1.0.1 为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量，并符合劳动卫生和环境保护的要求，制定本规范。
1.0.2 本规范适用千新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。
1.0.3 电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求，并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件。
1.0.4 电子工业洁净厂房的设计应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造必要的条件。
1.0.5 电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。

Cleanliness

设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的 状态运行，但无生产人员。

设施以规定的状态运行，有规定的人员在场服务质量标准，并在商定的状况 下进行工作

室内空气的流动形态和分布

沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。 垂直单向流和水平单向流。

利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员或物料美 着粒子的小室。

设置在洁净室出入口，阻隔室外或相邻房间的污染气流和压 差控制而设置的缓冲间。

在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧窗扇 的开启应进行联锁控制。

为把工作人员产生的粒子限制在最低程度所使用的发尘量少 的洁净服装。

2.0.21高效空气过滤器（HEPA）highefficlencyparticulate

在额定风量下，最易穿透粒径法的效率在99.95%以上 流初阻力在220Pa以下的空气过滤器。

在额定风量下，最易穿透粒径法的效率在99.9995%以上及 气流初阻力在250Pa以下的空气过滤器

将产品生产过程与操作人员、污染物进行严格分隔的隔离空 间。

由HEPA或ULPA与风机组合在一起，构成自身可提供动 力的末端空气净化的装置。

洁净厂房中以水平构件分隔构成的空间，用于安装辅助设备 和公用动力设施以及管线等

echnical tunnel

洁净广房中以垂直构件分隔构成的廊道，用于安装辅助设备 和公用动力设施以及管线等。

洁净厂房中主要以垂直构件分隔构成的井式管廊，用于安装 辅助设备和公用动力设施以及管线等。

消防人员为火火而进入建筑物的专用入口，平时封闭，使用时 由消防人员从室外打开。

2.0.30 纯水 pure water

杂质含量很少的水，其电解质杂质含量（常以电阻率表征）和 非电解质杂质（如微粒、有机物、细菌和溶解气体等）含量均要求很 少的水。

电子产品生产过程中，广泛使用的氢气、氧气、氮气、氩气、 等气体。

电子产品生产过程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷 化硅、氯气等气体。这些气体具有可燃、有毒、腐蚀或室息等

具有防止静电危害的特定环境，在此环境中不易产生静电 电产生后易于泄放或消除，静电噪声难以传播。

在材料的表面上两电极间所加直流电压与流过两极间的稳 流之商。

3.1.1电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要 求控制微粒和对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度 压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。 3.1.2生产环境设计应根据产品品种及生产工艺要求，对电子产 品生产过程需用的包括化学品、常用气体和特种气体、纯水等各种 介质的质量进行控制。 3.1.3洁净室（区）内产品生产过程所使用的工具、器具和物料 储运装置，其制作的材质和清洁方式应按生产工艺要求选择。 3.1.4洁净室（区）的空气洁净度等性能测试和认证应符合本规 范附录D的要求。

洁净室（区)设计时，空气洁净度等级所处状态（空态、静态、 动态）应与业主协商确定。

艺要求确定；无要求时，可按本规范附录A确定。

3.2.3洁净室（区)的温度和相对湿度应按表 3.2

3.2.4各类电子产品生产所需纯水水质、气体及化学品的

杂质含量等应根据生产工艺要求确定。 3.2.5单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于 65dB（A），非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60dB (A）。 3.2.6洁净室（区）的微振动控制设计应满足精密设备、仪器的振 动容许值要求。无要求时，可按本规范附录C或根据其工作特性 确

3.2.6洁净室（区）的微振动控制设计应满足精密设备、仪器的振 动容许值要求。无要求时，可按本规范附录C或根据其工作特性 确定。

4.1位置选择和总平面布置

4.1.1洁净厂房位置的选择，应根据下列要求经技术经济比较后 确定： 1应布置在大气含尘和有害气体或化学污染物浓度较低、自 然环境较好的区域； 2应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和 有害气体或化学污染物的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振 动或噪声干扰或强电磁场的区域。不能远离严重空气污染源时， 则应位于全年最小频率风向下风侧； 3在厂区内应布置在环境清洁、污染物少、人流和物流不穿 越或少穿越的地段。 4.1.2洁净厂房净化空调系统的新风口与城市交通干道之间的 距离（相邻侧边沿）宜大于50m。当洁净厂房与交通干道之间设有 城市绿化带时，可根据具体条件适当减少，但不得小于25m。 4.1.3对于有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定 周围现有振源和模拟振源的影响，并应与容许振动值比较分析后 确定。

4.1.4厂区总平面布置时，应按洁净生产、非洁净生产、辅助生

求，按组合式、大体量的综合性厂房布置。 4.1.5洁净厂房周围及其周边的道路面层，应选用整体性能好、 发尘少的材料。

两长边侧设消防车道。消防车道的设置应符合现行国家标准《建 筑设计防火规范》GB50016的有关规定

4.2.1洁净室可根据电子产品生产工艺特点、空气洁净度等级和 布置要求分为隧道式、开放式和微环境等，也可按气流流型分为单 向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。 4.2.2电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间，应包括活动 出

布置要求分为隧道式、开放式和微环境等，也可按气流流型分为单 向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。 4.2.2电子工业洁净厂房垂直单向流洁净室的空间，应包括活动 地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。 4.2.3洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少 投资和降低运行费用等因素确定，各种空气洁净度等级的电子工 业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格 时，宜采用微环境等型式。

4.3洁净室布置和综合协调

4.3.1洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动 力区，并应符合下列要求： 1洁净室（区）人员净化、物料净化和各种辅助用房，应合理 分区布置； 2生产工艺或生产设备有特殊要求时，宜分隔为单独的房 间； 3生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分 类、集中布置或与其他生产房间分隔； 4发热量、发尘量大的生产工序或生产设备，宜与空气洁净 度要求严格的房间分隔布置； 5洁净室（区)的辅助设备、维修间等技术支持区，宜集中布 置在洁净室（区）的相邻房间，技术支持区的空气洁净度等级应低

于洁净室（区）的等级； 6若需在洁净室（区)内设置洁净电梯时，应采取气闸间、洁 净送风措施； 7应符合有关防爆、防火、消防等要求。 4.3.2洁净室（区)的空间布置应满足下列要求： 1生产设备、物料运输系统应根据产品生产工艺要求布置： 并应做到有效、灵活和操作方便； 2各类管线的空间布置应满足生产工艺、安全间距和维修要 求， 3终端高效空气过滤器、照明灯具和各种公用动力设施的布 置，应满足生产工艺、洁净度等级、安全生产和维修要求； 4洁净生产层的高度应按生产设备、微环境装置和物料运输 设备的外形尺寸确定。技术夹层高度应根据具体工程要求确定。

1按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或 房间之间，或有防火分隔要求时，应设隔墙； 2在电子产品生产过程中，经常不同时使用的两个生产区段 或房间之间； 3生产过程中排放影响产品质量的有害气体或化学污染物 的工序、设备，宜分隔设独立房间。 4.3.4洁净厂房的布置应综合协调生产操作、设备安装和维修、 公用动力管线、气流流型以及净化空调系统等各类技术设施的需 要，

品生产工艺改造和扩大生产预留必要的条件。 5.1.2洁净厂房工艺设计应确定各种生产条件，在满足电子产品 生产要求的前提下，应做到安全性能好、建设投资少、能量消耗少、 运行费用低、生产效率高。

5.1.2洁净厂房工艺设计应确定各种生产条件，在满足电子产品

5.1.3洁净厂房工艺设计应根据产品生产工艺和空气洁净E

5.2.1洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程、洁净室的气 流流型、工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定。 在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路 线和物料传输布置时，应采取避免发生气流于扰和交叉污染的措 施。

5.2.2工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉，宜

人员人口、物料人口和设备出人口，并应在各自的入口处设置 的净化设施。

5.2.3在满足生产工艺和微振控制、噪声控制等要求的前

5.2.4洁净室（区）内要求空气洁净度严格的工序（设备

污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧。

污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧。 5.2.5工艺布置时，应根据大型生产工艺设备的运输、安装、维修 的要求设置运输通道、安装口或检修口。 5.2.6洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室（区）之间联系 频繁时，应采取防止污染的措施

5.3.1人员净化用室和设施应根据洁净室的规模、空气洁净度等 级设置，并应设置生活用室。人员净化用室宜按图5.3.1的人员 净化程序进行布置。

图531人员净化程序

5.3.2人员净化用室，应根据换鞋（净鞋）、更外衣、更洁净 等的需要设置。雨具存放、厕所、盟洗室、淋浴室、休息室等 房和空气吹淋室、气闸室、洁净工作服洗涤间及干燥间等其 室，可根据需要设置。

洁净室的规模、空气洁净度等级和洁净室内工作人员数量等

1净鞋设施应设在洁净室人口处； 2更换外衣和更换洁净工作服用室不应设置在同一房间内： 3外衣存放柜应按洁净室(区)内设计人数配置；

4应设置存放洁净工作服，且带有空气净化的存衣设施； 5 应设置感应式洗手和烘干设施； 6厕所宜设在进入人员净化用室之前，需设在人员净化用室 内时，应设置前室。

5应设置感应式洗手和烘干设施； 6厕所宜设在进入人员净化用室之前，需设在人员净化用室 内时，应设置前室。 5.3.5洁净厂房空气吹淋室的设计，应符合下列要求： 1在洁净室（区）的入口处宜设空气吹淋室。当不设空气吹 淋室时，应设气闸室； 2吹淋室应设在更换洁净工作服后的相邻部位； 3单人空气吹淋室，应按最大班人数每30人设一台。洁净 室（区）工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门： 4空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措 施； 5空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室 （区），宜设气闸室。 云

5.3.5洁净厂房空气吹淋室的设计，应符合下列要求：

5.3.6人员净化用室和生活用室的空气洁净度等级，宜由5

洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净室 （区）的空气洁净度等级；当设有洁净工作服洗涤室时，洗涤室的空 气洁净度等级宜为8级。

5.4.1洁净室（区）内的设备和物料出入口，应独立设置，并 据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应物 施。

4.2物料净化用室与洁净室（区）之间应设置气闸室或传递窗

5.1洁净室（区）内应采用具有防尘、防污染的生产设备和辅 生产设备，并应符合下列要求：

1表面应光洁、易清洁、不积尘、不挥发化学物质； 2设备的传动部件等应密封性能好，并应防止润滑油、冷却 剂等的泄漏； 3对生产中发尘、排热量大或排出有毒、可燃气体的设备，应 采取防扩散措施， 4设备的金属外壳应设置接地设施。 5.5.2当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室（区） 时，宜采取密封隔断措施。 5.5.3洁净室（区）内的设备宜选用低噪声产品。当所选设备超 过洁净室噪声容许值时，应采取隔声措施。 5.5.4洁净室（区）应设置对电子产品生产过程所使用的工器具 进行净化处理的设施。 5.5.5洁净室（区）内，电子产品生产过程中各种零、部件存放和 传送，宜采用专用容器。用于存放和传送的专用容器，应符合下列 规定： 1制作材料应光洁、不吸湿、不锈蚀、不散发污染物、防静电， 并在空气中不应被氧化； 2应密封性能好； 3当存放物有严格的洁净度要求时，宜充填高纯度或干燥氮气； 4构造、外形应满足生产工艺要求，并应方便操作和运送。 5.5.6洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定： 1使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排 入排气系统； 2对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过爆炸下 限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀 释可燃气体组分； 3传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不 燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备 操作系统联锁。

1使用油润滑的真空泵应设直除油装直，除油后尾 入排气系统； 2对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过爆炸下 限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀 释可燃气体组分； 3传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应菜用不 燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备 操作系统联锁。

1.5设有上技术夹层、下技术夹层的净厂房的建筑平面、空 布局和构造，应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设放 装和维修的要求。

的建筑设计应满足各种风管和各种动力管线安装和维修的 穿越楼层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖并。技术竖井 式、尺寸和构造应满足风管、管线的安装、检修和防火要求

6.1.8洁净厂房内的通道宽度应满足人员操作、物料运输、设备 安装和检修的要求。

6.1.8洁净厂房内的通道宽度应满足人员操作、物料运输、设备

6.2.1洁净厂房的耐火等级不应低于二级。

2.2洁净厂房内生产工作间的火灾危险性，应符合现行国家 圭《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。火灾危险性分 例见本规范附录B。

6.2.2洁净厂房内生产工作间的火灾危险性，应符合现行国家标

6.2.3洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准《建筑

6.2.6在综合性厂房的一个防火分区内，洁净生产区域与一般生

1每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数 目，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规 定； 2安全出口应分散布置，并应设有明显的疏散标志；安全疏 散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有 关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启，并应设观察玻璃窗； 3丙类生产的电子工业洁净厂房，在关键生产设备自带火灾 报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m

6.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良 好，且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其 密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修 材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规 范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50， 材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的 烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。

1应满足使用功能的要求，且表面应平整、光滑、不起 免眩光、便于清洁，并应减少凹凸面， 2当采用踢脚时，踢脚不宜突出墙面。

6.3.3洁净室楼地面设计应符合下列要求

电子产品生产工艺和设备安装

2应平整、耐磨、易清洁、不易积聚静电、避免眩光、不开裂、 耐撞击等； 3地面宜配筋，并应做防潮构造。 6.3.4洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚应满足使用功能要求，且 表面应平整、光滑。位于地下的技术层或技术夹层应采取防水或 防潮、防霉措施。

6.3.5当洁净厂房设置外窗时，应采用双层固定窗，并应有良好

6.3.6洁净室（区）门窗、墙壁、顶棚、地面、楼面的设计应

1应满足使用功能的要求，构造和施工缝隙应采取密闭措 施； 2顶棚以上的技术层或技术夹层宜设检修通道， 3 洁净室（区）不宜设窗台； 4当地面采用活动地板时，活动地板材质和支撑方式应根据 电子产品生产工艺要求选择。 6.3.7用于电子产品生产的洁净室（区）的墙板和顶棚，宜采用轻 质辟板构造

7.1.6洁净室（区）与周围的空间应保持一定的静压差，静压

法或换气次数法确定。 7.1.8送风、回风和排风系统的后闭联锁、控制要求，应符合现行 国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。 7.1.9非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送 风，并应进行净化处理。 7.1.10洁净室（区）的清扫方式应根据洁净）房的规模、空气洁 净度等级等因素确定。洁净室（区）宜采用移动式高效真空吸尘 器。对于空气洁净度等级为1～5级的洁净室宜设置集中式真空 吸尘系统，洁净室内的吸尘系统管道应暗敷

7.2气流流型和送风量

7.2. 1 气流流型的设计,应符合下列要求:

，2，1气流流型的设计，应衬合下刻安求： 1气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。 空气洁净度等级为1～5级时，应采用单向流或混合流；空气洁净 度等级为6～9级时，宜采用非单向流； 2洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺和工作人员健 康的要求。 7.2.2洁净室的送风量，应符合现行国家标准《洁净广房设计规 范》GB50073的有关规定。 7.2.3洁净室（区）所需的满足空气洁净度等级的洁净送风量和 气流流型,宜按表 7. 2. 3 计算。

范》GB50073的有关规定。

.2.3洁净送风量（静态）和气流流

注1换气次数适用于层高小于40m的洁净室 2室内人员少、热源少时，宜采用下限值。

3.2洁净厂房的洁净室（区）送风方式可分为集中送风、隧道 风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室（区）使用功能和 能量消耗的要求，经技术经济比较，采用运行经济、节约能源的 风方式。

7.3.3净化空调系统新风的室外吸入口位置，应远离本建筑

他建筑物排放有害物质或可燃物的排气口。

1在生产过程中向车间内散发的有害物质超过规定时； 2采用局部处理不能满足卫生要求时： 3对其他工序有危害或不能避免交叉污染时，

7.3.6净化空调系统需设置电加热时，应选用不产尘的电

7.3，8根据气象条，存在冷冻可能的地区：新风系统应采取防 冻保护措施

7.4.1空气过滤器的选用和布置应符合下列要求：

土建标准规范范本4.1空气过滤器的选用和布置应符合下列要求： 1空气过滤器应根据空气洁净度等级选用：

4.1空气过滤器的选用和布置应符合下列要求：

2空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量； 3中效高中效)空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段； 4高效（亚高效)空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端； 超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端； 5同一净化空调系统内末端安装的高效（亚高效、超高效）空 气过滤器的阻力、效率应相近； 6同一净化空调系统内末端安装的高效（亚高效、超高效）空 气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近； 7对化学污染物有控制要求的洁净室（区），在净化空调系 统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置； 8高效（亚高效、超高效）空气过滤器应采用不燃或难燃材料 制作。 7.4.2 风机过滤器机组的设置应符合下列要求： 1 应根据空气洁净度等级和送风量选用； ? 2 应按洁净室（区）内生产工艺对气流流型的要求布置， 3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的 规定； 4 送风量应能调节； 5 应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时， 外壳强度应满足检修要求。 7.4.3层流罩的设置应符合下列要求： 1 洁净室（区）内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层 流罩； 2层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选 用； 3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的 规定； 4安装方式不应影响生产操作。

1当生产工艺或设备对空气洁净度等级、外扰或温度、相对 湿度有较高要求，且所控区域不大时，宜采用微环境装置； 2微环境装置宜与生产工艺设备配套； 3在不影响工艺操作的前提下，应具有可靠的密闭性，内外 表面应平整、光滑； 4围挡构造、材料的选用应方便生产操作。 7.4.5干表冷器的设置应符合下列要求： 1安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确 定； 2迎面风速、结构形式应根据洁净室（区)冷负荷、风机过滤 器机组所提供的机外余压确定； 3冷冻水进水温度，宜高于洁净室（区）内空气的露点温度； 4应设置排水设施。 7.4.6净化空调系统空气处理机组的选用和布置，应符合下列要 求： 1应有良好的气密性，漏风率不得大于1%； 2整体结构应有足够的强度和刚度，内表面应平整、光滑，外 表面不应结露； 3布置应整齐，并应便于运行和维修；当多套空气处理机组 为同一洁净室（区）服务时，宜选用相同规格的空气处理机组； 4送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统 的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时，中效（高中 效）、高效（亚高效、超高效）空气过滤器的阻力宜按其初阻力的 1.5~2.0倍取值； 5应设置排水装置。

无缝钢管标准7.5.1空气洁净度等级严于8级的洁净室（区）不应采

7.5.2洁净厂房内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备：