GB 50073-2013  洁净厂房设计规范(完整正版双页扫描、清晰无水印)

6.1.6洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器，但空气洁净 度等级为1级～5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系 统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷，吸尘口应加盖封堵。 6.1.7净化空调系统设计对维护管理的要求应符合本规范附录 C的规定。

6.2.1洁净室区)与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工 艺要求决定维持正压差或负压差。 6.2.2不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非 洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于 10Pa, 6.2.3洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特 点，宜采用缝隙法或换气次数法确定。 6.2.4送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程 序应先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时联锁程序应相 反。 负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。 6.2.5非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送 风，并应进行净化空调处理。

6.3气流流型和送风量

6.3.1气流流型的设计应符合下列规定

1洁净室（区）的气流流型和送风量应符合表6.3.3的要求。 空气洁净度等级要求严于4级时，应采用单向流；空气洁净度等级 为4级～5级时胶合板标准，应采用单向流；空气洁净度等级为6级～9级时， 应采用非单向流。 2洁净室工作区的气流分布应均勾。 3洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求。

6.3.2洁净室的送风量应取下列三项中的最大值： 满足空气洁净度等级要求的送风量。 2 根据热、湿负荷计算确定的送风量。 3 按本规范第6.1.5条的要求向洁净室内供给的新鲜空 气量。 6.3.3为保证空气洁净度等级的送风量，应按表6.3.3中的有关 数据进行计算或按室内发尘量进行计算

表6.3.3气流流型和送风量

注急气次数适用于层高小于4.0m的造净富

2应根据室内人员、工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值。 6.3.4洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净 度的影响，并应符合下列规定： 1单向流洁净室内不宜布置洁净工作台，非单向流洁净室的 回风口宜远离洁净工作台。 2需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。 3有发热设备时，应采取措施减少热气流对气流分布的 影响。 4 余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。

空气过滤器的选用、布置和安装方式应符合下列规定： 空气净化处理应根据空气洁净度等级合理选用空气过

6.4.1空气过滤器的选用、布置和安装方式应符合下列规

1空气净化处理应根据空气洁净度等级合理选用空气过

滤器。 2空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。 3中效或高中效空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。 4亚高效过滤器和高效过滤器作为末端过滤器时宜设置在 净化空调系统的末端，超高效过滤器应设置在净化空调系统的 末端。 5设置在同一洁净室内的高效（亚高效、超高效）空气过滤器 的阻力、效率应相近。 6高效（亚高效、超高效）空气过滤器安装方式应严密、简便 可靠，易于检漏和更换。 5.4.2对教大型的洁净厂房的净化空调系统的新风宜集中进行 空气净化处理。 6.4.3净化空调系统设计应合理利用回风。 6.4.4净化空调系统的风机宜采取变频措施。 6.4.5严宝及宝冷地区的新风系结应设置防连保护措施

6.5.1空气洁净度等级严于8级的洁净室不得采用散热器采暖。 6.5.2洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风 装置。 6.5.3在下列情况下，局部排风系统应单独设置： 1排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危 险性和发生交叉污染。 2排风介质中含有毒性的气体。 3排风介质中含有易燃、易爆气体。 6.5.4洁净室的排风系统设计应符合下列规定： 1应防止室外气流倒灌。 2含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按物理化学性质来 取相应的防火防爆措施。

3排风介质中有害物浓度及排放速率 迎色家地区用售 物排放浓度及排放速率规定时，应进行无害化处理。 4对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，应设坡度及排 放口。 6.5.5换鞋、存外衣、盘洗、厕所和淋浴等生产辅助房间应采取通 风措施，其室内的静压值应低于洁净区。！ 6.5.6根据生产工艺要求应设置事故排风系统。事故排风系统 应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室内、外 便于操作处。

6.5.7洁净厂房排烟设施的设置应符合下列规定：

1洁净厂房中的疏散走廊应设置机械排烟设施。 2洁净厂房设置的排烟设施应符合现行国家标准《建筑设计 防火规范》GB50016的有关规定，

1风管穿越防火分区的隔墙处，穿越变形缝的防火隔墙的 两侧。 2 风管穿越通风、空气调节机房的隔墙和楼板处。 3垂直风管与每层水平风管交接的水平管段上。 6.6.3净化空调系统的风管和调节风阀、高效空气过滤器的保护 网、孔板、扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应符合输送空气的 洁净度要求及其所处的空气环境条件的要求。 洁净室内排风系统的风管和调节阀、止回阀、电动密闭阀等附 件的制作材料和涂料，应符合排除气体的性质及其所处的空气环 境条件的要求。

1净化空调系统、排风系统的风管应采用不燃材料。 2排除有腐蚀性气体的风管应采用耐腐蚀的难燃材料。 3排烟系统的风管应采用不燃材料，其耐火极限应大于 0.5ho 4附件、保温材料、消声材料和粘结剂等均采用不燃材料或 难燃材料。

7.1.1洁净厂房内的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹 道内，也可埋理地敷设。洁净室内管道宜暗装，与本房间无关的管道 不宜穿过。 7.1.2管道外表面可能结露时，应采取防护措施。防结露层外表 面应光滑，易于清洗，并不得对洁净室造成污染。 7.1.3管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时应设套管，管道和套 管之间应采取可靠的密封措施。无法设置套管的部位也应采取有 效的密封措施

7.1.1洁净厂房内的给水排水十管应数设在技术夹层或技术夹 道内，也可埋理地敷设。洁净室内管道宜暗装，与本房间无关的管道 不宜穿过。 7.1.2管道外表面可能结露时，应采取防护措施。防结露层外表 面应光滑，易于清洗，并不得对洁净室造成污染。 7.1.3管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时应设套管，管道和套 管之间应采取可靠的密封措施。无法设置套管的部位也应采取有 效的密封措施。

7.2.1洁净厂房内的给水系统应符合生产、生活和消防等客项用 水对水质、水温、水压和水量的要求，并应分别设置。管道的设计 应留有余量，以适应工艺变动。 7.2.2水质要求较高的纯水供水管道应采用循环供水方式，并应 符合下列规定： 1循环附加水量应为使用水量的30%～100%。 2干管流速应为1.5m/s~3m/s。 3 不循环的支管长度应尽量短，其长度不应大于6倍管径。 4 供水干管上应设有清洗口。 5 管道系统各组成部分应密封，不得有诊气现象。 7.2.3 管材选择应符合下列规定： 纯水管道的管材应符合生产工艺对水质的要求，可选择不 锈钢管或工程塑料管

2工艺设备用循环冷却给水和回水管可采用热镀锌钢管、不 锈钢管或工程塑料管等。 3 管道配件应采用与管道相应的材料。 7.2.4 循环冷却水管道应预留清洗口。 7.2.5 洁净厂房周围应设置酒水设施。

7.3.1排水系统应符合工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等 要求。有害废水应经废水处理，达到国家排放标准后排出。 7.3.2洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备， 必须在其排出口以下部位设水封装置，排水系统应设有完善的透 气装置。

7.3.1排水系统应符合工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等 要求。有害废水应经废水处理，达到国家排放标准后排出。 7.3.2洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备， 必须在其排出口以下部位设水封装置，排水系统应设有完善的透 气装置。

7.3.1排水系统应符合工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等

7.3.3洁净室内地漏等排水设施的设置应符合下列规定

1空气洁净度等级严于6级的洁净室内不应设地漏。 26级活净室内不宜设地漏，如必须设置时，应采用专用 地漏。 3 空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不宜设排 水沟。 4 空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不应穿过排 水立管，其他洁净室内穿过排水立管时不应设检查口。 7.3.4洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清洗的卫生设备 管道、管架及其附件。 7.3.5洁净厂房宫设置消防排水设施

7.3.5洁净厂房宜设置消防排水设施，

7.4消防给水和灭火设备

7.4.1洁净厂房必须设置消防给水设施，消防给水设施设置设计 应根据生产的火灾危险性、建筑物耐火等级以及建筑物的体积等 因素确定。 7.4.2洁净厂房的消防给水和固定灭火设备的设置应符合现行

1应按输送介质的物化性质，合理确定管内物料流速和 管径。 2在满足生产工艺的条件下，管道系统应尽量短。 3应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。 4管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。 8.1.4工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。 管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。 8.1.5可燃气体管道、氧气管道的末端或最高点均应设置放散 管。放散管引至室外应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的 措施。 8.1.6气体净化装置的选择和配置应符合气源和生产工艺对气 体纯度的要求。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。 8.1.7气体过滤器的选择和配置应符合生产工艺对气体洁净度 的要求。高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。

计防火规 范》GB50016规定的甲、乙类气体、液体入口室或分配室的设置应 符合下列规定： 1当毗连布置时，应设在单层厂房靠外墙或多层厂房的最上 一层靠外处，并应与相邻房间采用耐火极限大于3.0h的隔墙分隔。 2应有良好的通风。 3泄压设施和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规 范》GB50016、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定执行。

8.2.1工业管道材料和阀门应根据所输送物料的物化性质和使 用工况选用，并应满足生产工艺的要求和使用特点，经技术经济比 较后确定。 8.2.2高纯气体管道和阀门的选用应符合生产工艺的要求，并应 符合下列规定： 1当气体纯度大于或等于99.999%，露点低于一76℃时，应 采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁光亮抛光的不锈钢管。阀 门宜采用隔膜阀或波纹管阀。 2当气体纯度大于或等于99.99%，露点低于一60℃时，应 采用内壁光亮抛光的不锈钢管。除可燃气体管道宜采用波纹管阀 外，其他气体管道宜采用球阀。 8.2.3当干燥压缩空气露点低于一70℃时，应采用内壁光亮抛光 的不锈锅管；当露点低于一40℃时，宜采用不锈钢管或热镀锌无缝 钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。 8.2.4阀门材质宜与相连接的管道材质相适应。

8.3.1工业管道的连接应符合下列规定：

8.3.1工业管道的连接应符合下列规定

1管道连接应采用焊接，热镀锌钢管应采用螺纹连接。 2不锈钢管应采用氢弧焊，以对接焊或承接焊连接；高纯气 体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊。 8.3.2管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管 连接时宜采用金属软管。 8.3.3管道与管道、管道与阀门连接的密封材料应符合下列 规定： 1螺纹或法兰连接处的密封材料应根据输送物料性质、设计 工况选择，宜采用聚四氟乙烯等。 2高纯气体管道与阀门连接的密封材料应按生产工艺和气 体特性的要求确定，宜采用金属垫或双卡套。 8.3.4洁净室（区）内的工业管道应根据管子表面温度和环境温 度、湿度确定保温形式和构造。冷管道保温后的外表面温度不应 低于环境的露点温度。保温层外表面应采用不产生尘粒、微生物 的材料，并应平整、光洁，宜采用金属外壳保护

8.4.1下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装 置应与相应的事故排风机连锁： 1生产类别为甲类的气体、液体入口室或分配室。 2管廊，上、下技术夹层，技术夹道内有可燃气体的易积 聚处。 3 洁净室内使用可燃气体处。 8.4.2 可燃气体管道应采取下列安全技术措施： 1 接至用气设备的支管宜设置阻火器。 2 引至室外的放散管应设置阻火器，并应设置防雷保护 设施。 3 应设导除静电的接地设施。 8.4.3 氧气管道应采取下列安全技术措施：

1管道及其阀门、附件应经产格脱脂处理 2 应设导除静电的接地设施。 8.4.4 工业管道应按不同介质设明显的标识。 8.4.5各种气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超 过1瓶时，气瓶可设置在洁净室内，应采取不积尘和易于清洁的 措施

规范》GB50116的有关规定。洁净区内火灾报警应进行核实，并 应进行下列消防联动控制： 1应启动室内消防水泵，接收其反馈信号。除自动控制外， 还应在消防控制室设置手动直接控制装置。 2应关闭有关部位的电动防火阀，停止相应的空调循环风 机、排风机及新风机，并应接收其反馈信号。 3应关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门。 4应控制备用应急照明灯和疏散标志灯燃亮。 5在消防控制室或低压配电室，应手动切断有关部位的非消 防电源。 6应启动火灾应急扩音机，进行人工或自动播音。 7应控制电梯降至首层，并接收其反馈信号。 9.3.6洁净厂房中易燃、易爆气体、液体的贮存和使用场所及入 口室或分配室应设可燃气体探测器。有毒气体、液体的贮存和使 用场所应设气体检测器。报警信号应联动启动或手动启动相应的 事故排风机，并应将报警信号送至消防控制室。

9.4.1洁净厂房宜设置净化空调系统等的自动监控装置。

9.5.1洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施。

1地面的面层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定。 2地面的面层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻率应为 1.0×10°2/~1.0×10"2/或体积电阻率为1.0×10*0.sm~

1.0X102· cm。 3地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值 应为1.0×10°2~1.0×10*2。 9.5.3洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施。 9.5.4洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉 体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设 备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计 规范》GB50058的有关规定。 9.5.5防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子。 在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环。 在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0.1α。 9.5.6洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位 联结的原则，其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流 工作接地的接地干线应单独绝缘数设，开应使用绝缘屏散电缆。 9.5.7接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于 12：选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体必须远离 防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距。洁净厂房 的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》 GB50057的有关规定。

1.0×10"2cm。 3地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值 应为1.0×10°2~1.0×102。 9.5.3洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施。 9.5.4洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉 体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设 备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计 规范》GB50058的有关规定。

A.3.2静压差测试应符合下列规定

1静压差的测定应在洁净室（区）的风速、风量和送风均勾性 检测合格后进行，并应在所有的门关闭时检测。 2仪器宜采用各种微差压力计，仪表灵敏度应小于1.0Pa。 A.3.3已安装过滤器检漏测试应符合下列规定： 1检漏方法有光度计法和粒子计数器法。 2在过滤器上风侧应引人测试用气溶胶，在过滤器下风侧用 光度计或粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面 2cm~3cm处，以5mm/s~15mm/s的扫描速度移动，并应注意安 装交接处的扫描。 A.3.4密闭性测试应用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室 （区）或非洁净室（区）通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室 （区）。一般适用于1级至5级的洁净室（区）进行测试。采用光度 计法和粒子计数器法进行测试。

A.3.5洁净度的检测应符合下列规定

式中：Vs 每个采样点的每次采样量，以L表示；当Vs很大时， 可使用顺序采样法； Ca·—被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值 (pc/m); 20在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时，可测 到的粒子颗数（pc）。 5当洁净室或洁净区仅有一个采样点时，则在该点应至少采 详3次。

A.3.6对超出等级范围粒子的检测应符合下列规定

1在产品生产工艺有要求时，可按等级粒径范围之外的粒子 浓度规定空气洁净度的水平。此类粒子的最大充许浓度和检测方 法应由客户与建造商协商确定。 2当需评价小于0.1um的粒子造成的污染危险时，应采用 符合这类粒子具体特性的采样方法和装置；可独立应用U描述符 说明超微粒子浓度，也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补 充说明。 U描述符用"U(工y)”表示，其中为超微粒子的最大允许浓 度（pc/m），y为以微米计的粒径。 例如：粒径范围等于或大于0.01μm的最大允许超微粒子的 浓度为140000个/m，应表示为"U(140000，0.01μm）”。 3当需评价大于5μm的粒子造成的污染危险时，应采用符 合这类粒子具体特性的采样装置和方法。可独立应用M描述符 说明大于5μm的粒子浓度，也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等 级的补充说明。 M描述符用“M(ab);c表示，其中α为大粒子的最大允许浓 度（pc/m），b为与规定的大粒子测量方法相应的当量直径（μm）， c为规定的测量方法。 例如：采用显微镜对多级撞击采样器采集的粒子进行检测，测 量得到10m~20um粒径范围的悬浮粒子浓度为1000个/m，则

式中：N,最少采样点； A一一洁净室或被控洁净区的面积（m*）。 3采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位 于工作活动的高度，活动高度宜距地面0.8m；每个采样点的最小 采样时间为1min。 4每一采样点的每次采样量应至少为2L，采样量应按下式 计算：

20×1000 Vs=

用M描述符表示为M(1000；10μm~ 显微镜测定粒径并计数”。

A.4.1按照双方协议书的规定进行空气中悬浮粒子浓度和其他 参数的监测。 A.4.2双方协议书中应明确测量空气悬浮粒子浓度最少采样 点、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、测 量时间间隔、被计数粒子的粒径，以及粒子数的限值。 A.4.3当监测结果超过规定的限值时，则应认定设施不符合要 求，应进行修正；修正后应再进行认证检测。当监测结果在规定限 值内，可继续监测

A.4.1按照双方协议书的规定进行空气中悬浮粒子浓度和其他 参数的监测。 A.4.2双方协议书中应明确测量空气悬浮粒子浓度最少采样 点、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、测 量时间间隔、被计数粒子的粒径，以及粒子数的限值。 A.4.3当监测结果超过规定的限值时，则应认定设施不符合要 求，应进行修正；修正后应再进行认证检测。当监测结果在规定限 值内，可继续监测。

A.5.1按双方协议书的规定及第A.2节的要求，按第A.3节的 方法进行测试，当测试结集在规定的限值之内时，可认定该洁净室 持合规定要求。当测试结果超过规定的限值，可认定该洁净室不 符合要求，应进行改进，在完成改进工作之后，应进行再认证。 A.5.2记录数据评价应符合下列规定： 1在空气洁净度测试中，当测点在1点～10点时，应计算平 均中值、标准偏差、标准误差和由全部采样点的平均粒子浓度导出 95%置信上限值。 2当采样点超过10点时，应计算算术平均值，并按算术平均 值进行空气洁净度等级的评价。 A.5.3每次性能测试或再认证测试应做记录，并应提交性能合 格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容： 1测试机构的名称、地址。 2测试日期和测试者签名。 3执行标准的编号及标准出版日期。

A.5.2记录数据评价应符合下列规定

4被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐 标图。 5被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径、被测 洁净室所处的状态、气流流型和静压差。 6测量用的仪器编号和标定证书，测试方法细则及测试中的 特殊情况。 7测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓 度或沉降菌、浮游菌的菌落数。 8对异常测试值进行说明及数据处理。 9注明上次的测试日期。 10设施的测试文件可作为下次监测计划的依据。 A.5.4测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书

修订说明《洁净厂房设计规范》GB50073一2013，经住房和城乡建设部2013年1月28日以第1627号公告批准发布。本规范是在《洁净厂房设计规范》GB50073一2001的基础上修订而成，上一版的主编单位是中国电子工程设计院，参编单位是信息产业部第十一设计研究院、中国石油化工集团上海医药工业设计院、中国建筑科学研究院，主要起草人员是刘存宏、陈霖新、张利群、王唯国、缪德骅、郝锡泽、赵海、俞渭雄、周春海、晃阳、贺继行、陆原、肖红梅、樊助昌、谭易和、黄德明、郭兴周、冷捷敏、冯佩明。本次修订的主要内容为：修改了第2章术语；对第3章空气洁净度等级的相关内容作了修改和补充；修改了第8章，更名为“工业管道”；修改了部分“强制性条文”为“推荐性条文”。为便于广大设计、施工、科研、学校等单位有关人员在使用本规范时能正确理解和执行条文规定，《洁净厂房设计规范》编制组按章、节、条顺序编制了本规范的条文说明，对条文规定的目的、依据以及执行中需注意的有关事项进行了说明。但是，本条文说明不具备与规范正文同等的法律效力，仅供使用者作为理解和把握规范规定的参考。·49·

目次1总则(53)3空气洁净度等级(54)4总体设计(55)4. 1清净厂房位置选择和总平面布置(55)4. 2工艺平面布置和设计综合协调(58)4. 3人员净化和物料净化(59)4. 4噪声控制(63)4. 5微振控制(67)5建筑(69)5. 1一般规定(69)5. 2防火和疏傲(69)5. 3室内装修(73)6空气净化(75)6. 1一般规定(75)6. 2洁净室压差控制(76)6. 3气流流型和送风量(79)6. 4空气净化处理(81)6. 5采暖通风、防排烟(83)6, 6风管和附件(84)给水排水(86)7. 1一般规定(86)7. 2给水(87)7. 3排水(88)7. 4消防给水和灭火设备(89) 51 .

本规范是全国通用的洁净厂房设计的国家标准，适用于客种 类型工业企业新建、扩建和改建洁净厂房的设计。由于各类工业 企业的洁净厂房内生产的产品及其生产工艺各不相同，它们对生 产环境控制会有一些特殊要求，本规范不可能将这些要求逐一地 进行规定，因此各行业可依据本规范按各自的特点制订必要的本 行业的标准、规定，以利于准确、完整地执行洁净厂房设计规范的 各项规定。目前已有现行国家标准《医药工业洁净厂房设计规范》 GB50457、《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472相继发布 实施。

在《洁净厂房设计规范》GB50073一2001（以下简称原规范） 实施中，各地区、各设计单位认为本条规定距离的界定不明确，且 考虑到道路的污染物对洁净厂房的影响主要是影响净化空调系统 新鲜空气的质量，而洁净室（区）围护结构气密性较好的特点，本次 修改为“新风口与交通干道边沿的最近距离宜大于50m”。 4.1.6绿化有良好的吸尘、阻尘作用。洁净厂房周围场地绿化应 以种植草坪为主，小灌木为辅，不宜种植观赏花卉及高大乔木。因 为观赏花多为季节性一年生植物，需经常翻土、播种、移植，从而破 坏植被，反而使尘土飞扬；而高大乔木树冠覆盖面积大，其下部难 以形成植被，也易产生扬尘。 洁净厂房外围宜种植枝叶茂盛的常绿树种。洁净厂房周围绿 化树种应选用不产生花絮、绒毛、粉尘等对大气有不良影响的树种。

4.2工艺平面布置和设计综合协调

4.2.2因生产工艺的不同，洁净厂房内常有多种气体、液体供应 管道，如氢、氧、氮、氩、压缩空气和纯水、上水等管道，以及电气管 线、净化空调系统的送回风管和局部排风管等，管线交叉复杂。因 此，在进行管线综合布置时，必须在平面和标高上密切配合，综合 考虑，才能做到安装、调试、清扫、使用和维修的方便及整齐美观。 对国内已建成的洁净厂房调研中，了解到为布置各种管道和 高效过滤器等一般均设置了技术夹层或技术夹道，大多使用效果 良好，但有的新建工程把技术夹层设计得过高是不经济的。改建 工程由于空间较小，管线布置比较紧，但如果布置合理，效果也 是不错的。因此，在进行管线综合布置设计和确定技术夹层层高 时，应进行技术经济比较，做到技术上可靠，经济上合理。 通过原规范实施以来反馈的信息，虽然本条具有确保洁净厂 房安全可靠的作用，但主要还是影响产品质量的提高、成品率高低 和经济性问题，因此本次修订修改为推荐性条文。 4.2.3随着各类产品生产工艺技术的发展，生产自动化程度的提

高和改进，近年来洁净厂房建设中大都采用大开间，以满足生产工 艺要求。 洁净厂房内除考虑生产安全性需增设隔断外，一般不设隔断。 由于本条第2款、第3款的内容只是为了有利于运行管理作出的 规定，故本次修订修改为推荐性条文。

4.3人员净化和物料净化

4.3.1、4.3.2人员与物料进人洁净室会把外部污染物带人室内， 特别是人员本身就是一个重要的污染源，不同衣着、不同动作时的 人体产尘量见表5。从表5中数据可见，身者普通服装的人走动时 的产尘（大于或等于0.5μm）量可达近300×10pc/（min，人）。根 据国外有关资料报道，洁净室中的灰尘来源分析见表6，来源于人 员因素的占35%。对洁净室空气抽样分析也发现，主要的污染物 有人的皮肤微屑、衣服织物的纤维与室外大气中同样性质的微粒。 由此可见，要获得生产环境所需要的空气洁净度，人员与物料的净 化是十分必要的。 存放雨具、换鞋、存外衣、更换洁净工作服用室是人员净化用 室的基本组成部分，也是人员净化用室的必要部分。生活用室应 现车间所在地区的目然条件、车间规模及工艺特征等具体情况，根 据实际需要设置。如车间规模较大、人员集中或工艺为暗室操作 的洁净室应设必要的休息室。 鉴于第4.3.1条、第4.3.2条仅为原则性通用规定，本次修订 修改为推荐性条文。

表5不同衣营，不同动作时的人体产尘

表6洁净室内粒子来源分析

表6洁净蜜内数子需速分折

4.3.3本条对人员净化用室和生活用室的设计作出规定

1净鞋的目的在于保护人员净化用室人口处不致受到严重 污染。国内多数洁净厂房人员人口处设有擦鞋、水洗净鞋、粘鞋 垫、换鞋、套鞋等净鞋措施。 为了保护人员净化用室的清洁，最彻底的办法是在更衣前将 外出鞋脱去，换上清洁鞋或鞋套。现有洁净厂房工作人员都执行 更衣前换鞋的制度，其中不少洁净厂房对换鞋方式作了周密考虑， 换鞋设施的布置考虑了外出鞋与清洁鞋接触的地面要有明确的区 分，避免了清洁鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式换鞋，清洁平台上 换鞋等都有很好的效果。 2、3外出服在家庭生活及户外活动中积有大量微尘和不洁 物，服装本身也会散发纤维屑，更衣室将外出服及随身携带的其他

物品存放于专用的存外衣柜内。考虑到国内洁净厂房当前的管理 方式和习惯，外出服一般由个人闭锁使用，按在册人数每人一柜计 算是必要的；洁净工作服柜一般也可按每人一柜设计，但也有集中 将洁净工作服存放于洁净柜中的，置于洁净柜中更为理想。为避 免外出服污染洁净工作服，为此本条明确规定存外衣、更换洁净工 作服的房间应分别设置。 4手是交叉污染的媒介，人员在接触工作服之前洗手十分必 要。操作中直接用手接触洁净零件、材料的人员可以戴洁净手套 或在洁净室内洗手。 洗净的手不可用普通毛巾擦抹，因为普通毛巾易产生纤维尘， 最好的办法是热风吹干，电热自动烘手器就是一种较好的选择。 由于人员净化的净鞋措施、存外衣和更换洁净工作服房间的 分隔以及洗手设施的设置，均为了减少甚至消除洁净室工作人员 带人的污染物对产品质量的影响，所以本次修订将本条第1款、第 2款、第4款改为推荐性条文。 5工业洁净室设置空气吹淋室的理由是： 1)在一定风速、一定吹淋时间的条件下，空气吹淋室对清除人 员身上的灰尘有明显效果。 本规范编制组进行了“吹淋室效果的测定”的科研项目，对于 经吹淋与不经吹淋两种情况的人员散尘量作了大量的测试对比。 结果表明，吹淋室的吹淋效果，对大于或等于0.5μm的尘粒约为 10%~30%，对大于或等于5μm的尘粒约为15%～35%。 2)吹淋室具有气阐的作用，能防止外部空气进入洁净室，并使 洁净室维持正压状态。 3)吹淋室除了有一定净化效果外，它作为人员进入洁净区的 一个分界，还具有警示性的心理作用，有利于规范洁净室人员在洁 净室内的活动。 4)国内洁净厂房的现状是：在统计的38个洁净厂房中，约 80%设有空气吹淋室。

关于吹淋室的使用人数，主要取决于每人吹淋所需时间和上 班前人员净化的总时间。参考计算方法：假定洁净室自净时间为 30min，换鞋、更衣占去10min，上班人员总吹淋时间为20min。设 每人吹淋30s，另加准备时间10s，则一台单人吹淋室可供30人 使用。 当最大班使用人数超过30人时，可将两台或多台单人吹淋室 并联布置。 垂直单向流洁净室由于自净能力强，无紊流影响，人员产尘能 迅速被回风带走而不致污染产品，鉴于这种有利条件，也可不设吹 淋室而改设气闸室。 吹淋室旁设通道，可使下班人员和卫生清扫或检修人员的进 出不必通过吹淋室，起到保护吹淋设备的作用，同时也方便检修期 间设备、工具等进出。 洁净室（区）是否设置空气吹淋室，各洁净厂房做法不一，但在 原规范中规定：“空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并与洁净 工作服更衣室相邻。”因为本款作为强制性条款，在实施过程中， 些单位以为“所有洁净室均应设置空气吹淋室”。实际上本款规定 并不是要求所有洁净室均应设置空气吹淋室，只是要求当需设置 空气吹淋室时，应如何设置。为此，本次修订将本款改为推荐性 条款。 7，洁净区内设置厕所不仅容易使洁净室受到污染，还会影响 洁净区的压力控制。原规范规定洁净区内不宜设厕所，为了强调 洁净区内不得设厕所的要求，本次修订将“不宜”改为“不得”，但该 款条文仍为推荐性。人员净化用室内的厕所应设在盟洗室之前， 厕所设前室作为缓冲，前室还应放置供人员入厕穿用的套鞋。 4.3.4人员净化应当循序渐进，有一个合理的程序，在净化过程 中，避免已清洁部分被脏的部分所污染。根据目前国内洁净厂房 常用的人员净化程序，本规范提出了一次更衣（盟洗前存外衣）、 次吹淋的人员净化程序。由于本条第1款只是对洁净厂房中人流

路线的原则性规定，本次修订改为推荐性条文。 4.3.5、4.3.6关于人员净化用室建筑面积控制指标，主要参考了 有关资料提出的面积指标和部分洁净厂房实际采用的指标，并进 行统计后得出的。人员较多时，面积指标采用下限，人员较少时， 面积指标采用上限。 近年来，国内设计、建造的洁净厂房，一般是根据产品生产工 艺要求或洁净厂房的布局情况按相邻洁净室（区）的洁净度等级确 定洁净工作服更衣室的空气洁净度等级，还有一些洁净厂房虽然 没有对洁净工作服更衣室、洁净工作服洗涤室提出空气洁净度等 级要求，但室内采用高效空气过滤送风系统，或将洁净室内的净化 空气部分地引入更衣室、洁净工作服洗涤室。为此，本次修订时对 洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净区1级2 级和“洁净服洗涤室的空气洁净度等级不宜低于8级”的规定取 消，修改为将更衣室与洁净工作服洗涤室对空气净化要求的相关 内容的规定合并在一条内：“宜根据产品生产工艺要求和相邻洁净 室（区）的空气洁净度等级确定”。不再规定具体的“等级”或“等级 范围”。 4.3.7鉴于本条有关物料净化的规定主要涉及影响空气洁净度 或产品生产过程的可能被污染，且在原规范实施过程中一些行业 的洁净厂房设计、建造中执行本条规定难度较大，为此本次修订改 为推荐性条文。

4.4.1洁净室的噪声一般不算高，但数据差额较大，相差近10dB (A)。国内关于噪声对健康影响的研究表明，低于8OdB(A)的一 般工业噪声，对健康的影响不太大。因此，洁净室噪声标准的制 订主要考虑噪声的烦恼效应、语言通讯干扰和对工作效率的影 响。 国外洁净室噪声标准的研究工作开始于20世纪60年代。 63

对国内几个行业不同气流流型洁净室的静态和动态噪声所进 行的分析表明，不同气流流型的静态噪声有较大差异。非单向流 洁净室的静态噪声实测值在41dB(A)～64dB(A)范围内，平均为 54dB(A)；单向流、混合流洁净室的静态噪声实测值在51dB(A)~ 75dB(A)范围内，平均为65dB(A）。非单向流洁净室比单向流洁 净室的静态噪声平均值约低11dB(A)。 由于噪声控制要求是确保人员健康的重要条件，本条为强制 性条文。 4.4.3~4.4.6控制设备噪声首先要从声源上考虑，设计时应选 用低噪声设备。在某些情况下，由于技术或经济上的原因而难以 做到时，则应从噪声传播途径上采取降噪措施，如把高噪声工艺设 备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。有些由于与生产联系密 切，必须置于洁净区内的高噪声设备，亦可采用隔声罩隔绝噪声。 国内现有洁净厂房中，不少洁净室将机械泵一类高噪声设备 置于洁净室外套间或技术夹道内，洁净室内噪声有明显降低。 洁净室的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备 运行噪声，静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有 关。但关键在于净化空调系统的布置及合理的降噪措施，不合理 的设计方案必然导致较高的静态噪声。 关于降低洁净室净化空调系统噪声的措施，国内外有关资料 提出了一些有效的措施： 如《现代洁净室概念》一文中强调“选择那种能满足气流要求 的噪声最低的风机，还应该采用弹性减振基础”。关于消声器的使 用，文中说：“管道消声器在中额和高频范围内降低噪声是有效的 当风管敷设长度在50ft以内时，就应考虑采用消声器”。关于风 管的连接，文中又说：“通风机和送风管道与回风管道之间，应采用 柔性连接管隔开”。还要求“将通风机外壳、静压箱和管道等加上 衬里”。如北京某大学微电子研究所回风管道在未处理前噪声高 达83.5dB(A)，经过加设衬垫处理后噪声降到66.2dB（A)，使光

刻间的室内环境噪声平均下降了7dB(A)～9dB(A)。由此可见， 只要对风道系统采取消声和防止管道固体传声等措施，洁净室噪 声可以大幅度降低。 国内还有不少洁净室，由于系统设计合理，并采取了降噪措 施，室内噪声得到有效控制。 排风系统噪声对洁净室影响极大，以集成电路生产为例，在生 产过程中，外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需设排风系统。近 年来，洁净厂房排风系统的噪声治理日益受到重视，要注意选用低 操声风机等。 由于洁净室内的工作环境要求比较安静，洁净室的密封性能 较好，噪声不易衰减。按规定限制风管风速，既减小了净化空调系 统的阻力，降低了风机压头和转速，减弱了风机的噪声，又防止了 风速过大而产生附加噪声。 如上所述，第4.4.3条～第4.4.6条的规定均为洁净厂房设计 中，从平面和空间设计到各类设备、系统及其附属设备等的选择都应 充分考虑噪声控制措施，以确保达到洁净厂房要求的噪声控制值。原 规范中将第4.4.3条、第4.4.4条规定为强制性条文，但在实施中各单 位认为规定过严，可操作性也不强，为此本次修订改为推荐性条文。

4.5.1有微振控制要求的洁净厂房，设计应考虑建筑结构的选型 及地面（楼面)的构造做法，如增加基础及上部结构垂直及横向刚 度，增加地面（楼面）刚度，能有效减小振动影响。此外，还应考虑隔 振缝设置及其有效的构造措施，壁板与地面及顶棚采用柔性连接等， 均能减小振动传递。即减小了对精密设备、仪器仪表的振动影响。 在洁净厂房设计中，应首先考虑对强振源采取隔振措施，以减 小强振源对精密设备、仪器仪表的振动影响，在此基础上，精密设 备、仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施，就大致 能够达到预定目的。

在原规范中，本条为强制性条文，虽然明确规定本条只用于有激振控制要求的洁净厂房，但由于没有量化的规定，容易引起执行不准确的问题，实施以来确有此种情况发生，为此本次修订将本条5建筑改为推荐性条文。4.5.4精密设备、仪器仪表的被动隔振措施，由隔振台座及隔振器（或隔振装置）组成。根据隔振设计计算需要，设定隔振台座为5.1一般规定不变形刷体，为此应对隔振台座的形状、几何尺寸及材质选用等方5.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性，为面加以考患，使之具有足够的刚度。生产工艺的调整创造条件。本条规定是指在不增加面积、高度的某些精密设备、仪器仪表在运行时，由于移动部件位置变化或情况下，进行局部的工艺和生产设备调整，在这种情况下，厂房内加工、测试件的质量及质心位置变化，使各隔振器的变形量不相墙的可变性就是一个重要的措施，为此，本条规定不宜采用内墙承等，隔振台座发生倾斜，导致精密设备、仪器仪表难以正常工作。重体系。为此，应设置校正倾斜装置，使隔振台座保持原有的水平度，以保5.1.3主体结构要具备同建筑处理及其室内装备和装修水平相证精密设备、仪器仪表的正常运行。适应的等级水平。若室内装备与装修水平高，而主体结构为临时隔振系统阻尼过小，会产生较大的自振，以及受外界突发干扰的，就会形成严重的浪费。本条规定着重于使洁净厂房在耐久性、（如对隔振台座的冲击、室内气流的扰动影响等），造成隔振台座见装修与装备水平、耐火能力等几个方面相互协调，使投资长期发挥动，这种振动值有时会大于精密设备、仪器仪表的容许振动值，影响作用。此外，温度或沉陷不但可能影响安全，而且还会破坏建筑装其正常运行。为此应增大隔振系统阻尼值，才能减小此类振动。通修的完整性及围护结构的气密性，故须对主体结构采取相应措施。过多项工程实践表明，隔振系统阻尼比不小于0.15是比较恰当的。5.1.5对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，在考虑其平面4.5.5空气弹黄的垂直向、横向刚度很低，使隔振系统具有很低布局和构造处理时，应合理组织人流、物流运输及消防疏散线路，的固有振动频率，同时它具有可调节阻尼值的特性，隔振系统可获避免一般生产对洁净生产带来不利的影响。当防火方面与洁净生得需要的阻尼，因此，隔振系统具有良好的隔振效果。当配用高稍产要求有冲突时，应采取措施，在确保消防疏散的前提下，减少对度控制阀时，可自动校正隔振台座的倾斜。由于空气弹簧具有其洁净生产的不利影响。他隔振材料及隔振器不可替代的优越性，已被我国及国际工程界管遵采用作为精密设备、仪器仪表的隔振元件。5.2防火和疏散用于被动隔振措施的空气弹簧隔振装置由空气弹簧隔振器、5.2.1洁净厂房虽不同于一般工业厂房，但在材料与构造的耐火高精度控制阀、仪表箱及气源组成。由手空气弹簧隔振装置在校性能以及火灾的火势形成、发展与扩散等基本特性方面，两者都基正隔振台座倾斜时会排出气体（如压缩空气、氮气等），因此对气源本一致。所以现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016中不应进行净化处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级，才能保证排少条文同样适用于洁净厂房。本节主要结合洁净厂房的下列特出的气体不致对洁净室造成污染。点，对于防火规范尚未包括或者不全适合的部分做必要的补充：68.·69.

（1)空间密闭，火灾发生后，烟量特大，对于疏和扑救极为不 利。同时由于热量无处泄漏，火源的热辐射经四壁反射室内迅速 升温，大大缩短了全室各部位材料达到燃点的时间。 当厂房外墙无窗时，室内发生的火灾往往不容易被外界发现， 发现后也不容易选定扑救突破口。 （2)平面布置曲折，增加了疏散路线上的障碍，延长了安全疏 散的距离和时间。 (3)若干洁净室都通过风管彼此串通，当火灾发生，特别是火 势初起未被发现而文继续送风的情况下，风管成为烟、火迅速外 第，换及其余房间的重要通道。 （4）室内装修使用了一些高分子合成材料，这些材料在燃烧时 产生浓烟，散发毒气。有的燃烧速度极快。 （5）某些生产过程使用易燃易爆物质，火灾危险性高。如甲 醇、甲苯、丙酮、丁酮、乙酸乙酯、乙醇、甲烷、二氯甲烷、硅烷、异丙 醇、氢等都是甲、乙类易燃易爆物质，对洁净厂房构成潜在的火灾 威胁。 此外，洁净厂房内往往有不少极为精密、贵重的设备，建设投 资十分昂贵，一且失火，损失极大。 鉴于以上几方面的特点，为了保障生命、财产的安全，尽量减 少火灾中的损失，本规范分别从防止起火与延烧，便利疏散与抢救 这两个方面补充提出若干条文，强调了建筑耐火等级与防火分隔， 对于防火墙间占地面积与疏散路线提出较严格的要求。这部分规 范编制工作在公安部有关部门指导下进行。本部分规定不包括防 爆措施。 分析洁净厂房火灾实例可以发现，严格控制建筑物的耐火等 级十分必要。本条规定将洁净厂房耐火等级定为二级及二级以 上，使建筑构配件耐火性能与甲、乙类生产相适应，从而减少成灾 的可能性。本条为强制性条文。 5.2.2由于本规范附录B中仅仅是洁净厂房生产工艺间的火灾

危险性类别举例，表中的实例不可能十分全面，也没有包含各行各 业的各类洁净厂房的生产工艺间，即使已经列人表中的生产工艺 间也会随着科学技术发展、新设备、新工艺的出现有所变化，所以 本次修订将本条改为推荐性条文，

5.2.3本条对防火分区最大允许建筑面积作出规定

(1)限制防火分区的面积，一是可以控制火灾蔓延，减少损失；二 是便于扑教，使消防人员既容易在现场寻找火源，也容易安全撤离。 防火墙间允许面积的大小应视厂房的情况与生产火灾危险性确定。 （2)据调查统计，甲、乙类洁净厂房多数情况下，其占地面积， 单层厂房在2500m以下，多层厂房不超过1500m。考虑略留余 地，则将防火分区允许占地面积规定为3000m（单层）和2000m （多层）；与现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016甲类生产 的二级耐火建筑物允许占地面积相吻合。由于甲、乙类生产往往 混杂一处，故本条规定不再予以严格区分。本条规定为宜为 3000m（单层）和2000m（多层），既考惠了洁净厂房的特点作了 较严格的规定，又为执行中因具体情况确有困难时，应在确保疏散 距离的前提下仍可放宽，按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定执行 （3)丙、丁、戊类洁净厂房的防火分区最大允许面积，本次修订 中规定应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016，不再 作较严格的规定，这是因为本规范第5.2.1条规定"洁净厂房耐火 等级不应低于二级”，已作了较严格的规定，可减少成灾的可能性。 近年来，随着科学技术的发展，一紫生产高新技术产品的洁净厂 房，为了提高生产效率、产品质基，采用了大体量、大跨度的厂房布 局，一些洁净厂房的建筑面积时有接近或超过规范规定的防火分 区最大允许面积的情况发生，在2008年12月发布的现行国家标 准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472中，已规定对丙类电子 工厂洁净厂房的防火分区面积限值在规定条件下可以按产品生产 工艺要求确定。所以本次修订本条修改为推荐性条文。

5.2.4本条为强制性条文。洁净室的顶棚和壁板，为避免因室内 或室外一方发生火灾及另外一方，须规定其燃烧性能，即虽不能 要求它与土建式顶棚或隔墙具有同样耐火极限，至少也须要求它 的燃烧性能同建筑物相一致，即采用不燃烧体，且不得采用有机复 合材料，以避免燃烧时产生室息性气体、有害气体等。根据实施中 的实际需要，在条文中增加了对壁板的耐火极限规定。目前国内 外制造厂家生产的洁净室用金属壁板，大部分均能满足上述要求， 5.2.5控制了防火分区占地面积后，还需要在一个防火分区内将 洁净区与非洁净区之间设置防火分隔，本条规定防火分隔应为不 燃烧体，并规定了耐火极限，主要是从保护洁净区的财产安全出 发。为此，本条作为强制性条文。 5.2.6洁净厂房的技术竖井是布置相关管线的垂直管廊，贯通各 个楼层，为防止一且发生火情后，洁净厂房的各层相应火势串通， 本条对技术竖井耐火要求、分隔、管线空隙填堵作了强制性规定。 5.2.7对于设置一个安全出口的条件，甲、乙类生产间同现行国 家标准《建筑设计防火规范》GB50016中的100m、150m*相比，本 条均按100m，这是考虑即便100m的洁净室也不算小，已能容纳 相当数量的贵重装置，须有良好的疏散条件，所以作了较严格的规 定。本条为强制性条文。 5.2.8人员净化程序多，连同生活用室在内包括有换鞋、更衣、盟 洗、吹淋等用室。布置上要避免路线交叉，于是往往形成从人员人 口到生产地点的曲折迁回路线。因此，一且发生火灾，把这样曲折 的人员净化路线当作通往安全出口的通道是不恰当的，所以作了 本条的强制性规定。 5.2.9安全疏散门是关系到人员安全疏散的重要条件之一，为此 本条对洁净室（区）的安全疏散门作了强制性的规定。 5.2.10洁净厂房空间密闭，设有人员净化和物料净化设施，火灾 发生后，扑救极为不利。洁净厂房同层外墙设通往洁净区的门窗 或专用消防口后，可方便消防人员的进人及扑教，为此，本条对洁

净厂房设置专用消防口作了强制性规定。

5.2.11由于洁净厂房外墙上的吊门、电动自动门以及装有栅栏的

5.2.11由于洁净厂房外墙上的吊门、电动自动门以及装有栅栏的 窗，一般设有手动、自动控制装置或固定栅栏，为此本条规定此类 门窗不应作为消防人员进入洁净厂房的入口，并作为强制性条文。

5.3.1材料在温度、湿度变化时易引起变形面导致缝隙泄漏或发 尘，不利于确保室内洁净环境。洁净室（区）内，某些产品的生产过 程中可能发生因所用材料释放至空气中的化学污染物对产品质量 的影响，为此本条作了相关的补充规定。由于本条的规定均只涉 及产品质量或成品率的提高，所以本次修订改为推荐性条文。 5.3.2制订本条的目的主要在于尽量减少洁净室内积尘面（特别 是水平凹凸面），以免在室内气流作用下引起积尘的二次飞扬，污 染室内洁净环境。由于本条第1、2款仅涉及洁净室的建造质量， 并且近年来的工程实践表明，只要设计时十分重视和明确要求，是 可以得到保证的。所以本次修订改为推荐性条文。 5.3.3本条第1、2款由于仅涉及洁净室的建造质量，所以本次修 订改为推荐性条文。 5.3.5当洁净室（区）和人员净化用室设有外窗时，为防止作业人 员随意开启直接通向室外环境的外窗而引发室外空气的严重污 染，作了本条强制性的规定。 5.3.6洁净室内门开启方向的规定是鉴于洁净区内各房间空气 洁净度要求及其室内送风基与风压有所不同，高洁净度房间相对 于低洁净度房间（或走廊）保持一定压差值，为使门扇能关闭紧密， 门扇应朝向洁净度高的房间开启。条文中所以用“应”而不用“宜” 是考某些洁净生产房间的生产工艺存在火灾危险，为安全疏散 要求，其门扇应向外开。

3.7本条中所指密闭措施包括：密封胶嵌缝、压缝条压缝，纤

市条粘贴压缝，加穿墙套管等。本条第1款与第5.3.2条相似，月

以本次修订改为推荐性条文

以本次修订改为推存性条文。 5.3.8洁净室采光多需借助人工照明，再加上室内空气循环债 用，因此从人体卫生角度分析，其环境条件是较差的。为了改善环 境，减少室内员工疲劳，故应特别注意室内建筑装修的色彩。 本条中有关室内表面材料的光反射系数的规定是根据现行国 家标准《工业企业采光设计标准》GB50033以及参考国外有关室 内表面推荐光反射系数的资料制订的。室内表面反射率的大小不 但直接影响工作面上的照度水平，而且对整个室内亮度分布起着 决定性作用。考虑到洁净厂房一般工作精度较高，为减少视疲劳， 改善室内的光照环境，因而需要有一个明亮的室内空间。为此，洁 净室的墙面与顶棚需采用较高的光反射系数。 5.3.9空气洁净度等级要求较高的洁净室，其墙板和顶棚宜采用 轻质壁板构造。轻质壁板连接构造的整体性和气密性是很重要 的，整体性除靠板与板之间的雌雄槽紧密组合外，还靠上下马槽和 板之间的严密结合，使洁净室形成一个完整的厘体。板壁之间的 接缝应以硅橡胶等密封材料嵌缝密封，它的作用是防止灰尘在停 机时从此进人室内，同时使洁净室在正常工作时易于保持正压，减 少能量的损耗。此外，洁净室的关键密封部位是高效过滤器之间 或高效过滤器与其安装骨架之间的缝隙，一定要绝对密封。目前 国内使用的密封方法很多，如液槽密封、机械压楚密封等，但必须 做到涂抹或填嵌方便，操作简单，而且还要考虑更换高效过滤器时 方便拆装。总之，没有经过高效过滤器过滤的空气绝对不允许直 接进入洁净室内。洁净室顶棚用轻质壁板应具有一定的承重能 力，以便施工、运行时人员行走。 5.3.10洁净室（区）内所选用的装修材料除应符合现行国家标准 （建筑内部装修设计防火规范》GB50222的规定外，还应符合现行 国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627 的有关规定，为此本条对洁净厂房用装修材料的燃烧性能和烟密 变作了强制性规定。

6.1.1洁净的生产环境是生产工艺的需要，是确保产品的成品率 和产品质量的可靠性、长寿命所必需的。随着我国国民经济的发 展，各行各业对生产环境的温度、相对湿度和洁净度的要求也越来 越高。例如：大规模和超大规模集成电路的发展很快，在1980年 时其集成度只有64kB，而到目前集成度已提高到1GB，64kB集成 电路前工序生产所要求生产环境的洁净度等级只有4级和5级， 而1GB集成电路前工序生产对生产环境洁净度等级的要求提高 到1级和2级(0.1μm）。 不同的生产工艺、不同的生产工序对生产环境的要求也是不 相同的，因此，确定洁净室的空气洁净度等级时应根据不同工艺、 不同工序对环境的洁净度要求而定。 根据不同生产工艺、不同生产工序对环境洁净度的不同要求， 该高则高，该低则低，尽量缩小高洁净度等级部分的面积，以局部 高等级净化和全室较低等级净化的洁净室系统代替全室高等级净 化的洁净室系统。既能确保不同生产工艺对环境的要求，文能大 幅度地降低初投资和运行费用。 例如：对于生产1GB超大规模集成电路前工序的洁净室来 说，在整个生产过程中只有少数工序（制版、光刻等）对环境的洁净 度等级要求最高为1级或2级，而其他大部分工序只要求5级、6 级，甚至只有7级。不需将全部洁净室都设计为1级或2级。 6.1.4人是洁净室内主要的发尘源，作业人员进人洁净室必须穿 着与洁净室的空气洁净度等级相适应的洁净工作服。由于洁净工 作服的透气性较差，为了保证作业人员的工作环境，提高劳动生产

率，在洁净室生产工艺对环境的温、湿度没有特殊要求时，洁净室 内的温度主要是为了作业人员的舒适。因此，洁净室温度冬季为 20℃22℃，夏季为24℃～26℃，湿度冬季为30%～50%，夏季为 50%～70%，比较适宜。由于洁净室（区）的温度、相对湿度首先应 按生产工艺要求确定，只有在生产工艺无要求时，汁能按本条的规 定根据作业人员的舒适度确定，但在本规范实施中因洁净厂房生 产的产品多种多样，作业人员多少和工作条件也不相同，所以强制 执行有困难，为此本次修订改为推荐性条文。 6.1.5本条为强制性条文。现行国家标准《采暖通风与空气调节 设计规范》GB50019中对一般工业厂房的新鲜空气量的规定为每 人每小时不小于30m。由于新鲜空气量是确保洁净室（区）作业 人员健康的重要条件之一，所以本次修订中对洁净室（区）的新鲜 空气规定为应取补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空 气量之和，保证供给洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小 于40m，两项中的量大值

6.2.1为了保证洁净室在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时， 气流都能从空气洁净度高的区域流向空气洁净度低的区域，使洁 净室的洁净度不会受到污染空气的干扰，所以洁净室必须保持一 定的压差。 在国内外洁净室标准和洁净度等级中，对洁净室内压差值的 大小都作了明确规定。 压差值的大小应选择适当。压差值选择过小，洁净室的压差 很容易破坏，洁净室的洁净度就会受到影响。压差值选择过大，就 会使净化空调系统的新风量增大，空调负荷增加，同时使中效、高 效过滤器使用寿命缩短，故很不经济。另外，当室内压差值高于 50Pa时，门的开关就会受到影响。因此，洁净室压差值的大小应 根据我国现有洁净室的建设经验，参照国内外有关标准和试验研

的调整，现将表B.2摘录于表8

表8微电子洁净室实贷

注：1制定最佳设计条件之前，首先应明确使用环境的ISO级别有关的占用 状态 2气流流型符号的意义：U为单向流流型；N为非单向流流型，M为混合流流 型（单向流和非单向流的组合流型） 3平均风速通常适用于单向流流型。单向流平均流速大小与被整制空间的 形状和热气流温度有关，单向流流速不是指过滤器面风速； 4单位面积送风量适用于单向流流型和混合流流型。单位面积送风量的 推荐值适用于层高为3.0m的洁净室； 5 在洁净室设计中须领考惠密封措施 ? 6对于污染源以及污染区可用隔板或空气幕予以有效分隔。 由于本条规定的洁净送风量主要是依据目前国内外的实际状 况的经验总结，各类工业产品的生产工艺的差异和不断进步，使其 洁净室的送风量有所差异，所以本次修订将本条改为推荐性条文

6.4.1近年来，我国各类洁净厂房中所采用的空气过滤器品种。

4.1近年来，我国各类洁净厂房中所采用的空气过滤器品种

助房间污染的规定，鉴于具体做法也没有量化的静压值规定，本次 修改为推荐性条文。通风措施的做法一般宜采用下述方式： （1）送人经过中效过滤器过滤后的洁净空气： （2）送人洁净室多余的回风或正压排风； （3）在厕所或浴室内采用机械排风。 6.5.6鉴于事故排风是保证生产安全和员工安全的一项必要措 施，所以接照现行国家标准《采通风与空气调节设计规范》GB 50019的规定应设计事故排风装置。本条是确保洁净厂房安全运 行的重要条件之一，所以规定为强制性条文， 6.5.7从近年来国内建造的洁净厂房的调研资料可以看出，一部 分洁净厂房为确保人员疏散的安全性，在疏散走廊设置了机械排 烟或加压送风系统，如三星视界有限公司，深圳大学实验楼，赛格 日立等。浩净厂房的疏敲走廊及其长度，依据具体工程项目的不 同位置，差异较大，难于统一。本规范实施以来的洁净厂房设计建 造均在疏散走道设置了机械排烟系统，为此，本条第1款规定在疏 散走廊应设置机械排烟系统，并作为强制性条款。 本条第2款规定了各类产品生产用洁净厂房应按现行国家标 准《建筑设计防火规范)GB50016的有关规定设置排烟设施，这是 由于客行业洁净厂房内产品生产工艺、使用要求和布置均不相同， 在本规范中很难作出统一的“排烟设施的规定”，所以本款为推荐 性条款。

6.6.1新风管上的调节阀用于调节新风比；电动密闭阀用于空调 机停止运行时关闭新风。回风总管上的调节阀用于调节回风比。 送风支管上的调节阀用于调节洁净室的送风量。回风支管上的调 节阀用于调节洁净室内的正压值。空调机出风口处的密闭调节阀 用于并联空调机停运时的关闭切断，也可用于单台空调机的总送 风量调节。排风系统吸风管段上的调节阀用于调节局部排风量，

6.6.1新风管上的调节阀用于调节新风比；电动密闭阀用于空调 机停止运行时关闭新风。回风总管上的调节阀用于调节回风比。 送风支管上的调节阀用于调节洁净室的送风量。回风支管上的调 节阀用于调节洁净室内的正压值。空调机出风口处的密闭调节阀 用于并联空调机停运时的关闭切断，也可用于单台空调机的总送 风量调节。排风系统吸风管段上的调节阀用于调节局部排风量，

排风管段上的止回阀或电动密闭阀等用于防止室外空气倒。 6.6.2参照现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关 条文，并结合洁净室情况作出的本条规定。风管穿过变形缝有三 种情况：一是变形缝两侧有防火隔墙，二是变形缝一侧有防火隔 墙，三是变形缝两侧没有防火隔墙。规范条文是按第一种情况两 侧设置防火阀。通风系统的防火阀是在一且出现火情时，防止火 势蔓延的主要手段，为此本条为强制性条文。 6.6.3从不影响空气净化效果及经济两个方面考虑，净化空调系 统风管与附件的制作材料是随着输送空气净化程度的高低而定 的。洁净度高的选用不易产尘的材料，洁净度低的选用产尘少的 材料。 排风系统风管与附件的制作材料是随着输送气体的腐蚀性程 度的强弱而定。 6.6.4净化空调系统的送、回风及排风系统消声措施的设置，应 根据系统设置的实际情况，经计算是否满足室内外噪声标准，确定 消声措施的设置，故本条改为推荐性条文。 6.6.5在各级空气过滤器的前、后设测压孔或安装压差计，便于 运行中随时了解各级空气过滤器的阻力变化情况，以便及时清洗 或更换。 5.6.6风管及附件的不燃材料是指各种金属板材，难燃材料是指 氧指数大于或等于32的玻璃钢。风管保温和消声的不燃材料是 指岩棉、玻璃棉等，难燃材料是指氧指数大于或等于32的聚氨酯 （聚苯乙烯）泡沫塑料、橡塑海绵等。穿越防火墙及变形缝防火匾 瘤两侧各2000mm范围内的风管和电加热器前、后800mm范围 内的风管的保温材料和垫片、粘结剂等，均应采用不燃材料或难燃 材料。本条规定了风管及附件、辅助材料的耐火性能，所以规定为 强制性条文。

7.1.1洁净厂房内管道的敷设方式直接影响洁净室的空气洁净 度，因此，条文中首先要求管道尽量在洁净室外敷设，以最大限度 地减少洁净室内的管道。目前，洁净厂房的管道布置形式有： (1)各种干管布置在技术夹层、技术夹道、技术竖井内。特别 是有上、下夹层的洁净厂房，给水排水干管大都设在下夹层内。 (2)暗装立管可布置在墙板、异型砖、管槽或技术夹道内。 (3)支管由干管或立管引人洁净室，最好从上、下夹层引入 20cm～30cm与设备二次接管相连。 （4)安装在技术夹道内的管道及阀件，可明装也可暗装在壁柜 内。壁柜上适当设活动板，便于检修。 7.1.2洁净厂房均为恒温恒湿房间，而生产工艺需要的给水排水 管道又有不同的水温要求，管内外的温差使管外壁结露，影响室内 温湿度。因此，对于有可能结露的管道应采取防结露措施是必要 的。 对于防结露层外表面，可以采用镀锌铁皮或铝皮作外壳，便于 清洗，并不产生灰尘。 7.1.3穿管处的密封是保证洁净室空气洁净度的重要一环。本 条规定主要是防止洁净室外未净化空气渗人室内；洁净室内的洁 净空气向外渗漏也会造成能量的浪费，甚基至影响室内的洁净度。 实践证明，采用套管方式是行之有效的。当实在无法做套管的部 位（如软吊顶）也应采取严格的密封措施。主要的密封方法有微孔 海绵、有机硅橡胶、橡胶圈及环氧树脂冷胶等。

7.2.1洁净厂房内的生产工艺一般为超精细加工或要求无菌无 尘，对给水系统要求较为严格，如大规模集成电路的超纯水、医药 工业的无菌水等。而且有的水系统的造价高、管理要求严格，因此 应根据不同的要求设置系统（如纯水的不同水质要求，冷却水的不 同水温、水质要求等），以便重点保证要求严格的系统，也利于管理 和节省运转费用。 目前设在洁净厂房中的生产工艺大多为技术发展迅速的工 业，如大规模集成电路、生物制药等。这些生产部门产品升级换代 快，生产工艺变化多。因此，在管道设计中应留有充分的余量。 7.2.2、7.2.3这两条都是为了保证工艺所要求水质的措施。 随着生产工艺对纯水水质的不断提高，甚至到了理论纯水的 程度，尤其是集成电路的发展不但对水中电解质的含量要求极其 严格，而且对细菌、微粒、有机物及溶解氧等都有极其严格的要求； 医药工业中要求供应的注射用水，对水中含菌量、热源均有严格要 求。除了严格的纯水制造过程外，纯水输送管道的管材选择和管 网设计是保证使用点水质的关键。 实践证明，采用循环供水方式是行之有效的。主要是基于保 证输水管道内的流速和尽量减少不循环段的死水区，以减少纯水 在管道内的停留时间，减少管道材料微量溶出物（即使目前质量最 好的管道也会有微量物质落出）对超纯水水质的影响，同时，基于 流水不腐的道理，高的流速也可以防止细菌微生物的滋生。 条文中有关要求及数据系根据国内外有关资料并结合近年设 计、运行经验提出的。 在纯水管材选择方面，主要应考虑三方面的因素： (1)材料的化学稳定性：纯水是一种极好的溶剂，为了保证在 输送过程中纯水水质下降最小，必须选择化学稳定性极好的管材， 也就是在所要求的纯水中的溶出物最小。溶出物的多少应由材料

的溶出试验确定，其中包括金属离子、有机物的溶出。 (2)管道内壁的光洁度：若管道内壁有微小的凹凸，会造成微 粒的沉积和微生物的繁殖，导致微粒和细菌两项指标的不合格。 目前PVDF管道内壁粗糙度可达小于1um，而不锈钢管约为几十 微米。 （3)管道及管件接头处的平整度：对于防止产生流水的涡流区 是非常重要的。 本规范适用于各类洁净厂房的设计，而各类产品生产工艺对 纯水水质的要求差异较大，其纯水管材的选择主要是与水质相关， 同时还应价廉、方便施工，为适应各类产品发展的需要和选择的灵 活性，本次将纯水管道管材的选择修改为“应符合生产工艺对水质 要求，可选择不锈钢管或工程塑料管”，而不列出具体的工程塑料 管的品种。 由于第7.2.2条对纯水系统设计作出的规定都是为了确保输 送到达用户设备的纯水水质，以满足各类产品生产的需要，这些措 施的规定均只涉及产品质量和成品率等，为此本次修改为推荐性 条文。 7.2.4定期清洗是保证管道内水质的重要手段，主要是防止长期 运行后，内壁产生沉积物及微生物积骤使水质下降

7.3.1本条是对洁净厂房排水系统的原则性规定，没有涉及具体 限值或界限等方面的规定，实施表明可改为推荐性条文。 7.3.2、7.3.3洁净室内重力排水系统的水封和透气装置对于维 持洁净室内各项技术指标是极其重要的。除了对于一般厂房防止 臭气逸人外，对于洁净室若不能保持水封会产生室内外的空气对 流。在正常工作时，室内洁净空气会通过排水管向外渗漏；当通风 系统停止工作时，室外非洁净空气会向室内倒灌，影响洁净室的洁 净度、温湿度，并消耗洁净室的能量。鉴于洁净室内的排水设施直

接涉及空气洁净度和洁净室的安全稳定运行，为此，规定第7.3.2 条和第7.3.3条的第1款、第4款为强制性条（款）。 7.3.4本条是为了从各个方面维护洁净厂房的洁净度而制订的， 一般洁净厂房内的卫生器具均采用白陶瓷或不锈钢制品，而不用 水磨石或水泥制作。明露的卫生器具和工艺设备配件尽量选用高 档的镀铬或工程塑料制品等表面光滑易于清洗的设备、附件。地 请采用专用洁净室用地漏。 7.3.5考虑到洁净厂房内设备、仪器贵重或其制成品价值昂贵， 消防后应尽快排除积水，特别是仓库、夹层等场所更应避免积水浸 泡，减少损失

7.4消防给水和灭火设备

耐火等级、建筑物体积、当地经济技术条件等因素确定。除了水消 防外，还应设置必要的灭火设备。 7.4.2本规范实施以来，在洁净厂房设计、建造中均十分重视消 防水设施的设置，严格按规定在洁净厂房内设置消火栓；许多洁净 厂房还按其具体条件设置了白动喷水灭火系统，对设有贵重设备、 仪器的房间，为避免巨大经济摄失，设置预作用式自动喷水灭火装 置，为此本规范对洁净厂房的消防设施除了作出第7.4.3条、第 7.4.5条的规定外，在本条强调洁净厂房的消防给水和灭火设备 的设计包括消防水系统的泵、水池等均应符合现行国家标准《建筑 设计防火规范》GB50016的有关规定。但由于在现行国家标准 建筑设计防火规范》GB50016中有关消防给水和灭火设备的条 文既有强制性条文，也有推荐性条文，因此将本条改为推荐性 条文。 7.4.3本条是根据国内洁净厂房设计的实际情况编写的。根据 《建筑设计防火规范》GB50016关于室内消火栓用水量的规定，高 度小于或等于24m、体积小于或等于1000m的厂房，其消防用水 量为5L/s。根据洁净厂房的特点此值偏小，故制订了室内消火栓 给水的最低限制参数，本条作为强制性条文规定。 7.4.4设置灭火器是扑数初期火灾最有效的手段，据统计，60%~ 80%的建筑初期火灾，在消防队到达之前是靠灭火器扑火。洁净 厂房各层、各场所均应按照现行国家标准《建筑灭火器配置设计规 范》GB50140的要求配置灭火器，本条作为强制性条文规定。 7.4.5本条主要是根据近年来灭火技术的发展和洁净厂房的消 防特点制订的。 洁净厂房的生产特点是： （1）有很多精密设备和仪器，并且使用多种易燃、易爆、有腐蚀 性、有毒的气体和液体。其中一些生产部位的火灾危险性属于内 类（如氧化扩散、光刻、离子注人和打印包装等），也有些属于甲类 （如拉单晶、外延及化学气相沉积等）

(2)洁净厂房密闭性强，一旦且失火，人员疏散和扑敦都较困难。 （3)洁净厂房造价高、设备仪器贵重，一且失火，经济损失 巨大。 基于上述特点，洁净厂房对消防的要求很高，除了必须设置消 防给水系统及灭火器外，还应根据现行国家标准《建筑防火设计规 范》GB50016的规定设置固定灭火装置，特别是设有贵重设备、仪 器的房间更需认真确定。本次修订将本条的第2款作为强制性 条款。

8.1.1、8.1.2本次修订的理由是： （1)由于现有洁净厂房内，除给排水管道外的工业管道还包括 各类气体输送、液体输送和真空管道等，所以将本章扩大更名为 “工业管道”。据了解，目前洁净厂房内的工业管道干管、支干管均 基本敷设在上、下技术夹层、技术夹道或特殊的管廊内，这种方式 既可满足洁净室（区）生产工艺的需要，符合洁净室（区）布置和洁 净、美观的要求，又有利于各类管道的安装、维护。 （2）据调查了解，自前在洁净室（区）内的易燃、易、有毒物质 的输送管道大多采取明敷的方式，即包括这类物质输送管道的干 管、支干管和接至产品生产设备的支管均采取明数的方式，以便容 易发现这类物质在输送过程中可能发生的泄漏，有利手即时来取 抢数指施。但是由手各种原因，并不是所有的洁净室都来用明数， 也有的工程在采取必要的安全保护措施后，将这类物质的输送干 管、支干管敷设在技术夹层或技术夹道内，此时在技术夹层、技术 夹道内应设置可靠的气体泄漏报蓄和机板排风施，一且此类管 道发生易燃、易爆、有毒物质泄漏至技术夹层、技术夹道后，当超过 规定的浓度限值时，气体报警装置发出声光信号，并自动连锁开启 事故排风机，避免事故的发生，为此作了第3、4款的规定，第4款 为强制性条文。 （3)原规范规定的“管道及管架宜设装饰面板”，由于“装饰面 板”式样不明确，在实施中形式多样，且不统一，有的采用装饰不锈 钢套管，易于清洁、整齐光滑，有的仅为“象征性”措施，不能达到洁 净、美观的目的，甚基至不易清洁、维护，为此本次修订取消了此规定。

.1.3工业管道的管径通常应按输送物质的物化性质和具体工 理中所输送物质的流量、温度、压力和流速确定。其中流量、压力、 温度是依据产品生产工艺确定，但管内物料流速应按其物化性质、 状态合理确定。 各种物料在输送过程中应尽量减少污染，使停止使用时的物 料残留尽量少，并使管道系统易于吹除，因此各类工业管道系统应 尽量短，避免“盲管”等不易吹除的死角。 由于各类工业管道在投人使用前或检修前、后均应进行吹除、 排放达到预期洁净度或纯度要求，为此各工业管道系统应设必需 的吹除口、放净口，以确保各系统的安全、稳定运行。为进行物料 的化验、分析或吹除效果的取样，相应的管道系统还应设置取 群口。 鉴于各类工业管道输送的物料品种较多、纯度不同，不能做统 的强制性规定，为此将本条改为推荐性条文。 8.1.4本条规定工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应 有焊缝，是便于检查焊缝的焊接质量。为保持洁净室的空气洁净 度和室内正压规定，管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措 施，密封材料常用硅橡胶等填堵。 8.1.5可燃气体（包括城镇燃气、天然气、氢气等）和氧气管道系 统发生事故或气体纯度不符合要求时，需吹除置换，这些气体吹除 置换时不能排人室内，所以在管道末端或最高点应设放散管，以便 将气体排人大气。放散管的排放口应高出屋脊1m，以防止由于风 向的影响使排放的气体倒灌回室内。本条涉及可燃气体等管道系 统的运行安全，为此作为强制性条文规定。 8.1.6对气体纯度要求严格的生产工艺，如电子工业中电真空器 件、半导体器件、特种半导体器件、集成电路等生产工艺，从材料制 备到器件制造、封装、性能测试等工艺过程中各种高纯气中的杂质 含量将直接影响产品的合格率，如氢气用于硅外延时，在高温下氢 中的微量氧和水汽易与硅作用生成二氧化硅而影响完整结晶生

长，致使外延片的堆垛层错密度高，甚至变成多晶。 氮气在扩散过程中作为运载气时，如果含有氧和水汽易使硅 片表面氧化。故对净化装置的设置应根据气源和生产工艺对气体 纯度的要求，选择相应的气体净化装置。 为保证使用点气体纯度符合要求，规定气体终端净化装置宜 设在邻近用气点处以缩短高纯气体管道的长度，避免污染，气体终 端净化装置应该是距离用气点越近越好，但往往受各种条件限制， 难以实现，为此条文规定采用“宜”。 8.1.7在各种生产工艺过程中不仅对各种气体纯度要求十分严 格，而且对气体中含尘量也有相应严格的要求，有关专家指出，高 纯气体中含尘量比其纯度在一定意义上显得更为重要，因此规定 了根据不同的生产工艺要求设置相应精度的气体终端过滤器建筑标准规范范本，并 规定应设在靠近用气点。 在洁净厂房内一般设置预过滤器和高精度终端气体过滤器 预过滤器是设在净厂房气体入口室的干管上，作为预过滤，以减 轻终端过滤器的负担，并延长其使用寿命。 预过滤器的滤材通常采用多孔陶瓷管、多孔钢玉管、微孔玻璃 制品、微孔泡沫塑料、粉末冶金管、聚丙腈纤维等。 高精度终端气体过滤器是设在靠近用气设备的支管上。其滤 材采用超细玻璃棉高效滤纸、醋酸纤维素滤膜、粉末金属材料等。 8.1.8进人洁净厂房的气体、液体管道种类根据生产工艺的不同 确定，一般各种管道上均设有总控制阀门，压力表、流量计、过滤 器、调压装置、在线分析仪等，为安全可靠运行和方便管理，应将这 些控制装置、附件集中设置在气体、液体人口室或分配室内。 对于甲、乙类火灾危险生产用气体、液体入口室或分配室内 可能有可燃气体、液体管道如氢气、燃气等时，在与洁净厂房毗连 布置时，应按本条第1款的规定实施，据调查，现有的这类洁净厂 房大多均按此类要求进行布置，设在洁净厂房边跨靠外墙的房间 内，并应以耐火极限大于3.0h的隔墙与相邻房间分隔；还应设置

良好的通风措施，及时排除可能泄漏的可燃气体等，并应按现行国 家标准《建筑设计防火规范》GB50016的规定，设置必要的泄压面 积；电气防爆应按现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设 涉及洁净厂房的安全稳定运行，所以规定为强制性条文。

8.3.1工业管道的连接目前基本均采用焊接，主要是能确保管道 连接的严密性。镀锌钢管一般是螺纹连接，由于施工较麻烦且严 密性比焊接要难以保证，有少数单位采用焊接，它带来的问题是破 坏了管道原有的镀锌层，容易生锈，焊接时出现有刺激性的异味对

8.3.1工业管道的连接目前基本均采用焊接，主要是能确保管道 连接的严密性。镀锌钢管一般是螺纹连接，由于施工较麻烦且严 密性比焊接要难以保证，有少数单位采用焊接，它带来的问题是破 环了管道原有的镀锌层，容易生锈，焊接时出现有刺激性的异味对

人体有害，而且管道内壁有脱落的镀层给吹扫带来困难开污架气 体，为此本条规定镀锌钢管采用螺纹连接。 不锈钢管承插焊连接的好处是便于管道对中，方便焊接，缺点 是由于管道与承插件之闻有闻原，产生死角，吹扫时不易吹除干 净。对高纯气体要求高和严格的生产工艺会影响其产品质量，为 此规定采用对接焊并要求内壁无焊缝，它是氩弧焊接时不施加不 锈钢焊丝，利用焊件本身溶化填满焊缝。 8.3.2以往有些单位采用非金属软管两端加卡箍固定，优点是软 管连接管道柔软，长度随意，连接方便，但由于非金属管道对气体 和水的渗透性和吸附性都比金属管道差，而且易老化变形，极易造 成气体渗漏影响气体质量。现在金属软管品种多、规格全、连接方 式多样、使用寿命长，尤其对高纯气体不造成污染，虽价格较贵，但 综合比较是合适的，为此本次修订时推荐宜采用金属软管。 不同材料的管道对气体和水的渗透、吸附能力见表10

表10不同管道材料潜透性、吸附性比较

8.3.3本条规定高纯气体管道与阀门连接的密封材料采用金属 垫或双卡套，具体选择要随产品生产工艺对高纯气体质量的要求 和本身特性决定。金属垫这种密封形式（国外称CajonVCR形 武）严密性好、气体不渗漏和污染，通常用于高纯氢气或氮氢混合 气系统以及要求气体杂质十分严格的生产工艺，如集成电路亚微 米技术的前工序的各种气体管道，而干燥压缩空气管道则是采用 双卡套形式。 工业管道与阀门的法兰或螺纹连接处的密封材料，一般应根

据管内流过的物料性质、设计工况（压力、温度等）进行选用，由于 四氟乙烯材质具有较广泛的适应性，密封性能较好，为避免在洁净 室（区）内因物料泄漏影响洁净生产环境，所以推荐使用。 8.3.4由于洁净厂房中的工业管道可能有热管道或冷管道装饰标准规范范本，为避 免散热和结露应对此类管道进行绝热保温，故增加本条对保温材 料及外表面进行规定