产品质量证明书。 检验方法：查看设计图纸，产品合格证和产品质量证明书。 7管线布置和走向应符合设计要求。 检验方法：对照图纸检查。

8管道的对接焊缝处及曲管处严禁焊接支管；焊继距起弯 点、支吊架边缘应大于50mm。 检验方法：自测或尺重。 9管道支吊架间距应符合设计要求。 检验方法：观案或尺量。 10二次配管压力试验应符合本规范第3.11.5~3.11.7条 的合格要求。 检测方法：查看试验记录。 11=次配管冲（次)洗应按本规范第3.11.9条的规定进行， 并应月净白绸布检查，无污染物应判为合格。 检测方法：查看记录。 12二次配线的电线电缆规格、型号应符合图纸要求；绝缘， 相序应符合设备技术文件或现行国家标准&建筑电气工程施工质 量验收规范》GB50303的有关规定。 检验方法：对照图纸检查，用相应电玉等级的兆欧表检查。 13接地连接应正确可靠，升应符合现行国家标准电气装置 安装工程接地装置施工及验收规范GB50169的有关规定。 检验方法：自测或测试电阻

5,2.5微电子生产设备安装工程质量一般项目，可按下列要求和

1设备安装用的垫板表面应无尘无油，每组不应超过3块。 检验方法：观案或用白绸布擦拭检查。 2设备跨壁板安装的密封应严密。 检验方法：目测，必要时进行夜间漏光检查。 3防微摄基础周同与洁动地板之间应柔性接触，嵌入的柔性 胶条应牢固。 检验方法：目测与手触检套。 4有坡度要求的管道，其坡度应符合设计规定。 检验方法：用水准仪测量，

5管材、附和闵门用螺纹连接时，其骤纹应清洁规整、无断 丝；镀件的镀锌层应无损伤、无锈斑，螺纹接口填料应无外 检验方法：目测。 6法兰连接应符合下列规定： 1)对接应同心、平行、紧密并与管中心乘直： 2)衬垫的材页应符合设计要，且不应超过1层：螺栓露出 螺母的长度应一致，宜为露出3个螺距， 检验方法：目测。 7不锈钢管与碳钢支吊架、管卡之间的隔离应无遗。 检验方法：目视。 8阅门安装应符合下列规定： 1）型号、规格应符合设计要求： 2）进出口方向应正确： 3）手轮朝向应合理。 检验方法：对照图纸检查型号、规格，日测检查安装的正确性。 .6验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收缩论。参办 单位代表应在表D.0.6上签字

5.3.1建设单位接到微电了生产设备调试单位按表D.0.5填写 的《微电子生产设备安装工程交接（峻工)验收报告》后，应组织施 工单位、共货单位、设计单位组成验收组，并应根据施工合同、设计 文件、本规范及设备技术文件违行微电子生产设备安装工程峻工 验收。

5.3.2设备安装工程峻工验收时，调试单位应提供每台设备的单

5.3.3验收组应对微电了生产设备安炭工程的所有工程内容进 行全面审核、检查，检查时应作好记录，各项指标符合设计要求应 ·21

判为合格。审查内容应包括设备安装、配管配线和设备技术指标。5.3.4验收组应对工程质量进行评价，并应提山验收结论，同时应填写表D.0.7，参加验收各单位代表应签字。附录A设备安装技术参数5.3.5微电子生产设备安装工程验收合格后，应峻工验收。5.4验收不合格处置4.0.1设备安装技术参数应符合表A.0.1的要求。5.4.1当微电子生产设备安装工程、设备二次配管配线安装工程表A,0.1设备安装按术参歇不符合质量要求或设备工艺技术指标不符合要求时，应按下列要设备名称型号求处理：用兹经返工后的设备，安装检验批、二次配管配线检验批应重包装箱尺寸手蛋(kg)新进行验收。毛重(kg)2经返修后的检验批仍能满足安全和使用性能要求时，可按技术处理方案和协商文件进行验收毛重(Ikg)5.4,2经返修后仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程不主体尺寸主要部件尺寸得进行验收。前(mm)定(nm)左()右(mm)纯修空间本平变微莱地基要求电源性质电压(V)相数率(

附录B微电子生产设备安装工艺流程

B.0.1微电子生产设备安装工艺流超应符合图B.0.1的求

图B.0.1微电子生产设备安装工艺造治

附录C人员进出洁净区流程

附录C人员进出洁净区流程

C.0.1人员进出洁净区应符合图C.0.1所示流程。

图C.0.1人员进出洁净区流程

附录D 工程质量验收记录用表

附录D 工程质量验收记录用表

D.0.1设备无箱检查记录的内容及格式应符合表D.0.1的规定。 表设盗开箱检查记录

D.0.2设备安装检验批质量验收记录内容及格武应筹合表D.0.3设各配管配线检验批质量验收记录内容及格式立符合表D.0.2的规定。D.0.3的规定。表 D,0. 2设备安装检验批质量验收记录表D.0.3设备配管配线检验批质量验收记录工程名称生产设工程名称设备配管图号平商布暨图号投誉名弥盈号设终位置缩号设各名际型号设备位置线号雄工单位项巨经理专业技术专业妆术施工单位项目经理负人负卖人执行标准及编号执行标准发确号质量验收规范的规定施工单位检查评定记录建设单位验收记录质量验收规范的规定施.L单位检查评定记录通设单位验收记录配管材料、材费11平面位置2管线布置、走向垫板安装管道焊接底脚固定主支契，焊缝位置主特辣基础上平面不平度热5支片望闻距控管道压力试验项特殊基础水平度目配管冲(吹)洗特效基瑞定性电线电缆规络、持殊基础与范动材质池板洞门接触电气线路绝线没垒水平度10设垂直度设备、管道接地管逆坡度等殊基础防榜q.螺纹连接特殊基础标高31法兰连接垫板洁净状况般般每垫块数项不锁钢管与碳钢项日隔离目设备跨壁安装密时阀门安装6其他雄工施工单位总位扮查检查结果结果评定巨专业质量检验员：年月评定项日专业质量检验员：年月日霆设建设单位单位验收验收结论项层专业技术负资人：年月日结论项日专业技术负夷人：年月口28..29

D.0.4设备二次配管压力试验、冲(吹)洗记录内容及格式应符D.0.5微电子生产设备安装工程交接(峻工)验收报告内容及格合表D.0.4的规定。式应符合表D.U.5的规定。表D.0.4设备二次配管压力试验、冲(次)洗记录表D.0.5微电子生产设备安凌工程交接【峻工】验收报告T租名设备配管图号二赛名陈合网编号设各名称型号设备伙暨端号建设单位开工日期文按日期施工单位项目经理专业技术（峻工日期)负责人施工单位项目技术项目专业质量执行标准及编号负资人检验员管道系统压力气密性泄性吹(冲)施工单位建设单疗号名称（介质）试验试验试验洗检查评定记录验收记录设鲁安装完成情况23415二次配管完威情况78910工程质量11改收资料状况1213145质量控制资料状况17181920施工单位意见施工单位项目经理：年月甘检查结县呼定项日专业质量检验员：年月日建设单位建设单位验收洁论审说客见项日专业疫术负资人：年月日项目负责人：年月日+ 30 *31

D.0.6设备安装（配管配线)分项工程质量验改记录内容及格式 应符合表D.0.5的规定，

取D0.6设备安级配管配载分项工程质量验改记量

D.0.7微电子生产设备安装工程数工验收记录内容及格式应符 合表1.0.7的规定

表D.0.7微电子生产设备安费工程峻工验收记录

附录F典型国产集成电路生产设备 单机试运转及验收范例

附录F典型国产集成电路生产设备

E.1.2验收项目应符合下列要求：

表E.1.2设备险收票求

序号 项目 数值 验牧方法 允许倒差 安际偏差 备注 承一台向行望 ±5* 角观测量 ±I* 承微镜扫精范同15mlmmz×150mm2 卡尺量 ±1mm 承片台Z行程 10mm 深度尺刻量 ±0, 5nm 整凯绝缘电阻 M 100状兆欧袭

式中B 线宽变化率（%）：

E.2分步投影曝光机

E，2.1试运转前应检查下列项自，并应在符合要求后进行单机 试运转： 1环境室温应为22土2℃，相对湿度应为40%～60%，净 化等级应为5级。 2三相交流电源电压应为350V土5%，频率应为50二1Hz。 3冷却水压力应为0.5~0.6MPa水温应为16~28，流 量应大于30L/rin。 4压缩空气或氮气压力应为0.5～0.6MPa，流量应为5L/ min，末端过滤精度不应大于0.1um：露点温度应为一10C以下， 5真空压力应为0.02~0.04MPa，流量应为240L/min。 6地面振动振幅不应大于8m振动分析仪的拾振装置应 放暨于工作台机座附近测试。 7整机应设置接地螺钉和明显的接地标志，且接地电阻不得 大于I2.动力电路和控制电路对机壳绝缘电阻不应小于2M。 8交流1500V酬压试验1min：初级电路与机壳间不应披击 穿且不产生放电，漏电电流不应大于1rnA。 9开机前应检查按钮均处在关闭状态。

E.2.2验收项日应符合下列要求，

1传动机构应灵活、稳，动作应准确、协调。 2下作台速度应用专用测试款件测量，邀度不得低于 50uum/s；用直尺测量工作台的行程不应大于160mm。 3镜头验收应选取一定尺寸的硅片多片，并应确定好工艺条 件，同时应进行曝光显影，应用扫描电镜、线宽测量仪检测投影镜 头的分葬率。镜头的分辨密应根据不同的腰光谱线确定，并应符 合下列规定： 1)g线曝光机：2~U.8μm; 2)i线腰光机..0.8~D.35um 3)DUV线爆光机：0.35~0.18μm 4曦光系统应符合下列规定： ：二）光源调节方便灵活、准确可靠： 2)赚光系统骤光均匀性根据分辨率要求确定，不得大于 2.5%，应用专用测试软件和光强检测仪进行检测。 5，调焦、调平系统应符合卜列规定： . 1)调焦系统采用专用测试软件、电感测微仪（0.m）检测。 输人调焦（随机），启动自动调焦系统，回复并重复5次，回复的 最大误差不应超过规定的调焦精度：调焦精度为C.5～0.1um。 噪光机应对硅片进行整片或逐场调焦。 2)月本款第1项的方检测调平精度。当线宽设计天大于 1um时，应采用精度为0.5~0.1um的调平系统；当线宽设计不大 于0.5uⅢl时，应采用逐场调平系统。 ：6掩膜光栏系统应用目测、手动检查。掩膜光栏的四块板 可在任意位置对任意尺寸进行调节。 ：，7减振装置的自动找平功能应用气动传感器量，应保证暖 光机的各和运行精度。 8对准系统的对准方式可采用同轴对准或离轴对准，并应对 照实物验收。

9整机验收应符合下列规定： 1)确定好工艺条件，将万能游标测试版对准，选取具有零层标 记的硅片两片，自动上片，自动对准硅片，骤一定数量的图形阵列： 自动下版，自动下硅片，将X，Y工作台移动一定距离以后重复以 上过程并显影。在显微镜下读出每个图形的入、丫游标偏差，计算 出套刻误差，以两片中精度最低的作为腰光机的套刻精度，眠光机 的套刻精度为设计线宽的L/3·~1/5： 2)用粒子计数器检测净化等级。 10整机操声验收应在空裁运转状态下进行，并应按现行国 家标准声学声压法测定嵊声源声动率级反射面上方采用包络 测量表面的简易法>GB3768规定的试验方法验收。 11可靠性应按现行国家标准《恒定失效率假设下的失效率 与平均无障时间的验证试验方案》GB5080.7规定的试验方法 验收。

E.3.1试运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单机 试运转： 1环境温度应为15~30℃，相对湿度应小于80%。 2 整机对地绝缘应用100C代兆欧表检测，电阳应大于 2.MO. 3 开机前电开关应在关闭状态。 E.3.2验收项目应符合下列要求： 1刀盘跳动应用杠杆式千分表检测，端面跳动不应大于 3um，径向跳动不应大于0.015mm。 2工作台运动轨迹同刀盘回转平面的平行度应用千分表检 剩施工组织设计标准规范范本，不应大于0.001/220。 3主轴带刀盘连续运转2h后，用半导体点温计检测其滚动 轴承温升不应大于坏境温度30℃。

4空载运转状态下：应用声级计检测噪声，主机前方1m处 应小于T6dB(A)

E.4.1试运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单机 试运转： 1环境洁净度等级应为6级。 ：2去离子水管应采用IPVC管，接口外径应为20mm，云离 子水压力应为0.25~0.3MPa，流量不应小于15L/m.in。 3排水管应采用PP管，管口外径应为60mm， 4氮气管应采用PP管，接口外径应为10mm，氮气压穴应为 0.25~0.35MPa，流量不应小于18L/mi1。 5去离子水注人应能自动进行。 6去离子水排放应畅通。 7 液位检测功能应完好， 8 故章报警状态提示应准。 9 设备接地应正确、可靠。 10排风装置应能正常运行。 11开机前按钮均应处在关闭状态。 E.4.2：验收项目应符合下列要求， 1.排风口直径应为200mm，每个排风口排风量不应小于 85001./min 2.交流电源单相应为220V士10%，功率应为3.8kW。 3机械手抖动频率应为30～60次/mi2，可分段设定，抖动 行程宜为30mm 4去需子水快速注人时间，用秒表检测不应大于150s。 5去离子水排放时间，用秒表检测不应大于68， 6：石英清洗槽加热温度应可调，应用点温计检测，温度应为 室温至80C之间.允许偏差应为士3℃

E6.1试运转前应检套下列项目，并应在符合要求后进行单机 试运转： 1环境洁净度等级应为6级，温度应为22.5℃土2.5℃，相

对湿度应为40%~～70% 2禄度传感器、室内温度传感器、风压传感器、空气质量传感 器应避开气体放空口及出风上处。 3接地电阻不应大丁12。 4不间断三相交流电源电压应为380V士10%，频率应为 50Hz，攻率应为40kW。 5冷却水压力应为0.5MPa，流量应为5~10L/min。 6所缩空气压力应为0.4MPa，流量应为1020L/min 7没备气柜风量应为10～15m/mi，排毒箱排风星应为8 ~12m3/min。 E.6.2验收项自应符合下列要求： 1设备的温度传感器、压力传感器、水流开关，水流量计、真 空规管工作应显示正常， 2加热炉升降温度立止常。 3机械手、推拉舟应工作正常

E,7.1试运转前应检查下列项目，并应在符合要求后进行单 运转： 1环境应符合下列规定， )洁净度等级应为6级，温度应为22.5℃土2.5℃，度不 大于60%： 2）地面应有防静电措苑。 2录力系统应符合下列规定： 1）三相交流电源电压应为380土10V，频率应为50H2: 2)冷却水压力应为0.3~0.4MPa，流量应为5~8L/min 3)玉缩空气压力应为(.EMPa，流量应为5L/min; 4）排风管接口直径应为15cmm，风量应为5～8L/min。 3设备系统内部检查应符合下列规定：

1)片盒位置对外接口正确； 2）机械手运动范围无异物； 3)反应室内对外连接管道（包括真空、化学气体）和电路 接无误， 4设备系统检查应符合下列规定： 1电缆接线应正确、可靠： 2）绝缘电阻不应小于5MQ； 3）接地应正确可靠； 4）4RF接人检查， 5）真空泵运转方向应正确： 6）所有运动部件的动作确认； 7)检盒冷却水、高压空气、保护氮气阀门应开启。 E.7.2验收项目应符合下列要求： 1 接通电源主机应显示电源接通。 2反应室门应关闭并有返回信号。 3 打开冷却水阀门时，水流开关应开。 4’打开压缩空气阀门时路灯标准，减压器应显示气体压力： E,8注入机

E.8.1试运转前应检查下列项目、并应在符合要求后进行单机 试运转： 1·环境洁净度等级应为6级，温度应为22℃±2℃，相对涩 度应为35%~65%， 2动力条件应符合下列规定： ）兰相交流电源电压应为380V+10%，频率应为50Hz 2)冷却木压应为C.3~0.5MPa; 3)工艺气体管道应连接到设备相应接口，压力应符合工艺要 求，且应标有明显的化学分了式： 4)压缩空气压力应为0.7~0.3MPa； 4

5)排风管接口点径应大于150m.m 6)排风、尾气处埋具备工作条件。 3设各系统内部应符合下列规定： 1）片盒位置对外接口正确； 2机械手运动范围不能有异物： 3)各高压自动短路放电棒运动灵活、无阻碍， 4)设备内部循环制冷系统具各工作条件； 5）各电缆接线连接正确，可靠； 6）确认电源引入没有短路； 7）接地正确、可靠 8）真空泵运转方向正确； 9）所有运动部件的动作确认； 10)冷却水、高压空气、氮气阀门开启，压显示均处丁正带工 作范围，冷却水无渗漏、水温符合要求。 E.8.2验收项目应符合下列要求： 1 接通电源时，主机应显示电接通。 2应检查各安全联锁是否工作正常。 3传片系统各运动部件应初始化