5.3.3洁净室地面设计应符合下列规定

1洁净室地面应符合生产工艺要求。 2洁净室地面应平整，耐磨、易清洗、不开裂，且不易积聚 静电。 3地面垫层宜配筋，潮湿地区垫层应有防潮措施。 5.3.4洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚表面宜平整、光滑，位于 地下的技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。 5.3.5洁净室（区）和人员净化用室设置外窗时，应采用双层玻璃 固定窗，并应有良好的气密性。 5.3.6洁净室内的密闭门应朝空气洁净度较高的房间开启，并应

加设闭门器，无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗

3.7洁净室门窗、墙型、项棚等的设计应符合下列规定

1洁净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面及施工缝隙均应采取可 靠的密闭措施。 2当采用轻质构造顶棚做技术夹层时，夹层内宜设检修 通道。 3洁净室窗宜与内墙面齐平，不宜设窗台。 5.3.8洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内顶棚和墙面表面材料 的光反射系数宜为0.6～0.8，地面表面材料的光反射系数宜为 0.15~0.35, 5.3.9洁净度等级严于8级的洁净室的墙增板和顶棚宜采用轻质 壁板。 5.3.10室内装修材料的燃烧性能必须符合现行国家标准《建筑 内部装修设计防火规范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密 度等级不应大于50土壤标准，材料的烟密度等级试验应符合现行国家标准 《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627的有关 规定。

表6.1.4洁净宽的温，温度围

6.1.5洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的最大

补偿室内排风和保持室内正压值所需新鲜空气量之利 2保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m

6.1.6洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器，但空气洁净 度等级为1级～5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系 统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷，吸尘口应加盖封堵。 6.1.7净化空调系统设计对维护管理的要求应符合本规范附录 C的规定

6.2.1洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工 艺要求决定维持正压差或负压差。 6.2.2不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非 洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于 10Pa. 6.2.3洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特 点，宜采用缝隙法或换气次数法确定。 6.2.4送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程 序应先启动送风机，再启动回风机和排风机，关闭时联锁程序应相 反。 负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。 6.2.5非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送 风，并应进行净化空调处理。

6.3气流流型和送风

6.3.1气流流型的设计应符合下列规定

1活净室（区）的气流流型和送风量应符合表6.3.3的要求。 空气洁净度等级要求严于4级时，应采用单向流；空气洁净度等级 为4级～5级时，应采用单向流；空气洁净度等级为6级～9级时， 应采用非单向流。 2洁净室工作区的气流分布应均匀。 3洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求

6.3.2 洁净室的送风量应取下列三项中的最大值： 1 满足空气洁净度等级要求的送风量。 2 根据热、湿负荷计算确定的送风量。 3 按本规范第6.1.5条的要求向洁净室内供给的新鲜空 气量。 6.3.3为保证空气洁净度等级的送风量，应按表6.3.3中的有关 数据进行计算或按室内发尘量进行计算

表6.3.3气流流型和送风量

性：1换气次数适用于层高小于4.0m的造净室

Z证据内人员 6.3.4洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净 度的影响，并应符合下列规定： 1单向流洁净室内不宜布置洁净工作台，非单向流洁净室的 回风口宜远离洁净工作台。 2需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。 3有发热设备时，应采取措施减少热气流对气流分布的 影响。 S 余压阀宜布置在洁净气流的下风侧

6.4.1空气过滤器的选用、布置和安装方式应符合下列规

1空气净化处理应根据空气洁净度等级合理选用空气过

1空气净化处理应根据空气洁净度等级合理选用空气过

滤器。 2空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。 3中效或高中效空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。 4亚高效过滤器和高效过滤器作为末端过滤器时宜设置在 净化空调系统的末端，超高效过滤器应设置在净化空调系统的 末端。 5设置在同一洁净室内的高效（亚高效、超高效)空气过滤器 的阻力、效率应相近。 6高效（亚高效、超高效）空气过滤器安装方式应产密、简便、 可靠，易于检漏和更换。 6.4.2对较大型的洁净厂房的净化空调系统的新风宜集中进行 空气净化处理。 6.4.3净化空调系统设计应合理利用回风。 6.4.4净化空调系统的风机宜采取变频措施。 6.4.5严寒及塞冷地区的新风系统应设置防冻保护措施

6.5.1空气洁净度等级严于8级的洁净室不得采用散热器采暖。 6.5.2洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风 装置。 6.5.3在下列情况下，局部排风系统应单独设置： 1排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危 险性和发生交叉污染。 2排风介质中含有毒性的气体。 3 排风介质中含有易燃、易爆气体。 6.5.4 洁净室的排风系统设计应符合下列规定： 1应防止室外气流倒灌。 2含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按物理化学性质采 取相应的防火防爆措施。

2月舌 物排放浓度及排放速率规定时，应进行无害化处理。 4对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，应设坡度及排 放口。 6.5.5换鞋、存外衣、洗、厕所和淋浴等生产辅助房间应采取通 风措施，其室内的静压值应低于洁净区。1 6.5.6根据生产工艺要求应设置事故排风系统。事故排风系统 应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室内、外 便于操作处。

6.5.7洁净厂房排烟设施的设置应符合下列规定

1洁净厂房中的疏散走廊应设置机械排烟设施。 2洁净厂房设置的排烟设施应符合现行国家标准《建筑设计 防火规范》GB50016的有关规定

6.6.1净化空调系统的新风管段应设置电动密闭网、 回风管段应设置调节阀，洁净室内的排风系统应设置调节阀、止回 阀或电动密闭阀。 6.6.2下列情况之一的通风、净化空调系统的风管应设防火阀： 1 风管穿越防火分区的隔墙处，穿越变形缝的防火隔塘的 两侧。 2 风管穿越通风、空气调节机房的隔墙和楼板处。 3 垂直风管与每层水平风管交接的水平管段上。 6.6.3净化空调系统的风管和调节风阀、高效空气过滤器的保护 网、孔板、扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应符合输送空气的 洁净度要求及其所处的空气环境条件的要求。 洁净室内排风系统的风管和调节阀、止回阅、电动密闭阀等附 件的制作材料和涂料，应符合排除气体的性质及其所处的空气环 境条件的要求，

6.6.4净化空调系统的送、回风总管及排风系统的吸风总管段上宜采取消声措施，满足洁净室内噪声要求。净化空调系统的排风管或局部排风系统的排风管段上，宜采75给水排水取消声措施，满足室外环境区域噪声标准的要求。6.6.5在空气过滤器的前、后应设置测压孔或压差计。在新风7.1一般规定管、送风、回风总管段上，宜设置风量测定孔。6.6.6风管、附件及辅助材料的耐火性能应符合下列规定：7.1.1洁净厂房内的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹1净化空调系统、排风系统的风管应采用不燃材料。道内，也可埋地敷设。洁净室内管道宜暗装，与本房间无关的管道2排除有腐蚀性气体的风管应采用耐腐蚀的难燃材料。不宜穿过。3排烟系统的风管应采用不燃材料，其耐火极限应大于7.1.2管道外表面可能结露时，应采取防护措施。防结露层外表0.5he面应光滑，易于清洗，并不得对洁净室造成污染。4附件、保温材料、消声材料和粘结剂等均采用不燃材料或7.1.3管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时应设套管，管道和套难燃材料。管之间应采取可靠的密封措施。无法设置套管的部位也应采取有效的密封措施。7.2给水7.2.1洁净厂房内的给水系统应符合生产、生活和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的要求，并应分别设置。管道的设计应留有余量，以适应工艺变动。7.2.2水质要求较高的纯水供水管道应采用循环供水方式，并应符合下列规定：1循环附加水量应为使用水量的30%~100%。2干管流速应为1.5m/s~3m/s。3不循环的支管长度应尽量短，其长度不应大于6倍管径。4供水干管上应设有清洗口。5管道系统各组成部分应密封，不得有渗气现象。7. 2. 3管材选择应符合下列规定：纯水管道的管材应符合生产工艺对水质的要求，可选择不锈钢管或工程塑料管。 24 · 25,

2工艺设备用循环冷却给水和回水管可来用热镀锌钢管、不 锈钢管或工程塑料管等。 管道配件应采用与管道相应的材料。 7.2.4 循环冷却水管道应预留清洗口。 7.2.5 洁净厂房周围应设置酒水设施

7.3.1排水系统应符合工艺设备排出的度水性质、浓度和水量等 要求。有害废水应经废水处理，达到国家排放标准后排出。 7.3.2洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备， 必须在其排出口以下部位设水封装置，排水系统应设有完善的透 气装置。

7.3.1排水系统应符合工艺设备排出的度水性质、浓度和水量等

7.3.3洁净室内地漏等排水设施的设置应符合下列规定

1空气洁净度等级严于6级的洁净室内不应设地漏。 26级活净室内不宜设地漏，如必须设置时，应采用专用 地漏。 3 空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不宜设排 水沟。 4 空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不应穿过排 水立管，其他洁净室内穿过排水立管时不应设检查口。 7.3.4洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清洗的卫生设备、 管道、管架及其附件。 7.3.5洁净厂房宜设置消防排水设施

7.4消防给水和灭火设备

.4.1净厂房必须设直消防给水设施，消防给水设施设直设计 应根据生产的火灾危险性、建筑物耐火等级以及建筑物的体积等 因素确定。 7.4.2洁净厂房的消防给水和固定灭火设备的设置应符合现行

7.4.2洁净厂房的消防给水和固定灭火设备的设置应符合

8.1.8洁净】房内、生产类别为现行 T防火 范》GB50016规定的甲、乙类气体、液体入口室或分配室的设置应 符合下列规定： 1当毗连布置时，应设在单层厂房靠外墙或多层厂房的最上 一层靠外墙处，并应与相邻房间采用耐火极限大于3.0的隔墙分隔。 2应有良好的通风。 3泄压设施和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规 范》GB50016、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定执行。

8.2.1工业管道材料和阀门应根据所输送物料的物化性质和使 用工况选用，并应满足生产工艺的要求和使用特点，经技术经济比 较后确定。 8.2.2高纯气体管道和阀门的选用应符合生产工艺的要求，并应 符合下列规定： 1当气体纯度大于或等于99.999%，露点低于一76℃时，应 采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁光亮抛光的不锈钢管。阀 门宜采用隔膜阀或波纹管阀。 2当气体纯度大于或等于99.99%，露点低于一60℃时，应 采用内壁光亮抛光的不锈钢管。除可燃气体管道宜采用波纹管阅 外，其他气体管道宜采用球阀。 8.2.3当干燥压缩空气露点低于一70℃时，应采用内壁光亮抛光 的不锈钢管；当露点低于一40℃时，宜采用不锈钢管或热镀锌无缝 钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。 8.2.4 阀门材质宜与相连接的管道材质相适应。

8.3.1工业管道的连接应符合下列规定

1管道连接应采用焊接，热锻锌钢管应米用螺数连接 2不锈钢管应采用氩弧焊，以对接焊或承接焊连接；高纯气 体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊。 8.3.2管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管 连接时宜来用金属软管。 8.3.3管道与管道、管道与阀门连接的密封材料应符合下列 规定： 1螺纹或法兰连接处的密封材料应根据输送物料性质、设计 工况选择，宜采用聚四氟乙烯等。 2高纯气体管道与阀门连接的密封材料应接生产工艺和气 体特性的要求确定，宜采用金属垫或双卡套。 8.3.4洁净室（区）内的工业管道应根据管子表面温度和环境温 度、湿度确定保温形式和构造。冷管道保温后的外表面温度不应 低于环境的露点温度。保温层外表面应来用不产生尘粒、微生物 的材料，并应平整、光洁，宜采用金属外壳保护

8.4.1下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报管装 置应与相应的事敬排风机连锁： 1生产类别为甲类的气体、液体入口室或分配室。 2管廊，上、下技术夹层，技术夹道内有可燃气体的易积 聚处。 3洁净室内使用可燃气体处。 8.4.2可燃气体管道应采取下列安全技术措施： 1 接至用气设备的支管宜设置阻火器。 2引至室外的放散管应设置阻火器，并应设置防雷保护 设施。 3 应设导除静电的接地设施。 8.4.3氧气管道应采取下列安全技术措施：

规范》GB50116的有关规定。洁净区内火灾报警应进行核实，并 应进行下列消防联动控制： 1应启动室内消防水泵，接收其反馈信号。除自动控制外， 还应在消防控制室设置手动直接控制装置。 2应关闭有关部位的电动防火阀，停止相应的空调循环风 机、排风机及新风机，并应接收其反馈信号。 3应关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门。 4应控制备用应急照明灯和疏散标志灯燃亮。 5在消防控制室或低压配电室，应手动切断有关部位的非消 防电源。 6应启动火灾应急扩音机，进行人工或自动播音。 7应控制电梯降至首层，并接收其反馈信号。 9.3.6洁净厂房中易燃、易爆气体、液体的贮存和使用场所及入 口室或分配室应设可燃气体探测器。有毒气体、液体的贮存和使 用场所应设气体检测器。报警信号应联动启动或手动启动相应的 事故排风机，并应将报警信号送至消防控制室。

9.4.1洁净厂房宜设置净化空调系统等的自动监控装置。

9.5静电防护及接地

9.5.1洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施。

1地面的面层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定。 2地面的面层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻率应为 1.0×10°2/~1.0×10"2/口或体积电阻率为1.0×10°2·cm~

1.0X10"2· cm。 3地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值 应为1.0×102~1.0×10*2。 9.5.3洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施。 9.5.4洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉 体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设 备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计 规范》GB50058的有关规定。

.0X10"S2·cm 3地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值 应为1.0×10°2~1.0×102。 9.5.3洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施。 9.5.4洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉 体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设 备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计 规范》GB50058的有关规定。 9.5.5防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子。 在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环。 在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0.10。 .5.6洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位 联结的原则，其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流 工作接地的接地干线应单独绝缘敷设，并应使用绝缘屏蔽电缆。 9.5.7接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于 S2；选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体必须远离 防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距。洁净厂房 的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》 GB50057的有关规定。

A.3.2静压差测试应符合下列规定： 1静压差的测定应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性 检测合格后进行，并应在所有的门关闭时检测。 2仪器宜采用各种微差压力计，仪表灵敏度应小于1.0Pa。 A.3.3已安装过滤器检漏测试应符合下列规定： 1检漏方法有光度计法和粒子计数器法。 2在过滤器上风侧应引人测试用气游胶，在过滤器下风侧用 光度计或粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面 2cm~3cm处，以5mm/s~15mm/s的扫描速度移动，并应注意安 装交接处的扫描。 A.3.4密闭性测试应用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室 （区)或非洁净室（区）通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室 （区）。一般适用于1级至5级的洁净室（区)进行测试。采用光度 计法和粒子计数器法进行测试。 A.3.5洁净度的检测应符合下列规定： 1使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器，在仪器选用 时应考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率。仪器应 有有效的标定合格证书。 2最少采样点数应按下式计算： N,= Ao. (A. 3. 51) 式中：NL一一最少采样点； A一一洁净室或被控洁净区的面积（m）， 3采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位 于工作活动的高度，活动高度宜距地面0.8m；每个采样点的最小 采样时间为1min， 4每一采样点的每次采样量应至少为2L，采样量应按下式 计算；

A.3.5洁净度的检测应符合下列规定

式中Vs—每个采样点的每次采样量，以L表示；当Vs很大时， 可使用顺序采样法； C.·—被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值 (pc/m") ; 20在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时，可测 到的粒子颗数(pc）。 5当洁净室或洁净区仅有一个采样点时，则在该点应至少来 样3次

用M描述特表示为“M1000；10um~20m），多级撞击采样器以 显微镜测定粒径并计数”

A.4.1按照双方协议书的规定进行空气中悬浮粒子浓度和其他 参数的监测。 A.4.2双方协议书中应明确测量空气悬浮粒子浓度最少采样 点、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、测 量时间间隔、被计数粒子的粒径，以及粒子数的限值。 A.4.3当监测结果超过规定的限值时，则应认定设施不符合要 求，应进行修正；修正后应再进行认证检测。当监测结果在规定限 值内，可继续监测

A.5.1按双方协议书的规定及第A.2节的要求，按第A.3节的 方法进行测试，当测试结果在规定的限值之内时，可认定该洁净室 符合规定要求。当测试结果超过规定的限值，可认定该洁净室不 符合要求，应进行改进，在完成改进工作之后，应进行再认证。 A.5.2记录数据评价应符合下列规定： 1在空气洁净度测试中，当测点在1点10点时，应计算平 均中值、标准偏差、标准误差和由全部采样点的平均粒子浓度导出 95%置信上限值。 2当采样点超过10点时，应计算算术平均值，并按算术平均 值进行空气洁净度等级的评价。 A.5.3每次性能测试或再认证测试应做记录，并应提交性能合 格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容： 1测试机构的名称、地址。 2测试日期和测试者签名。 3执行标准的编号及标准出版日期。

+ 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐 标图。 5被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径、被测 洁净室所处的状态、气流流型和静压差。 6测量用的仪器编号和标定证书，测试方法细则及测试中的 特殊情况。 7测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓 度或沉降菌、浮游菌的菌落数。 8对异常测试值进行说明及数据处理。 9注明上次的测试日期。 10设施的测试文件可作为下次监测计划的依据。 A.5.4测试机构应提交造净室检验证书、再检验证书

附录B洁净厂房生产工作间的 火灾危险性分类举例

表B清净厂房生产工作间的火安意险性分类举例

附录C净化空调系统设计对维护管理的要求

附录C净化空调系统设计对维护管理的要求

空气洁净度等级 监测项目 1~3 4,5 6 7 8,9 温度 温度 每班2次 乐差值 循环监测 每月1次 洁净度 每周1次 每3个月1次$6个月1次

则 (5 3 ) 3 空气洁净度等级 (5 4) 总体设计 (55) 4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置 (55) 4. 2 工艺平面布置和设计综合协调 (58) 4. 3 人员净化和物料净化 (5 9) 4. 4 噪声控制 (63) 4. 5 微报控制 (67) 5 筑 (69) 5. 1 一般规定 (69) 5. 2 防火和疏散 (69) 5. 3 室内装修 (73) 空气净化 (75) 6. 1 一般规定 (75) 6. 2 洁净室压差控制 (76) 6. 3 气流流型和送风量 (79) 6. 4 空气净化处理 (81) 6. 5 采暇通风、防排烟 (83) 6. 6 风管和附件 (84) 给水排水 (86) 7. 1 一般规定 (86) 7. 2 给水 (87) 7. 3 排水 (88) 7.4消防给水和灭火设备 (89)

4.1洁净厂房位直送择和总平面布置 4.1.1洁净厂房与其他工业厂房的区别在于洁净厂房内的生产 工艺有空气洁净度要求。因此，设有洁净厂房的工厂厂址宜选在 大气含尘浓度较低的地区，如农村、城市远郊、水域之滨等，不宜选 择在气候干早、多风沙地区或有严重空气污染的城市工业区。 根据国内外测试资料，农村空气污染程度较低，其含尘浓度一 般只相当于城市含尘浓度的儿分之一，基至低一个数量级。而城 市工业区的含尘浓度又远高于城市市区及市郊。不同地区含尘浓 度也不同，如表1～表3所示。不同季节的含尘浓度也不相同，表 4所列是天津市某地段不同季节室外含尘浓度的实测值

表2天津地区的大气含尘计重波度

表2天津地区的大气含尘计重浓席

大气计重浓度（mg/m） 场所 测值范围 平均值 校网、住宅区 0. 18~0. 32 0. 206 商业街区 0. 23~0. 41 0. 291 工业区 0. 27~0. 59 0. 437

从表1、表2申可以看 出各X 大，若在环境质量较差的地区建厂，设计中应采取有效的技术措施

以确保洁净广房的技术要求

表3大气含尘浓度平均值（大于或等于0.5um）（pc/L）

地区 年平均 月平均最大值 月平均最小值 北京(市区) 190956 293481 9274 北京(昌平农村) 35643 156620 4591 上海(市区) 128052 365103 34327 西安（市区） 131644 317561 29738

表4不同季节室外大气含尘流室的实测值

4.1.2清净厂房内当布置有精密设备和桶密仪器仪表，们有 防微振要求时，为解决防微振问题，在厂址选择或已建工厂内的洁 净厂房场地选择过程中，需要对周围振源的振动影响作出评价，以 确定该厂址或场地是否适宜建设。 周围振源对精密设备、精密仪器仪表的振动影响，是若干单个 振源振动的叠加结果。这种叠加，目前还没有系统的参考数据及 实用的计算方法。因此，应立足于实测。过去有的工厂，由于建厂 前没有对周围各类振源的振动影响进行实测，建成后发现对精密 设备、精密仪器仪表影响很大，有的甚至难以工作，给生产、试验带 来很大困难，这说明实测振源报动影响是非常必要的。 4.1.3本条规定仍以规范编制组的科研成果报告《环境尘源影响 范围研究》为依据。根据上述报告，道路灰尘“严重污染区”位于道 路下风侧50m范围之内，100m以外为“轻污染区”。洁净厂房最 好离开车辆频繁的干道100m以外，但考虑到厂区总平面布置的 可能性以及厂区围墙或厂内路沿绿化的阻尘作用等因素，本条规 定洁净厂房与车辆频繁的干道之间的距离宜大于50m。 57

在《洁净厂房设计规范》GB50073—2001（以下简称原规范） 实施中，各地区、各设计单位认为本条规定距离的界定不明确，且 考虑到道路的污染物对洁净厂房的影响主要是影响净化空调系统 新鲜空气的质量，面洁净室（区）围护结构气密性较好的特点，本次 修改为“新风口与交通干道边沿的最近距离宜大于50m”。 4.1.6绿化有良好的吸尘、阻尘作用。洁净厂房周围场地绿化应 以种植草坪为主，小灌木为辅，不宜种植观赏花卉及高大乔木。因 为观赏花多为季节性一年生植物，需经常翻土、播种、移植，从而破 坏植被，反面使尘土飞扬；而高大乔木树冠覆盖面积大，其下部难 以形成植被，也易产生扬尘。 洁净厂房外围宜种植枝叶茂盛的常绿树种。洁净厂房周围绿 化树种应选用不产生花絮、绒毛、粉尘等对大气有不良影响的树种。

4.2工艺平面布置和设计综合协调

4.2.2因生产工艺的不同，洁净厂房内常有多种气体、液体供应 管道，如氢、氧、氮、氢、压缩空气和纯水、上水等管道，以及电气管 线、净化空调系统的送回风管和局部排风管等，管线交叉复杂。因 此，在进行管线综合布置时，必须在平面和标高上密切配合，综合 考虑，才能做到安装、调试、清扫、使用和维修的方便及整齐美观。 对国内已建成的洁净厂房调研中，了解到为布置各种管道和 高效过滤器等一般均设置了技术夹层或技术夹道，大多使用效果 良好，但有的新建工程把技术夹层设计得过高是不经济的。改建 工程由于空间较小，管线布置比较紧凑，但如果布置合理，效果也 是不错的。因此，在进行管线综合布置设计和确定技术夹层层高 时，应进行技术经济比较，做到技术上可靠，经济上合理。 通过原规范实施以来反馈的信息，虽然本条具有确保洁净厂 房安全可靠的作用，但主要还是影响产品质量的提高、成品率高低 和经济性问题，因此本次修订修改为推荐性条文。 4.2.3随着各类产品生产工艺技术的发展，生产自动化程度的提

高和改进，近年来洁净厂房建设中大都采用大开间，以满足生产工 艺要求。 洁净厂房内除考虑生产安全性需增设隔断外，一般不设隔断。 由于本条第2款、第3款的内容只是为了有利于运行管理作出的 规定，故本次修订修改为推荐性条文。

4.3人员净化和物料净化

4.3.1、4.3.2人员与物料进人洁净室会把外部污染物带入室内， 特别是人员本身就是一个重要的污染源，不同衣着、不同动作时的 人体产尘量见表5。从表5中数据可见，身着普通服装的人走动时 的产尘（大于或等于0.5μm)量可达近300×10°pc/（min·人）。根 据国外有关资料报道，洁净室中的灰尘来源分析见表6，来源于人 员因素的占35%。对洁净室空气抽样分析也发现，主要的污染物 有人的皮肤微屑、衣服织物的纤维与室外大气中同样性质的微粒。 由此可见，要获得生产环境所需要的空气洁净度，人员与物料的净 化是十分必要的。 存放雨具、换鞋、存外衣、更换洁净工作服用室是人员净化用 室的基本组成部分，也是人员净化用室的必要部分。生活用室应 现车闻所在地区的自然条件、车间规模及工艺特征等具体情况，根 据实际需要设置。如车间规模较大、人员集中或工艺为暗室操作 的洁净室应设必要的休息室。 鉴于第4.3.1条、第4.3.2条仅为原则性通用规定，本次修订 修改为推荐性条文。

表6清净富内教子亮源分析

表6清净富内粒子亮源分析

4.3.3本条对人员净化用室和生活用室的设计作出规定。

污染。国内多数洁净厂房人员入口处设有擦鞋、水洗净鞋、粘鞋 垫、换鞋、套鞋等净鞋措施。 为了保护人员净化用室的清洁，最彻底的办法是在更衣前将 外出鞋脱去，换上清洁鞋或鞋套。现有洁净厂房工作人员都执行 更衣前换鞋的制度，其中不少洁净厂房对换鞋方式作了周密考虑， 换鞋设施的布置考虑了外出鞋与清洁鞋接触的地面要有明确的区 分，避免了清洁鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式换鞋，清洁平台上 换鞋等都有很好的效果。 2、3外出服在家庭生活及户外活动中积有大量微尘和不洁 物，服装本身也会散发纤维屑，更衣室将外出服及随身携带的其他

物品存放于专用的存外衣柜内。考虑到国内洁净厂房当前的管理 方式和习惯，外出服一般由个人闭锁使用，按在册人数每人一柜计 算是必要的：洁净工作服柜一般也可按每人一柜设计，但也有集中 将洁净工作服存放于洁净柜中的，置于洁净柜中更为理想。为避 免外出服污染洁净工作服，为此本条明确规定存外衣、更换洁净工 作服的房间应分别设置。 4手是交叉污染的媒介，人员在接触工作服之前洗手十分必 要。操作中直接用手接触洁净零件、材料的人员可以戴洁净手套 或在洁净室内洗手。 洗净的手不可用普通毛巾擦抹，因为普通毛巾易产生纤维尘， 最好的办法是热风吹干，电热自动烘手器就是一种较好的选择。 由于人员净化的净鞋措施、存外衣和更换洁净工作服房间的 分隔以及洗手设施的设置，均为了减少基至消除洁净室工作人员 带入的污染物对产品质量的影响，所以本次修订将本条第1款、第 2款、第4款改为推荐性条文。 5工业洁净室设置空气吹淋室的理由是： 1)在一定风速、一定吹淋时间的条件下，空气吹淋室对清除人 员身上的灰尘有明显效果。 本规范编制组进行了“吹淋室效果的测定”的科研项目，对于 经吹淋与不经吹淋两种情况的人员散尘量作了大量的测试对比。 结果表明，吹淋室的吹淋效果，对大于或等于0.5μm的尘粒约为 10%~30%，对大于或等于5μm的尘粒约为15%~35%。 2)吹淋室具有气闸的作用，能防止外部空气进入洁净室，并使 告净室维持正压状态。 3)吹淋室除了有一定净化效果外，它作为人员进入洁净区的 一个分界，还具有警示性的心理作用，有利于规范洁净室人员在洁 净室内的活动。 4国内洁净厂房的现状是：在统计的38个洁净厂房中，约 80%设有空气吹淋室。

关于吹淋室的使用人数，主要最决于每人吹淋所需时间和上 班前人员净化的总时间。参考计算方法：假定洁净室自净时间为 30min，换鞋、更衣占去10min，上班人员总吹淋时间为20min。设 每人吹淋30s，另加准备时间10s，则一台单人吹淋室可供30人 使用。 当最大班使用人数超过30人时，可将两台或多台单人吹淋室 井联布置。 垂直单向流洁净室由于自净能力强，无紊流影响，人员产尘能 迅速被回风带走而不致污染产品，鉴于这种有利条件，也可不设吹 淋室而改设气闸室。 吹淋室旁设通道，可使下班人员和卫生清扫或检修人员的进 出不必通过吹淋室，起到保护吹淋设备的作用，同时也方便检修期 间设备、工具等进出。 洁净室（区）是否设置空气吹淋室，各洁净厂房做法不一，但在 原规范中规定：“空气吹淋室应设在洁净区人员人口处，并与洁净 工作服更衣室相邻。因为本款作为强制性条款，在实施过程中，一 些单位以为“所有洁净室均应设置空气吹淋室”。实际上本款规定 并不是要求所有洁净室均应设置空气吹淋室，只是要求当需设置 空气吹淋室时，应如何设置。为此，本次修订将本款改为推荐性 条款。 7.洁净区内设置厕所不仅容易使洁净室受到污染，还会影响 洁净区的压力控制。原规范规定洁净区内不宜设厕所，为了强测 洁净区内不得设厕所的要求，本次修订将“不宜”改为“不得”，但该 款条文仍为推荐性。人员净化用室内的则所应设在盟洗室之前， 厕所设前室作为缓冲，前室还应放置供人员入厕穿用的套鞋。 4.3.4人员净化应当循序渐进，有一个合理的程序，在净化过程 中，避免已清洁部分被脏的部分所污染。根据目前国内洁净厂房 常用的人员净化程序，本规范提出了一次更衣（暨洗前存外衣）、一 次吹淋的人员净化程序。由于本条第1款只是对洁净厂房中人流

路线的原则性规定，本次修订改为推荐性条文。 4.3.5、4.3.6关于人员净化用室建筑面积控制指标，主要参考了 有关资料提出的面积指标和部分洁净厂房实际采用的指标，并进 行统计后得出的。人员较多时，面积指标采用下限，人员较少时， 面积指标采用上限。 近年来，国内设计、建造的洁净厂房，一般是根据产品生产工 艺要求或洁净厂房的布局情况按相邻洁净室（区）的洁净度等级确 定洁净工作服更衣室的空气洁净度等级，还有一些洁净厂房虽然 设有对洁净工作服更衣室、洁净工作服洗涤室提出空气洁净度等 级要求，但室内采用高效空气过滤送风系统，或将洁净室内的净化 空气部分地引人更衣室、洁净工作服洗涤室。为此，本次修订时对 洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低手相部洁净区1级~2 级和“洁净服洗涤室的空气洁净度等级不宜低手8级”的规定取 消，修改为将更衣室与活净工作服洗涤室对空气净化要求的相关 内容的规定合并在一条内：“宜根据产品生产工艺要求和相邻洁净 室（区）的空气洁净度等级确定”。不再规定具体的“等级”或“等级 范围”。 4.3.7鉴于本条有关物料净化的规定主要涉及影响空气洁净度 或产品生产过程的可能被污染，且在原规范实施过程中一些行业 的洁净厂房设计、建造中执行本条规定难度较大，为此本次修订改 为推荐性条文，

4.4.1洁净室的噪声一般不算高，但数据差额较大，相差近10dB (A)。国内关于噪声对健康影响的研究表明，低于80dB(A)的一 般工业噪声，对健康的影响不太大。因此，洁净室噪声标准的制 订主要考惠噪声的烦恼效应、语言通讯干扰和对工作效率的影 响。 国外洁净室噪声标准的研究工作开始于20世纪60年代。

4.4.1洁净室的噪声一般不算高，但数据差额较大，相差近10dB (A)。国内关于噪声对健康影响的研究表明，低于80dB(A)的一 毅工业噪声，对健康的影响不太大。，因此，洁净室噪声标准的制 订主要考惠噪声的烦恼效应、语言通讯干扰和对工作效率的影 响。 国外洁净室噪声标准的研究工作开始于20世纪60年代。

对国内几个行业不同气流流型洁净室的静态和动态噪声所进 行的分析表明，不同气流流型的静态噪声有较大差异。非单向流 洁净室的静态噪声实测值在41dB(A)～64dB(A)范围内，平均为 54dB(A)；单向流、混合流洁净室的静态噪声实测值在51dB(A)～ 75dB(A)范围内，平均为65dB(A）。非单向流洁净室比单向流洁 净室的静态噪声平均值约低11dB(A）。 由于噪声控制要求是确保人员健康的重要条件，本条为强制 性条文。 4.4.3～4.4.6控制设备噪声首先要从声源上考虑，设计时应选 用低噪声设备。在某些情况下，由于技术或经济上的原因而难以 做到时，则应从噪声传播途径上采取降噪措施，如把高噪声工艺设 备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。有些由于与生产联系密 切，必须置于洁净区内的高噪声设备，亦可采用隔声罩隔绝噪声。 国内现有洁净厂房中，不少洁净室将机械泵一类高噪声设备 置于洁净室外套间或技术夹道内，洁净室内噪声有明显降低。 洁净室的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备 运行噪声，静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有 关。但关键在于净化空调系统的布置及合理的降噪措施，不合理 的设计方案必然导致较高的静态噪声。 关于降低洁净室净化空调系统噪声的措施，国内外有关资料 提出了一些有效的措施： 如《现代洁净室概念》一文中强调“选择那种能满足气流要求 的噪声最低的风机，还应该采用弹性减振基础”。关于消声器的使 用，文中说：“管道消声器在中频和高频范围内降低噪声是有效的， 当风管敷设长度在50ft以内时，就应考虑采用消声器”。关于风 管的连接，文中又说：“通风机和送风管道与回风管道之间，应采用 柔性连接管隔开”。还要求“将通风机外壳、静压箱和管道等加上 衬里”。如北京某大学微电子研究所回风管道在未处理前噪声高 达83.5dB(A)，经过加设衬垫处理后噪声降到66.2dB（A），使光

刻间的室内环境噪声平均下降了7dB(A)～9dB(A)。由此可见， 只要对风道系统采取消声和防止管道固体传声等措施，洁净室噪 声可以大幅度降低。 国内还有不少洁净室，由于系统设计合理，并采取了降噪措 施，室内噪声得到有效控制。 排风系统噪声对洁净室影响极大，以集成电路生产为例，在生 产过程中，外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需设排风系统。近 年来，洁净厂房排风系统的噪声治理日益受到重视，要注意选用低 操声风机等， 由于洁净室内的工作环境要求比较安静，洁净室的密封性能 较好，噪声不易衰减。按规定限制风管风速，既减小了净化空调系 统的阻力，降低了风机压头和转速，减弱了风机的噪声，又防止了 风速过大而产生附加噪声。 如上所述，第4.4.3条第4.4.6条的规定均为洁净厂房设计 中，从平面和空间设计到各类设备、系统及其附属设备等的选择都应 充分考虑噪声控制措施，以确保达到洁净厂房要求的噪声控制值。原 规范中将第4.4.3条、第4.4.4条规定为强制性条文，但在实施中各单 位认为规定过严，可操作性也不强，为此本次修订改为推荐性条文。

4.5.1有微振控制要求的洁净厂房，设计应考虑建筑结构的选型 及地面（楼面)的构造做法，如增加基础及上部结构垂直及横向刚 度，增加地面（楼面)刚度，能有效减小振动影响。此外，还应考虑 振缝设置及其有效的构造措施，壁板与地面及顶棚采用柔性连接等， 均能减小振动传递。即减小了对精密设备、仪器仪表的振动影响。 在洁净厂房设计中，应首先考惠对强振源采取隔振措施，以减 小强振源对精密设备、仪器仪表的振动影响，在此基础上，精密设 备、仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施，就大致 能够达到预定目的

在原规范中，本条为强制性条文，虽然明确规定本条只用于有 微振控制要求的洁净厂房，但由于没有量化的规定，容易引起执行 不准确的问题，实施以来确有此种情况发生，为此本次修订将本条 改为推荐性条文。 4.5.4精密设备、仪器仪表的被动隔振措施，由隔振台座及隔振 器（或隔振装置）组成。根据隔振设计计算需要，设定隔振台座为 不变形刷体，为此应对隔振台座的形状、几何尺寸及材质选用等方 面加以考虑，使之具有足够的度。 某些精密设备、仪器仪表在运行时，由于移动部件位置变化或 加工、测试件的质量及质心位置变化，使各隔振器的变形量不相 等，隔振台座发生倾斜，导致精密设备、仅器仪表难以正常工作。 为此，应设置校正倾斜装置，使隔振台座保持原有的水平度，以保 证精密设备、仪器仪表的正常运行。 隔振系统阻尼过小，会产生较大的自振，以及受外界突发干扰 （如对隔振台座的冲击、室内气流的扰动影响等），造成隔振台座见 动，这种振动值有时会大于精密设备、仅器仅表的容许振动值，影响 其正常运行。为此应增大隔兼系统阻尼值，才能赢小此类振动。通 过多项工程实践表明，隔振系统阻尼比不小于0.15是比较恰当的。 4.5.5空气弹费的垂直间、横间刚度很低，使需振系统具有很低 的固有振动频率，同时它具有可调节阻尼值的特性，隔振系统可获 得需要的阻尼，因此，隔报系统具有良好的隔振效果。当配用高精 度控制阀时，可自动校正隔振台座的倾斜。由于空气弹簧具有其 他隔报材料及隔振器不可替代的优越性，已被我国及国际工程界 普遍采用作为精密设备、仪器仪表的隔振元件。 用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器、 高精度控制阀、仪表箱及气源组成。由于空气弹簧隔振装置在校 正隔振台座倾斜时会排出气体（如压缩空气、氮气等），因此对气源 应进行净化处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级，才能保证排 出的气体不致对洁净室造成污染

5.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性，为 生产工艺的调整创造条件。本条规定是指在不增加面积、高度的 情况下，进行局部的工艺和生产设备调整，在这种情况下，厂房内 墙的可变性就是一个重要的措施，为此，本条规定不宜采用内墙承 重体系。 5.1.3主体结构要具备同建筑处理及其室内装备和装修水平相 适应的等级水平。若室内装备与装修水平高，面主体结构为临时 的，就会形成严重的浪费。本条规定着重于使洁净厂房在耐久性、 装修与装备水平、耐火能力等几个方面相互协调，使投资长期发挥 作用。此外，温度或沉陷不但可能影响安全，而且还会破坏建筑装 修的完整性及围护结构的气密性，故须对主体结构采取相应措施。 5.1.5对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，在考患其平面 布局和构造处理时，应合理组织人流、物流运输及消防疏散线路， 避免一般生产对洁净生产带来不利的影响。当防火方面与洁净生 产要求有冲突时，应采取措施，在确保消防疏散的前提下，减少对 洁净生产的不利影响。

5.2.1洁净厂房虽不同于一般工业厂房，但在材料与构造的耐火 性能以及火灾的火势形成、发展与扩散等基本特性方面，两者都基 本一致。所以现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016中不 少条文同样适用于洁净厂房。本节主要结合洁净厂房的下列特 点，对于防火规范尚未包括或者不全适合的部分做必要的补充：

(1)空间密闭，火灾发生后，烟量特大，对于疏散和扑教极为不 利。同时由于热量无处泄漏，火源的热辐射经四壁反射室内迅速 升温，大大缩短了全室各部位材料达到燃点的时间。 当厂房外墙无窗时，室内发生的火灾往往不容易被外界发现， 发现后也不容易选定扑数突装口。 (2)平面布置曲折，增加了疏散路线上的障碍，延长了安全疏 散的距离和时间。 （3)若干洁净室都通过风管彼此串通，当火灾发生，特别是火 势初起未被发现而文继续送风的情况下，风管成为烟、火迅速外 审，狭及其余房间的重要通道。 （4）室内装修使用了一些高分子合成材料，这些材料在燃烧时 产生浓烟，散发毒气。有的燃烧速度极快。 （5）某些生产过程使用易燃易爆物质，火灾危险性高。如甲 醇、甲苯、丙酮、丁酮、乙酸乙酯、乙醇、甲烷、二氯甲烷、硅烷、异丙 醇、氢等都是甲、乙类易燃易爆物质，对洁净厂房构成潜在的火灾 威助， 此外，洁净厂房内往往有不少极为精密、贵重的设备，建设投 资十分昂贵，一且失火，损失极大。 鉴于以上几方面的特点，为了保障生命、财产的安全，尽量减 少火灾中的损失，本规范分别从防止起火与延烧，便利疏散与抢敦 这两个方面补充提出若干条文，强调了建筑耐火等级与防火分隔， 对于防火墙间占地面积与疏散路线提出较严格的要求。这部分规 范编制工作在公安部有关部门指导下进行。本部分规定不包括防 爆措施。 分析洁净厂房火灾实例可以发现，严格控制建筑物的耐火等 级十分必要。本条规定将洁净厂房耐火等级定为二级及二级以 上，使建筑构配件耐火性能与甲、乙类生产相适应，从而减少成灾 的可能性。本条为强制性条文。 5.2.2由于本规范附录B中仅仅是洁净厂房生产工艺间的火灾

危险性类别举例，表中的实例不可能十分全面，也没有包含各行各 业的各类洁净厂房的生产工艺间，即使已经列人表中的生产工艺 间也会随着科学技术发展、新设备、新工艺的出现有所变化，所以 本次修订将本条改为推荐性条文。

5.2.3本条对防火分区最大允许建筑面积作出规定

(1)限制防火分区的面积，一是可以控制火灾蔓延，减少损失；二 是便于扑教，使消防人员既容易在现场寻找火源，也容易安全撤离。 防火墙间允许面积的大小应视厂房的情况与生产火灾危险性确定。 (2)据调查统计，甲、乙类洁净厂房多数情况下，其占地面积， 单层厂房在2500m以下，多层厂房不超过1500m。考虑略留余 地，则将防火分区允许占地面积规定为3000m（单层）和2000m （多层）；与现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016甲类生产 的二级耐火建筑物允许占地面积相吻合。由于甲、乙类生产往往 混杂一处，故本条规定不再予以严格区分。本条规定为宜为 3000m（单层）和2000m（多层），既考虑了洁净厂房的特点作了 较严格的规定，又为执行中因具体情况确有困难时，应在确保疏散 距离的前提下仍可放宽，按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定执行， （3)丙、丁、戊类洁净厂房的防火分区最大允许面积，本次修订 中规定应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016，不再 作较严格的规定，这是因为本规范第5.2.1条规定“洁净厂房耐火 等级不应低于二级”，已作了较严格的规定，可减少成灾的可能性。 近年来，随着科学技术的发展，一些生产高新技术产品的洁净厂 房，为了提高生产效率、产品质基，采用了大体量、大跨度的厂房布 局，一些洁净厂房的建筑面积时有接近或超过规范规定的防火分 区最大允许面积的情况发生，在2008年12月发布的现行国家标 准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472中，已规定对丙类电子 工厂洁净厂房的防火分区面积限值在规定条件下可以按产品生产 工艺要求确定。所以本次修订本条修改为推荐性条文。

5.2.4本条为强制性条文。洁净室的顶棚和壁板，为避免因室内净厂房设置专用消防口作了强制性规定。或室外一方发生火灾映及另外一方，须规定其燃烧性能，即虽不能5.2.11由于洁净厂房外墙上的吊门、电动自动门以及装有栅栏的要求它与土建式顶棚或隔墙具有同样耐火极限，至少也须要求它窗，一般设有手动、自动控制装置或固定栅栏，为此本条规定此类的燃烧性能同建筑物相一致，即采用不燃烧体，且不得采用有机复门、窗不应作为消防人员进入洁净厂房的入口，并作为强制性条文。合材料，以避免燃烧时产生室息性气体、有害气体等。根据实施中5.3室内装修的实际需要，在条文中增加了对壁板的耐火极限规定。目前国内外制造厂家生产的洁净室用金属壁板，大部分均能满足上述要求。5.3.1材料在温度、湿度变化时易引起变形而导致缝隙泄漏或发5.2.5控制了防火分区占地面积后，还需要在个防火分区内将尘，不利于确保室内洁净环境。洁净室（区)内，某些产品的生产过洁净区与非洁净区之间设置防火分隔，本条规定防火分隔应为不程中可能发生因所用材料释放至空气中的化学污染物对产品质量燃烧体，并规定了耐火极限，主要是从保护洁净区的财产安全出的影响，为此本条作了相关的补充规定。由于本条的规定均只涉发。为此，本条作为强制性条文。及产品质量或成品率的提高，所以本次修订改为推荐性条文。5.2.6洁净厂房的技术竖井是布置相关管线的垂直管廊，贯通各5.3.2制订本条的目的主要在于尽量减少洁净室内积尘面（特别个楼层，为防止一且发生火情后，洁净厂房的各层相应火势串通，是水平凹凸面），以免在室内气流作用下引起积尘的二次飞扬，污本条对技术竖井耐火要求、分隔、管线空隙填堵作了强制性规定染室内洁净环境。由于本条第1、2款仅涉及洁净室的建造质量，5.2.7对于设置一个安全出口的条件，甲、乙类生产间同现行国并且近年来的工程实践表明，只要设计时十分重视和明确要求，是家标准《建筑设计防火规范》GB50016中的100m、150m*相比，本可以得到保证的。所以本次修订改为推荐性条文。条均按100m，这是考患即便100m的洁净室也不算小，已能容纳5.3.3本条第1、2款由于仅涉及洁净室的建造质量，所以本次修相当数量的贵重装置，须有良好的疏散条件，所以作了较严格的规订改为推荐性条文。定。本条为强制性条文。5.3.5当洁净室（区）和人员净化用室设有外窗时，为防止作业人5.2.8人员净化程序多，连同生活用室在内包括有换鞋、更衣、盟员随意开启直接通向室外环境的外窗而引发室外空气的严重污洗、吹淋等用室。布置上要避免路线交叉，于是往往形成从人员入染，作了本条强制性的规定。口到生产地点的曲折迁回路线。因此，一且发生火灾，把这样曲折5.3.6洁净室内门开启方向的规定是鉴于洁净区内各房间空气的人员净化路线当作通往安全出口的通道是不恰当的，所以作了洁净度要求及其室内送风量与风压有所不同，高洁净度房间相对本条的强制性规定。于低洁净度房间（或走廊)保持一定压差值，为使门扇能关闭紧密，5.2.9安全疏散门是关系到人员安全疏散的重要条件之一，为此门扇应朝向洁净度高的房间开启。条文中所以用"应”而不用“宜”本条对洁净室（区)的安全疏散门作了强制性的规定。是考虑某些洁净生产房间的生产工艺存在火灾危险，为安全疏散5.2.10洁净厂房空间密闭，设有人员净化和物料净化设施，火灾要求，其门扇应向外开。发生后，扑数极为不利。洁净厂房同层外墙设通往洁净区的门窗5.3.7本条中所指密闭措施包括：密封胶嵌缝、压缝条压缝，纤维或专用消防口后，可方便消防人员的进人及扑救，为此，本条对洁布条粘贴压缝，加穿增套管等。本条第1款与第5.3.2条相似，所. 72· 73*

以本次修订改为推荐性条文。 5.3.8洁净室采光多需借助人工照明，再加上室内空气循环使 用，因此从人体卫生角度分析，其环境条件是较差的。为了改善环 境，减少室内员工疲劳，故应特别注意室内建筑装修的色彩。 本条中有关室内表面材料的光反射系数的规定是根据现行国 家标准《工业企业采光设计标准》GB50033以及参考国外有关室 内表面推荐光反射系数的资料制订的。室内表面反射率的大小不 但直接影响工作面上的照度水平，面且对整个室内亮度分布起着 决定性作用。考惠到洁净厂房一般工作精度较高，为减少视疲劳， 改善室内的光照环境，因而需要有一个明亮的室内空间。为此，洁 净室的墙面与顶棚需采用较高的光反射系数。 5.3.9空气洁净度等级要求较高的洁净室，其墙板和顶棚宜采用 轻质壁板构造。轻质壁板连接构造的整体性和气密性是很重要 的，整体性除靠板与板之间的雌雄槽紧密组合外，还靠上下马槽和 板之间的严密结合，使洁净室形成一个完整的匣体。板壁之间的 接缝应以硅橡胶等密封材料嵌缝密封，它的作用是防止灰尘在停 机时从此进人室内，同时使洁净室在正常工作时易于保持正压，减 少能量的损耗。此外，洁净室的关键密封部位是高效过滤器之间 或高效过滤器与其安装骨架之间的缝隙，一定要绝对密封。目前 国内使用的密封方法很多，如液槽密封、机械压垫密封等，但必须 做到涂抹或填嵌方便，操作简单，而且还要考虑更换高效过滤器时 方便拆装。总之，没有经过高效过滤器过滤的空气绝对不允许直 接进入洁净室内。洁净室顶棚用轻质壁板应具有一定的承重能 力，以便施工、运行时人员行走。 5.3.10洁净室（区）内所选用的装修材料除应符合现行国家标准 建筑内部装修设计防火规范》GB50222的规定外，还应符合现行 国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627 的有关规定，为此本条对洁净厂房用装修材料的燃烧性能和烟密 作了强制性规定。

率，在洁净室生产工艺对环境的温、湿度没有特殊要求时，洁净室 内的温度主要是为了作业人员的舒适。因此，洁净室温度冬季为 20℃～22℃，夏季为24℃~26℃，湿度冬季为30%～50%，夏季为 50%～70%，比较适宜。由于洁净室（区)的温度、相对湿度首先应 按生产工艺要求确定，只有在生产工艺无要求时，汁能按本条的规 定根据作业人员的舒适度确定，但在本规范实施中因洁净厂房生 产的产品多种多样，作业人员多少和工作条件也不相同，所以强制 执行有困难，为此本次修订改为推荐性条文。 6.1.5本条为强制性条文。现行国家标准《采暖通风与空气调节 设计规范》GB50019中对一般工业厂房的新鲜空气量的规定为每 人每小时不小于30m"。由于新鲜空气量是确保洁净室（区）作业 人员健康的重要条件之一，所以本次修订中对洁净室（区）的新鲜 空气量规定为应取补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空 气量之和，保证供给洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小 于40m。两项中的量大值

6.2.1为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时， 气流都能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域，使洁 净室的洁净度不会受到污染空气的干扰，所以洁净室必须保持一 定的压差。 在国内外洁净室标准和洁净度等级中，对洁净室内压差值的 大小都作了明确规定。 压差值的大小应选择适当。压差值选择过小，洁净室的压差 很容易破坏，洁净室的洁净度就会受到影响。压差值选择过大，就 会使净化空调系统的新风量增大，空调负荷增加，同时使中效、高 效过滤器使用寿命缩短，故很不经济。另外，当室内压差值高于 50Pa时，门的开关就会受到影响。因此，洁净室压差值的大小应 根据我国现有洁净室的建设经验，参照国内外有关标准和试验研

风速的相关数据基本合理，编写组结合国内的实际状况作了必要 的调整，现将表B.2摘录于表8。

表8微电子洁净室实例

旺：1 制定最佳设计条件之前，首先应明确使用环境的ISO版别有关的占用 状态， 2气流流型得号的意义：U为单向流流型；N为非单向流流型，M为混合流流 型（单向流和非单向流的组合流型）： 3平均风速通常适用于单向流流型，单向流平均流速大小与额控制空间的 形状和热气流温度有关。单向流流速不是指过滤器面风速； 4 单位面积送风量适用于非单向流流型和混合流流型，单位面积送风量的 推荐值造用于层高为3.0m的错净室： 5 在洁净室设计中频考惠密封措施； 6对于污染源以及污染区可用照板或空气幕予以有效分隔。 由于本条规定的洁净送风量主要是依据目前国内外的实际状 况的经验总结，各类工业产品的生产工艺的差异和不断进步，使其 洁净室的送风量有所差异，所以本次修订将本条改为推荐性条文

4.1近年来，我国各类洁净厂房中所采用的空气过滤器品种

6.4.1近年来，我国各类洁净厂房中所采用的空气过滤器品种

布置和安装方式均发生了较大变化，特别是一些外资、合资企业和 空气洁净度等级要求十分严格的洁净厂房变化尤为明显。为了有 利于本规范的实施，本次修订将本条第1～4款改为推荐性条文。 6.4.3在工艺生产过程不产生有害物时，净化空调系统在保证新 鲜空气量和保持洁净室压差的条件下，为了节约能源，应尽量利用 回风。而单向流洁净室的换气次数大，当机房距单向流洁净室较 远时，可以使一部分空气不回机房而直接循环使用。近年来，一些 高洁净等级的单向流洁净室采用新风集中处理十FFU净化空调 系统，它是由多台风机过滤器单元设备组成实现洁净室回风的直 接循环，如图2所示。

图2风机过逆器单元送风方式（FFU）示意图

当生产工艺过程产生大量有害物质，局部排风又不能满足卫 生要求，并对其他工序有影响时，才能采用直流式净化空调系统。 因为当车间内的有害物质不能全部排除时，如再使其循环使用，则 会造成车间内的有害物浓度越来越大，对人员健康及生产有影响， 故应采用直流式净化空调系统。 5.4.4在净化空调系统中，考虑到系统的阻力变化影响其风量等 因素，风机采用变频调速装置作恒定风量或定压控制，通常由高效

过滤器的压差变化控制变频装置，一些单位的实践说明，使用后 有明显节能效果。 6.4.5由于原规范本条部分内容与第9.4.3条重复，本次修订中 将有关电加热器等内容移至第9.4节。 本条规定所指的寒冷地区是处于建筑气候区划一级区中I区 (1月平均气温小于或等于一10℃）和Ⅱ区（1月平均气温一10℃～ C)的地区，在此类地区的新风系统采用防冻措施，是为了防止新 风机组表冷器冻型

6.5采暖通风、防排烟

6.5.1对国内现有洁净室的调研看到，为防止散热器引发的污 染，除少数改建工程仍采用原有散热器作洁净室采暖外，新建洁净 室没有采用散热器采暖的，考虑到技术的发展，本条规定了包括8 级和8级以上洁净室不应采用散热器采暖，为此本条作为强制性 条文。 6.5.3对于局部排风系统单独分开设置的规定是为了防止排风 系统中的易燃、易爆、有毒、腐蚀性介质的相互渗混、交叉污染，诱 发各种安全事故，并参照现行国家标准《采暖通风与空气调节设计 规范》GB50019的规定制定，本条为强制性条文。 6.5.4国内大部分洁净室的排风装置都设置了防倒灌措施，防止 净化空调系统停止运行时，室外空气倒流入洁净室，引起污染或积 尘。工程中常采取的防倒灌措施：一是采用中效过滤器，其结构比 较简单，维护管理方便；二是采用止回阀，其使用方便，无须经常维 修管理，但密封性较差；三是采用密闭阀，其密封性好，但结构复 杂，要人工经常操作管理；四是采用白动控制装置。本条涉及洁净 厂房内排风系统的安全、稳定运行，所以规定为强制性条文。 6.5.5厕所、换鞋、存外衣、盟洗和淋浴等辅助房间是产生灰尘、 臭气和水蒸气的地方，紧靠洁净区，若处理不当，将会使这些有害 物渗人洁净室，污染洁净室。本条是确保洁净室（区)不被这些辅

助房间污染的规定，鉴于具体做法也没有量化的静压值规定，本次 修改为推荐性条文。通风措施的做法一般宜采用下述方式： （1）送人经过中效过滤器过滤后的洁净空气； （2）送人洁净室多余的回风或正压排风； （3)在厕所或浴室内采用机械排风。 6.5.6鉴于事故排风是保证生产安全和员工安全的一项必要指 施，所以按照现行国家标准《采暖通风与空气调节设计规范》GB 50019的规定应设计事故排风装置。本条是确保洁净厂房安全运 行的重要条件之一，所以规定为强制性条文。 6.5.7从近年来国内建造的洁净厂房的调研资料可以看出，一部 分洁净厂房为确保人员疏散的安全性，在疏散走廊设置了机械排 烟或加压送风系统，如三星视界有限公司，深圳大学实验楼，赛格 日立等。洁净厂房的疏散走廊及其长度，依据具体工程项目的不 同位置，差异较大，难于统一。本规范实施以来的洁净厂房设计建 造均在疏散走道设置了机械排烟系统，为此，本条第1款规定在疏 散走廊应设置机械排烟系统，并作为强制性条款。 本条第2款规定了各类产品生产用洁净厂房应按现行国家标 准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定设置排烟设施，这是 由于各行业洁净厂房内产品生产工艺、使用要求和布置均不相同， 在本规范中很难作出统一的“排烟设施的规定”，所以本款为推荐 性条款。

6.6.1新风管上的调节阀用于调节新风比；电动密闭阀用于空调 机停止运行时关闭新风。回风总管上的调节阀用于调节回风比。 送风支管上的调节阀用于调节洁净室的送风量。回风支管上的调 节阀用于调节洁净室内的正压值。空调机出风口处的密闭调节阀 用于并联空调机停运时的关闭切断，也可用于单台空调机的总送 风量调节。排风系统吸风管段上的调节阀用于调节局部排风量，

排风管段上的止回阔或电动密闭阀等用于防止室外空气倒灌。 6.6.2参照现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关 条文，并结合洁净室情况作出的本条规定。风管穿过变形缝有三 种情况：一是变形缝两侧有防火隔墙，二是变形缝一侧有防火隔 ，三是变形缝两侧没有防火隔墙。规范条文是按第一种情况两 侧设置防火阀。通风系统的防火阀是在一且出现火情时，防止火 势蔓延的主要手段，为此本条为强制性条文。 6.6.3从不影响空气净化效果及经济两个方面考，净化空调系 统风管与附件的制作材料是随着输送空气净化程度的高低而定 的。洁净度高的选用不易产尘的材料，洁净度低的选用产尘少的 材料。 排风系统风管与附件的制作材料是随着输送气体的腐蚀性程 度的强弱而定。 6.6.4净化空调系统的送、回风及排风系统消声措施的设置，应 根据系统设置的实际情况，经计算是否满足室内外噪声标准，确定 消声措施的设置，故本条改为推荐性条文。 6.6.5在各级空气过滤器的前、后设测压孔或安装压差计，便于 运行中随时了解各级空气过滤器的阻力变化情况，以便及时清洗 或更换。 6.6.6风管及附件的不燃材料是指各种金属板材，难燃材料是指 氧指数大于或等于32的玻璃钢。风管保温和消声的不燃材料是 指岩棉、玻璃棉等，难燃材料是指氧指数大于或等于32的聚氮酯 （聚苯乙烯）泡沫塑料、橡塑海绵等。穿越防火墙及变形缝防火隔 墙两侧各2000mm范围内的风管和电加热器前、后800mm范围 内的风管的保温材料和垫片、粘结剂等，均应采用不燃材料或难燃 材料。本条规定了风管及附件、辅助材料的耐火性能，所以规定为 强制性条文。

7.1.1洁净厂房内管道的敷设方式直接影响洁净室的空气洁净 度，因此，条文中首先要求管道尽量在洁净室外敷设，以最大限度 地减少洁净室内的管道。目前，洁净厂房的管道布置形式有： (1)各种干管布置在技术夹层、技术夹道、技术竖井内。特别 是有上、下夹层的洁净厂房，给水排水干管大都设在下夹层内。 (2)暗装立管可布置在墙板、异型砖、管槽或技术夹道内。 (3)支管由于管或立管引人洁净室，最好从上、下夹层引入 20cm～30cm与设备二次接管相连。 (4)安装在技术夹道内的管道及阀件，可明装也可暗装在壁柜 内。壁柜上适当设活动板，便于检修。 7.1.2洁净厂房均为恒温恒湿房间，而生产工艺需要的给水排水 管道又有不同的水温要求，管内外的温差使管外壁结露，影响室内 温湿度。因此，对于有可能结露的管道应采取防结露措施是必要 的。 对于防结露层外表面，可以采用镀锌铁皮或铝皮作外壳办公楼标准规范范本，便于 清洗，并不产生灰尘。 7.1.3穿管处的密封是保证洁净室空气洁净度的重要一环。本 条规定主要是防止洁净室外未净化空气渗入室内；洁净室内的洁 净空气向外渗漏也会造成能量的浪费，基至影响室内的洁净度。 实践证明，采用套管方式是行之有效的。当实在无法做套管的部 位（如软吊项)也应采取严格的密封措施。主要的密封方法有微孔 海绵、有机硅橡胶、橡胶圈及环氧树脂冷胶等。

7.2.1洁净厂房内的生产工艺一般为超精细加工或要求无菌无 尘，对给水系统要求较为严格，如大规模集成电路的超纯水、医药 工业的无菌水等。而且有的水系统的造价高、管理要求严格，因此 应根据不同的要求设置系统（如纯水的不同水质要求，冷却水的不 同水温、水质要求等），以便重点保证要求严格的系统，也利于管理 和节省运转费用。 目前设在洁净厂房中的生产工艺大多为技术发展迅速的工 业，如大规模集成电路、生物制药等。这些生产部门产品升级换代 快，生产工艺变化多。因此，在管道设计中应留有充分的余量。 7.2.2、7.2.3这两条都是为了保证工艺所要求水质的措施。 随着生产工艺对纯水水质的不断提高，甚至到了理论纯水的 程度，尤其是集成电路的发展不但对水中电解质的含量要求极其 严格，而且对细菌、微粒、有机物及落解氧等都有极其产格的要求 医药工业中要求供应的注射用水，对水中含菌量、热源均有严格要 求。除了严格的纯水制造过程外，纯水输送管道的管材选择和管 网设计是保证使用点水质的关健。 实践证明，采用循环供水方式是行之有效的。主要是基于保 证输水管道内的流速和尽量减少不循环段的死水区，以减少纯水 在管道内的停留时间，减少管道材料微量溶出物（即使目前质量最 好的管道也会有微量物质落出）对超纯水水质的影响，同时，基于 流水不腐的道理，高的流速也可以防止细菌微生物的滋生。 条文中有关要求及数据系根据国内外有关资料并结合近年设 计、运行经验提出的。 在纯水管材选择方面，主要应考虑三方面的因素： (1)材料的化学稳定性：纯水是一种极好的溶剂，为了保证在 输送过程中纯水水质下降最小，必须选择化学稳定性极好的管材， 也就是在所要求的纯水中的溶出物最小。溶出物的多少应由材料

的出试验确定，其中包括金属离子、有机物的落出。 (2)管道内壁的光洁度：若管道内壁有微小的凹凸，会造成微 粒的沉积和微生物的素殖，导致微粒和细菌两项指标的不合格。 目前PVDF管道内壁粗稳度可达小于1μm，而不锈钢管约为几十 微米。 (3)管道及管件接头处的平整度：对于防止产生流水的涡流区 是非常重要的。 本规范适用于各类洁净厂房的设计，而各类产品生产工艺对 纯水水质的要求差异较大，其纯水管材的选择主要是与水质相关， 同时还应价廉、方便施工，为适应各类产品发展的需要和选择的灵 活性，本次将纯水管道管材的选择修改为“应符合生产工艺对水质 要求，可选择不锈钢管或工程塑料管”，而不列出具体的工程塑料 管的品种。 由于第7.2.2条对纯水系统设计作出的规定都是为了确保输 送到达用户设备的纯水水质，以满足各类产品生产的需要，这些措 施的规定均只涉及产品质量和成品率等，为此本次修改为推荐性 条文。 7.2.4定期清洗是保证管道内水质的重要手段，主要是防止长期 运行后，内壁产生沉积物及微生物积案使水质下降

7.3.1本条是对洁净厂房排水系统的原则性规定，没有涉及具体 限值或界限等方面的规定，实施表明可改为推荐性条文。 7.3.2、7.3.3洁净室内重力排水系统的水封和透气装置对于维 持洁净室内各项技术指标是极其重要的。除了对于一般厂房防止 臭气逸入外，对于洁净室若不能保持水封会产生室内外的空气对 流。在正常工作时，室内洁净空气会通过排水管向外渗漏；当通风 系统停止工作时，室外非洁净空气会向室内倒灌，影响洁净室的洁 净度、温湿度，并消耗洁净室的能量。鉴于洁净室内的排水设施直

接及空气落净度和净室的安全稳定运行水泥标准规范范本，为此，规定第7.3.2 条和第7.3.3条的第1款、第4款为强制性条（款）。 7.3.4本条是为了从各个方面维护洁净厂房的洁净度而制订的。 一般洁净厂房内的卫生器具均采用白陶瓷或不锈钢制品，而不用 水磨石或水泥制作。明露的卫生器具和工艺设备配件尽量选用高 档的镀铬或工程塑料制品等表面光滑易于清洗的设备、附件。地 漏采用专用洁净室用地漏。 7.3.5考虑到洁净厂房内设备、仪器贵重或其制成品价值昂贵， 消防后应尽快排除积水，特别是仓库、夹层等场所更应避免积水浸 泡，减少损失

7.4消防给水和灭火设备