对用于产品生产的洁净室与相关受控环境以及为其服务的 力公用设施的总称。

classification

classification

洁净室（区）内悬浮粒子洁净度的水平。给出规定粒径粒子的 最大充许浓度，用每立方米空气中的粒子数量表示。

设备安装规范airsystemleakageratio

风管系统中，在某一静压下通过风管、附件及其接口，在单位 时间内泄漏或渗入的空气体积量。

airleak cheek withlighting

采用强光源对风管的咬口、接缝、法兰及其连接处进行透光检 查，确定孔洞、缝隙等渗漏部位及数量的方法

special gas

指电子产品生产过程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四 化硅、氯气等具有可燃、有毒、腐蚀或室息等特性的气体

指产品生产过程中使用的酸、碱、有机溶剂、有机物质和氧 物等。

洁净厂房中，用以输送、分配工艺用水、纯水、各类气体、化学 品等的管路系统的管子、附件、管件、法兰、螺栓连接件、垫片、阀 和其他组成件的组装总成。

radiographicexamination

对指定的一批配管的全部环向对接焊缝所做的全圆周射线检 验和对纵焊缝所做的全长度射线检验。

3.0.1洁净厂房施工前应根据具体工程项目的特点，制订施工方 案和程序，并应做到各工种协调施工、阶段明确、交接清楚，同时应 确保整体施工质量和安全操作。洁净厂房的总体施工程序可按本 规范附录A执行。

3.0.2对洁净厂房工程内各

计时，应符合现行国家标准《洁净广房设计规范》GB50073的有关 规定，并应加强设计质量管理，施工详图应得到原设计单位的书面 同意或确认。

1应具有完整的施工作业依据、质量检查记录； 2主控项目的质量检验应全部合格； 3一般项且的质量检验，合格率不得低于80%。

4.1.1 洁净厂房装饰装修工程进行施工详图设计时，应包括下列 内容： 1室内装饰装修技术要求； 2吊顶、墙体用金属壁板模数选择； 3吊顶、隔墙、门窗、送回风口、灯具、报警器、设备留洞、管线 留洞、特殊留洞等设施的综合布置和气密性节点图； 4门窗构造和节点图、金属壁板安装节点图。 4.1.2洁净厂房装修工程还应符合现行国家标准《建筑内部装修 防火施工及验收规范》GB50354、《建筑装饰装修工程质量验收规 范》GB50210的有关规定。 4.1.3 洁净厂房装饰装修工程的材料选择应符合下列规定： 1 应满足项自施工图设计要求； 2应满足防火、保温、隔热、防静电、隔振、降噪等要求； 3应确保洁净室气密性要求，材料表面不应产尘、不吸附微 粒、不积尘； 4应采用不霉变、防水、可清洗、易清洁和不挥发分子污染物 的材料； 5应满足产品质量、生产工艺的特殊要求，并不得释放对人 员健康及产品质量有害的物质。 4.1.4洁净厂房装饰装修工程的施工应在厂房主体结构和屋面 工程完成并验收合格后进行。对现有建筑进行洁净室装饰装修 时，应对现场环境、现有设施等进行清理与清洁，并应在达到洁净 施工要求后再进行施工。

4.1.5洁净厂房装饰装修工程施工过程应对施工现场进行封闭 管理，并应对进出人员、设备和材料等进行洁净管制。 4.1.6洁净厂房装饰装修工程施工时的环境温度不宜低于 5℃。低温施工时，对有温度要求和影响的施工作业应采取保温 措施。 4.1.7装饰装修工程施工过程应保持施工现场清洁，对隐蔽空间 应做好清扫与清洁记录。 4.1.8洁净厂房装修工程施工过程应保护已完成的装饰装修工 程表面，不得因撞击敲打、踩踏等造成表面凹陷、破损和表面装饰 的污染。

日子 万衣修 生王证 儿农农 程表面，不得因撞击敲打、踩踏等造成表面凹陷、破损和表面装饰 的污染，

4.2墙、柱、顶涂装工程

4.2.1本节适用于水性、溶剂型以及防尘、防霉涂料的涂装工程 的施工和验收。

的施工和验收。 4.2.2洁净厂房涂装工程的检验批应按同类涂料涂饰面积每 300m～500m划分为一个检验批，不足300m也应划分为一个 检验批

4.2.3基层状况的确认应符合下列规定

1基层养护应达到设计要求； 2基层表面平整度、垂直度及阴阳角应符合设计要求； 3基底应坚实、牢固，不得出现蜂窝、麻面、空鼓、粉化、裂缝 等现象； 4新建筑应将建筑物表面建筑残留物清理干净，并用砂纸打 磨；旧墙面在施工前应将蔬松部分清理干净，并应涂界面剂后再 补平； 5当基层使用腻子找平时，应符合设计要求和现行行业标准 《建筑室内用腻子》JG/T298的有关规定。

检查数量：全数检查。 检验方法：检查产品出厂证明、生产批次、合格证书、性能检沙 报告和进场验收记录。

4.2.5涂装基层应符合下列规定

1当在混凝土或抹灰基层上施工时，含水率应符合下列 规定： 1)溶剂型涂料时，基层含水率不宜大于8%； 2）水性涂料时，基层含水率不宜大于10%。 2抹灰基层施工应涂刷均匀、粘结牢固，不得漏涂、起皮、起 泡、流坠和有裂缝等。 检查数量：每检验批面积的30%。 检验方法：观察、手摸检查，抽检分析

4.2.6涂装工程应符合下列规定

1涂料颜色应符合设计要求； 2水性涂料涂装工程施工不宜在阴雨天施工，环境温度应控 制在10℃～35℃； 3涂装前应确认基层已硬化、干燥，并应符合本规范第 4.2.5条的规定； 4涂装层应涂饰均匀、粘结牢固，不得漏涂、透底、起皮、起泡 和有裂缝。 检查数量：每检验批面积的30%。 检验方法：观察检查、手摸检查，检查施工记录。 4.2.7涂装层与门窗、高效过滤器、灯具、管线等之间的衔接处应 符合下列规定： 1衔接处的接缝间隙不得大于0.5mm； 2应按设计要求进行密封处理； 3接缝的密封表面应平整、光滑。 检查数量：全数检查。 检验方法：观蔡检查、尺量。

4.2.8涂装层质量应符合下列规

1颜色应均匀一致； 2 应无砂眼、无刷纹，不得有咬色、流坠、泛碱、疙瘩； 3装饰线、分色线的直线度充许偏差不得大于1mm 检查数量：全数检查。 检验方法：观察检查、尺量。

检查数量：全数检查。 检验方法：观察检查。

检查数量：全数检查。 检验方法：观察检查。

4.3.1本节适用于水性涂料、溶剂型涂料以及防尘、防霉涂料地 面的施工验收

面的施工验收。 4.3.2 基层状况的确认应符合下列规定： 基层的养护应达到设计要求； 2 基层上的水泥、油污等残留物应清理干净； 3 当基层为建筑物的最底层时，应做好防水层； 4基层表面的尘土、油污、残留物等应清除干净，并应用磨光 机、钢丝刷全面打磨、修补找平，同时应用吸尘器清除灰尘； 5对于旧地面为油漆、树脂及PVC地面清除时，应将基层表 面打磨干净，并应用腻子或水泥等修补找平。 4.3.3当有防静电要求时，应符合现行国家标准《防静电工程施 工与质量验收规范》GB50944的有关规定。

4.3.2基层状况的确认应符合下列规定：

4.3.4基层表面应符合下列规定

1当基底表面为混凝土类时，其表面应坚硬、十燥，不得有蜂 窝、麻面、粉化、脱皮、龟裂、起壳等现象，且应平整、光滑； 2当基层为瓷砖、水磨石、钢板时，相邻板块高差不应大于

1.0mm。板块不得有松动、裂缝等现象。 检查数量：抽查30%，做好施工记录。 检验方法：观察检查、尺量。

1涂装区域的上空及周围不得有产尘作业，并应采取防尘 措施； 2 涂料的混合应按规定的配合比计量，并应充分搅拌均匀； 3涂料厚薄应均匀，不得漏涂或出现涂后泛白等现象； 4与设备、墙体结合处不得将涂料粘到墙、设备等处。 检查数量：每检验批面积的30%。 检验方法：观察、抽查化验。

4.3.6面层涂装应符合下列规定：

1涂装层的厚度、性能应符合设计要求，厚度偏差不得大 于 0.2mm。 2 面层涂装应待结合层晾于后进行。 3 面层施工环境温度应控制在5℃～35℃。 4每次配料应在规定时间内用完，并应做好记录。 5 面层施工宜一次完成；分次施工时，应做到接缝少，并应设 置于隐蔽处；接缝应平整、光滑，不得分色、露底。 6表面应无裂纹、鼓泡、分层、麻点等现象。 7防静电地面的体积电阻和表面电阻应符合设计要求。 检查数量：每检验批面积的30%。 检验方法：观察检查、尺量，核查施工记录，

4.3.7地面涂装用材料应具有防霉、防水、易清洗、耐磨、发尘少

不积尘和对产品质量无害的性能。 检查数量：全数检查。 检验方法：检香产品合格证、说明书，并做好进场验收记录

花纹。 检查数量：全数检查。 检验方法：观察检查，

9踢脚板与墙面应平齐，阴、阳角

检查数量：每检验批的30%。 检验方法：观察检查。

4.4.1高架地板及其支撑结构应符合设计和承重要求。安装前 应检查出厂合格证和复核荷载检验报告，每种规格均应具有相应 的检验报告。

4.4.1高架地板及其支撑结构应符合设计和承重要求。

4.4.2铺设高架地板的建筑地面应符合下列规定：

1地面标高应符合设计要求； 2地面表层应平整、光洁、不起尘，含水率不应大于8%，并 应按设计要求涂刷涂料。 坚实并应目右耐麻陆

2地面表层应平整、光洁、不起尘，含水率不应大于8%，并 应按设计要求涂刷涂料。 4.4.3高架地板的面层和支承件应平整、坚实，并应具有耐磨、防 霉变、防潮、雄燃或不燃、耐污染、耐老化、导静电、耐酸碱等性能。 4.4.4对有防静电要求的高架地板，安装前应核查产品出厂证 明、合格证和防静电性能测试报告

4.4.5对有通风要求的高架地板，面层上的开孔率和开孔分布

检查数量：每种规格抽查不少于5%，且不少于3块。 检验方法：观察、尺量和计算，并核查产品合格证

4.4.6高架地板支撑立杆与建筑地面的连接或粘结应牢固可靠

支撑立杆下部的连接金属构件应符合设计要求，固定螺栓的外露 丝扣不得少于3扣。 检查数量：按连接点数抽查20%，且不少于10点。 检验方法：观察和小锤敲击检查

高架地板面层铺设充许偏差应符合表4.4.7的规定， 检查数量：按铺设面积的20%检查，且不得少于5m。

检查数量：按铺设面积的20%检查，且不得少于5m

4.7高架地板面层铺设充许偏差（mm）

8高架地板施工前应认真放线，正确选择标高基准点和标出 块安装位置、高度。 检查数量：全数检查。 检验方法：现场查看放线结果，检查施工记录。

4.4.10高架地板边角位置板块的安装应根据实际情况进行切害

后镶补，并应设可调支撑和横杆，切割边与墙体交接处应用柔软的 不产尘材料填缝。 检查数量：全数检查。 检验方法：观察检查。

吊顶工程施工前应对下列隐蔽工程进行验收、交接： 吊顶内各类管道、功能设施和设备的安装工程：

4.5.1吊顶工程施工前应对下列隐蔽工程进行验收、交接：

顶内各类管道、功能设施和设备的

2龙骨、吊杆和预理件等的安装，包括防火、防腐、防霉变、防 尘处理； 3其他与吊顶相关的隐蔽工程。 4.5.2吊顶工程的检验批应按洁净室（区）面积500m划分为 个检验批，不足500m也应划分为一个检验批。 4.5.3安装龙骨前，应按设计要求对房间净高、洞口标高和吊顶 内管道、设备及其他支架的标高等办理工序交接手续。 4.5.4吊顶工程中的预埋件、钢筋吊杆和型钢吊杆应进行防锈或 防腐处理；当吊顶上部作为静压箱时，预理件与楼板或墙体的衔接 处均应进行密封处理。支、吊架应采取防尘处理。

1吊顶工程施工详图、设计及施工说明和相关产品合格证、 性能检测报告和进场验收记录： 2隐蔽工程验收记录； 3施工记录。

4.5.6吊顶的固定和吊挂件应与主体结构相连；不得与设备支

4.5.6吊顶的固定和吊挂件应与主体结构相连；不得与设备支架 和管线支架连接；吊顶的吊挂件不得用作管线支、吊架或设备的 支、吊架。

支、吊架。 检查数量：全数检查。 检验方法：观察检查。

4.5.7空气过滤器、灯具、烟感探测器、扬声器和各类管线穿吊顶

处的洞口周围应平整、严密、清洁，并应用不燃材料封堵。隐蔽工 程的检修口周边应采用密封垫密封。 检查数量：全数检查。 检验方法：观察检香

杂质。 检查数量：每检验批检查30%。 检验方法：观察、尺量，水平仪测试。

品性能进行核对。 检查数量：按批检查。 检验方法：观察检查，检查产品合格证书、性能检测报告、进场 验收记录。

4.5. 10 吊杆间距宜小于 1. 5m。吊杆与主龙骨端部距

王龙骨端部距离不得大 于300mm。 检查数量：每检验批检查20%。 检验方法：观察、尺量。

检查数量：每检验批检查20%。 检验方法：观察、手扳检查，检查隐蔽工程验收记录和施工 记录。

检查数量：每检验批检查20%。 检验方法：尺量、观察，检查产品合格证书、性能检测报告 场验收记录。

4.5.14金属吊杆、龙骨的接缝应均匀一致，角缝应吻合，表

平整，并应无翘曲、锤印。 检查数量：每检验批检查20%

检查数量：每检验批检香20%

4.5.15吊顶工程安装的充许偏差和检验方法应符合表4.5.15 的规定。 检查数量：按每一个检验批抽查30%，

4.5.15吊顶工程安装的允许偏差和检验方法应符合表

查数量：按每一个检验批抽查30%

4.6.1本节适用于洁净室（区）内板材隔墙、复合轻质墙板、金属 夹芯板等墙体工程的施工和验收。

4.6.2墙体工程施工前应进行下列验收和交接

1与墙体工程相关管线、设施的安装工程； 2龙骨、预埋件等的防火、防腐、防尘、防霉变处理。 4.6.3墙体工程验收时，应检查下列文件和记录： 1墙体工程的施工详图、设计及施工说明和相关产品合格 证、性能检验报告和进场验收记录等： 2隐蔽工程验收记录； 3施工记录。 4.6.4墙体工程的检验批应按洁净室（区）面积500m划分为 个检验批，不足500m时也应划分为一个检验批。

要求。 检查数量：全数检查。 检验方法：观察，检查产品合格证书、性能检验报告和进场验 收记录。

4.6.7墙体面板接缝间隙应一致，每条面板缝间隙误差不得大于

4.6.8墙体面板上的电气接线盒、控制面板和管线穿越处的各种 洞口应位置正确、边缘整齐、严密、清洁、不产尘，并应以不燃材料 封堵。

4.6.8墙体面板上的电气接线盒、控制面板和管线穿越处的

检查数量：全数检查。 检验方法：观察检查。

检查数量：全数检查。 检验方法：观察检查。

4.6.9安装门窗的预留洞口应 合设计要求，并应平整、严密、清 洁、不产尘。 检查数量：全数检查。 检验方法：观察检查，尺量

4.6.10隔墙板材安装应牢固，预理件、连接件的位置、数量、规 格、连接方法和防静电方式应符合设计要求。 检查数量：按每一检验批的30%检查。 E

4.6.11墙体板材安装应垂直、平整，位置应正确；与吊顶板和相

拐角处宜采用圆角。 检查数量：全数检查。 检验方法：观察检查，尺量。

4.6.12墙体表面应平整、光滑、色泽致，金属壁板的面膜撕膜 前应完好无损。 检查数量：按每一检验批的30%检查。 检验方法：观察检查。

4.6.13墙体板材安装的允许偏差和检验方法应符合表4.6.13 的规定。 检香数量：按每一个检验批抽查30%

检香数量：按每一个检验批抽查30

3墙体板材安装的允许偏差和检验方法

4.7.1门窗安装前，应对门窗洞口或副框尺寸进行检验，并应符 合设计要求

4.7.2门窗工程验收时应检查下列文件：

4.7.4洁净室门窗的品种、类型、规格、构造、型材厚度、尺寸、安

检查数量：按每一检验批的30%检查。 检验方法：观察检查、尺量，检查产品（材料）合格证书、性能检 验报告、进场验收记录和施工验收记录

毒、平整、光滑，门窗上玻璃均应为固定型。

4.7.6门窗边框、副框的安装应牵固，预埋件、连接件的数量、规

4.7.7门窗边框与墙体应连接牢固。门窗边框、副框与墙体之间

的缝隙应均习，并不得超过1mm。 缝隙应以密封材料填嵌和密封 胶密封。 检查数量：按每一检验批的30%检查。 检验方法：观察检查、尺量。

4.7.8洁净室门配件的型号、规格、数量应符合设计要求，并应空

固、表面光滑、不积尘、易清洁和消毒。 检查数量：按每一检验批的30%检查。 检验方法：观察检查。

层或薄膜应连续。 检查数量：按每一检验批的30%检查。 检验方法：观察检查。

4.7.10门扇应安装牢固,并应开关灵活、关闭严密

检查数量：按每一检验批的30%检查。 检验方法：观察检查。

4.7.11门窗安装的允许偏差和检验方法应符合表4.7.11的 规定。 检查数量：按每一检验批的30%检查。

表4.7.11门窗安装的允许偏差和检验方法

5.1.1洁净厂房净化空调系统的施工、验收除应符合本规范的规

5.1.1洁净厂房净化空调系统的施工、验收除应符合本规范的规 定外，还应符合现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规 范》GB50243的有关规定，

设计图纸的要求，并不得产生或散发对产品生产的正常进行

没计图纸的要求航天标准，并不得产生或散发对产品生产的正常进行、产品 质量和人员健康有害的物质

等，进施工现场前应经验收，并应做好产品验收记录。 5.1.4净化空调系统施工中的隐蔽工程应经验收和做好记录后 再进行隐蔽

5.1.5净化空调系统的调试和试运转应在洁净室（区）建筑装饰

5.2.1风管、附件的制作、质量验收还应符合现行国家标准《通风 与空调工程施工质量验收规范》GB50243中有关高压风管系统和 中压风管系统的规定，

中压风管系统的规定。 5.2.2风管、附件制作质量的验收应按工程设计图纸与本规范的 规定实施。当工程项自选择外购时林业标准，应具有产品合格证书和相应 的质量检验报告。

5.2.3净化空调系统风管的材质应按工程设计文件的要求选择

工程设计无要求时，宜采用镀锌钢板。当产品生产工艺要求或玉 境条件必须采用非金属风管时，应采用不燃材料或B1级难燃机