7.2.2设备应按到货及搬人顺序安排存放位置， 7.2.3化学品输送用设备、材料检验合格后应放置在通风、干净 的仓库内。 7.2.4塑料管材应按不同规格放置在不同的货架上，并应采取防 止管材弯曲变形的措施，不得靠近目晒、高温及产尘的场所。 7.2.5阀门、组装箱、阀箱及三通箱等易碎材料应单独设置存放 区。 7.2.6电气材料存放时不得损坏外包装，电缆、光纤等材料不得 损坏外部保护层。 7.2.7化学品单元柜体进场验收应符合下列要求： 1柜体的材质应符合本规范第3.4.1条的规定； 2柜体的设置应符合施工图或设备采购文件的要求； 3柜体应附带出厂检验报告和产品合格证； 4 柜体应附带化学品种类、容量、补充日期条形码的读码 机。 7.2.8化学桶槽和储罐进场验收应符合下列要求： 1 桶槽和储罐的材质应符合本规范第3.4.1条的规定； 21 储罐应有检修盖、通气管、防虫网及检修用不锈钢爬梯及 护笼； 3桶槽和储罐外部明显处应有黑底白字标示标明桶槽编号 及内含药品的名称； 4桶槽和储罐应附带出厂检验报告和产品合格证： 5桶槽和储罐应附带铁件的结构计算书； 6桶槽或储罐为压力容器时，应附带压力容器制造资质、质 量检验合格证明。

7.3.1设备搬运前，应对搬运的路面和道路两端进行详细勘查， 并应拟定运输方案，同时应提出安全措施和搬运措施。

7.4，1施工公司应按批准的工程设计文件和施工技术标准进行 施工，施工公司对已批准的设计提出变更时，应由原设计单位发出 变更通知单，设计变更单应由原设计单位直接下发给建设单位，施 工单位应负责实施更改，监理单位应监督实施。 7.4.2配管工程使用的主要材料、配件、设备等应检验合格，规 格、型号及性能应符合设计要求。 7.4.3法兰、焊缝和各种连接件的设置应便于检修，不得紧贴墙 壁楼板或管架

水利软件、计算7.7溶剂化学品管道安装

7.7.1不锈钢管道应采用自动轨道氩弧焊，氩气纯度应为 99.999% 7.7.2操作人员在作业过程中应鼓洁净手套，裸手不得接触管道 内壁。 7.7.3材料保管、清洗、预制应在洁净室进行。 26

7.7.4管外径小于或等于12.7mm的管道切割应使用不锈钢管 切管器，切割后应用平口机处理管口，然后用专用倒角器将管口内 外毛刺处理圆滑，管切口端面应垂直、无毛刺、无变形。 7.7.5平口机加工余量应为壁厚的10%～20%，且加工时应采 用纯度为99.999%的高纯氮气吹扫。加工后端管口应向下，另一 端应用高纯氮气快速吹扫，严禁将刚切割完毕的管道口向上。 7.7.6管外径大于12.7mm的管道宜使用不锈钢管切管机，切 割时严禁使用润滑油。切口端面应垂直、无毛刺、不变形，并应满 足不加丝自动焊要求。 7.7.7管道吹扫完毕，应用不产尘的洁净布沾上丙酮或酒精将 切口处清洗干净后迅速用洁净管帽或洁净纸胶带将管道口密封， 发现有破损应及时处理。 7.7.8管道焊接应符合下列规定： 1施工人员在工程开工前应将该工程所用各种规格的道 焊接式样、焊接合格确认单提交建设单位项目技术负责人签字认 可，并应保留已通过测试的样品； 2焊接合格确认单中应记录焊接设备规格型号、焊接参数、 焊接时间、焊接人员、检验员： 3焊接试验应在每天正式焊接前、每次更换焊头和钨棒后、 焊机连续焊接超过4h后进行，并应经检验员检查合格并填写焊接 合格确认单后再正式施焊； 4焊缝合格标准为管内焊缝突起高度不应大于管道壁厚的 0%，管外焊缝宽度应为3.0mm，管内焊缝宽度应为2.0mm，焊 缝应无下陷、未焊透、不同轴、咬边缺陷等情况，内外表面应无氧化 膜、无烧伤： 5应用不锈钢丝刷趁热除去管外焊缝两边的暗色膜至光亮； 6焊接时管内应充纯度为99.999%的氟气，且在施工过程 中不应中断供气，管外径为6.0mm~114.0mm的流量应分别为 5L/min～15L/min，未焊接时的流量应为焊接时流量的1/4；

7管道焊接应正确选择焊接参数，焊接参数应包括钨棒电极 规格及加工尺寸，以及焊接电流、焊接速度、回转延缓时间等数据； 8，焊机应使用专用配电箱，电源电压不稳定时应使用自动稳 压装置供电，焊机本体应可靠接地： 9焊接过程中应做焊接记录.焊口应统一编号，并应标明作 业时间、焊接作业人、焊接主要参数等，同时应与单线图的焊口编 号一致。 7.7.9不锈钢管道安装应符合下列要求： 1预制管段封口应完好，管内应无污染； 2法兰连接垫片材质应符合设计要求，且垫片应洁净无油 无污物； 3管道安装应按管道图顺气流方向依次进行，且应充氩气保护； 4不锈钢管不得与碳钢支架、管卡接触，应采用塑料垫隔离 或采用同材质支架、管卡。 7.7.10充氢气保护应持续不间断至管道系统安装结束。 7.8废液管道施工 7.8.1废液管道CPVC、UPVC的施工应与一般PVC管道相同 7.8.2管道连接应符合国家现行标准《给水排水管道工程施工及 验收规范》GB50268、《建筑排水硬聚氟乙烯管道工程技术规程》 CJJ/T29、《建筑给水排水及采服工程施工质量验收规范》GB 50242的有关规定。

7.9.1标识粘贴应在设备及管道油漆、清洁与绝缘完成后进行， 并应逐点检查每个系统连接的正确性，阀门应有与图纸相同的编 号并应有显示开关的状态显示牌。不同的化学品应用不同的额 色标记，且应标明化学品的名称及流向。 7.9.2标识牌材质应耐久、安全、易辨识

7.10管路与系统检测

7.10.1管路与系统检测的内容应根据电子生产工艺要求确定， 并应按合同规定在工程完工后进行。 7.10.21化学品系统工程的检测项目应包括强度试验、严密性试 验、泄漏性试验、洁净度测试、电气性能测试，以及合同要求的测 试， 7.10,3 管路强度试验、严密性试验及泄漏性试验应符合表 7.10,3的规定

表7.10.3管路强度试验、严需性试验及流温性试验

管道洁净度测试应在对管道系统进行冲洗、吹扫后进行：

2颗粒测试应通过取样阀取样测试，单位容积内的颗粒数应 符合工艺系统的要求，无特殊要求时，0.1jum颗粒应小于5粒/ml。 7.10.6电气设备的绝缘应符合现行国家标准《建筑电气工程施 工质量验收规范》GB50303的有关规定。 7.10.7易燃易爆溶剂化学品管道防静电接地电阻值检测不得大 于1000

7.11改建工程的施工

7.11改建工程的施工

7.11.1化学品供应系统改建施工时应符合下列规

12.1电子工厂化学品系统工程的峻工验收，应符合现行国家

标准（建筑工程施工质量验收统一标准》GB50300的有关规定，并 应符合下列要求： 1峻工验收应在施工单位自检合格的基础上进行，并应按检 验批、分项、分部工程的程序进行验收，同时应做好验收记录； 2建设单位接到安装工程施工单位提交的工程峻工验收报 告》后，应组织施工、监理等单位进行工程峻工验收，峻工验收应根 据本规范及施工技术文件要求进行，合格后应办理峻工验收手续； 3电子工厂化学品系统工程验收时，应检查分项工程质量验 收记录和分部工程质量验收记录，记录及签字应正确、齐全； 4电子工厂化学品系统工程的验收应按一个独立的分部工 程进行； 5检验批可根据施工及质量控制和专业验收需要按施工段 划分。 7.12.2工程质量验收程序和组织应符合下列要求： 1检验批的质量验收记录应由施工项目专业质量检查员填 写，监理工程师或建设单位项目专业技术负责人应组织项目专业 质量检查员等进行验收： 2分项工程质量应由监理工程师或建设单位项目专业技术 负责人组织项目专业技术负责人、项目专业质量检查员进行验收； 3分部工程在提请验收前应由施工单位组织进行相关的数 据检测，并应形成测试报告；应由总监理工程师或建设单位项目负 责人组织施工单位项目负责人和技术、质量负责人及建设单位相 关人员进行验收； 4分部工程验收后应完善经各方签字的书面记录： 5分部工程验收数据应合并到单位工程峻工数据中。 7.12.3电子工厂化学品系统工程峻工验收提供的资料应包括下 列内容： 1安装工程施工单位提交的《工程峻工验收报告》； 2设备和主要材料合格证、质量保证书、进场检验报告及使

正确理解和执行条文规定，本规范编写组按章、节、条、款、项的顺序编制了本标准的条文说明，对条文规定的目的、依据以及执行中目次需要注意的有关事项进行了说明。但是，本条文说明不具备与规范正文同等的法律效力，仅供使用者作为理解和把握规范规定的参考。1总则(41)3化学品供应系统(42)3.1一般规定(42)3.2化学品供应设备(43)3.3化学品供应管道系统(46 )3.4设备与管道材质(47)3.5管道标识(47)4化学品回收系统(48)4.1一般规定(48)4.2化学品回收设备(48)4,3化学品回收管道·(49)5.化学品监控及安全系统(50)5, 1一般规定(50)5. 2监控与安全设备(50)5.3监控与安全系统(50)6相关专业设计(53)6. 1建筑构造(53)6.2电气与仪表控制·(54)6. 3给水排水及消防·(55)6. 4通风与空气调节：(56)工程施工及验收(59)7, 1一般规定(59)7.2设备、材料进场验收(59)7.3设备安装(6 0 ). 38 ·

3.2化学品供应设备

制定本条规定的依据和参考资

了在系统流量过大或不符合工艺要求时，系统能够自动停机。 3.2.3制定本条规定的依据和参考资料如下 1滚筒输送台用于运送200L化学品桶槽； 2补充单元为封闭柜体，补充单元柜体与供应单元柜体有许 多相似之处，所以规定补充单元的其他设计应符合本节3.2.1条 的相关规定。 3.2.4压缩空气是化学品单元柜体气动元件的动力源。 3.2.5制定本条规定的依据和参考资料如下： 1化学品系统是电子工厂的重要支持系统，为保证系统不间 断运行，循环泵的设计应二组并联，一台备用； 2电子工厂常用浓度计有超声波浓度计、电导式浓度计、滴 定式浓度计： 3连续式是采用流量计并搭配静态搅拌器系统，批次式是采 用高精度泵称并搭配循环系统； 4稀释单元为封闭柜体，补充单元柜体与供应单元柜体有 许多相似之处，所以规定补充单元的其他设计应符合本节3.2.1 条的相关规定。 3.2.6可燃溶剂化学品供应单元设计热感应与火焰探测器是为 了快速发现可燃溶剂化学品的泄漏及火灾隐患，及时启动二氧化 碳消防灭火系统。 3.2.7/制定本条规定的依据和参考资料如下： 1化学品储罐用氮气密封是为了防止化学品与空气接触，污 染系统； 2检修口与不锈钢爬梯用于储罐检修： 3为防止化学品储罐在非正常情况下压力过高、破坏设备 规定氮气输送时，化学品储罐应设爆破膜、安全阀等泄压装置； 6为满足电子工厂在工艺系统技改时对化学品的要求以及 在储罐或系统维修时放空储罐，规定储罐应预留必要的管路出入 口，并应设排放口及排放阀

3.2.8制定本条规定的依据和参考资料如下

泄漏废液收集沟，沟内应设置废液收集池。3.4设备与管道材质3.2.10制定本条规定的依据和参考资料如下：3.4.1根据常识，化学桶槽、储罐、管道、管道附件的本体或内壁1为满足电子工厂在工艺系统技改时对化学品的要求，规定应采用不与化学品起反应的材料，本节中的推荐材料为目前电子阀门箱内支管数量按工艺要求确定，宜预留扩充的管接头：每一支工业化学品供应系统较为常用的材料，随着材料技术的不断进步管应设有手动阀、自动阀及排液阀，这些阀门的配置是操作所必须及相关人员技术水平的不断提高，新的材料一定会不断出现，因的；此，本节中推荐的材料仅供设计、安装及业主参考。3.4.2化学品供应管道上的阀门密封材料的选择所遵守的基本措施；法则就是与输送的介质不发生化学反应，而PFA或PTFE材质是4阀门箱是需要经常打开的设备，弹簧扣环容易打开，可以目前较为广泛使用的密封材料，条文中予以推荐采用。满足该项操作功能，从安全角度考虑规定阀箱承受大于0.01MPa3.4.3化学品管道材料的选择所遵守的基本法则就是储存与的压力，输送的介质不应该与其发生化学反应，在美国消防协会颁布的3.3化学品供应管道系统NFPA318《洁净室防护标准》第5.2.6条的例外说明：“易燃液体的加压输送系统容许用非金属管道输送，但是必须置于熔点3，3，1电子工厂的化学品属于危险性物质，管道架空数设有利于高于1093℃（2000F）的金属制造的外壳内”。管道的运行管理，可及时发现间题并便于维修。3.3.2化学品供应管道设计流间一般应从下在上，这主要是为了3.5管道标识消除系统中的气泡，利于介质的流动。3.5.1~3.5.4化学品管道标识主要依据现行国家标准《化学品3.3.3为防止管路中的下述部位发生泄漏，规定酸碱类、研磨液、安全标签编写规定》GB15258、《常用危险化学品的分类和标识》第硬性落剂化学品双套管的内管应无焊接点，任何存在转接头、三GB13690及《工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识>GB通、大小头、焊接等连接点的部位都应安装在箱体内。7231的有关规定，结合电子工厂的实际情况作出了具体管道标示3.3.4由于研磨液化学品的黏度较大，辅送较为困难，规定研磨要求。液化学品管道应尽量缩短化学品供应设备到使用点的距离，并尽量减少弯头数量。3.3.5非腐蚀性溶剂类化学品通常具有易燃易爆性质，同时考虑电子工艺对化学品纯度的要求，规定该类化学品采用不锈钢管道。3.3.7条文中关于管道与阀门、设备连接时，应采用阀门、设备相同的连结方式是指阀门、设备配置的如法兰、双卡套、扩口、人珠、焊接等连接方式。· 47 , 46 ·

5化学品监控及安全系统

5.1.1根据我国电子工厂化学品系统的运行经验与实际情况，电 子工厂的化学品系统应设化学品监控及安全系统。 5.1.2电子工厂用化学品基本上都属于危险性物质，在化学品设 备及其环境设置化学品泄漏探测器是安全生产的必要保证。 5.1.3当化学品发生泄漏时，泄漏探测器的报警信号连接至安全 系统，可以提示操作人员或系统自动完成处理程序，告知员工采取 保护个人、防止事故扩大的正常措施

5.2.1根据我国电子工厂化学品系统的运行经验与实际情况，电 子工厂化学品系统往往设计一台主可编逻辑控制器及两台或以上 工业级个人计算机作为数据监控与采集系统的操作接口，并配备 打印机。 5.2.2从设备与人员安全角度出发，数据监控与采集系统计算机 应设于化学品控制室内。 5.3监控与安全系统

5.3.1制定本条规定的依据和参考资料如下

独立设置，并与工厂设备管理控制系统和消防报警控制系统通过 数据总线相连； 3为便于集中管理，规定化学品监控系统设置在主厂房独立 房间或全厂动力控制中心，消防控制室和应急处理中心设化学品 报警显示单元是为了工厂了解化学品系统的应急工况，在危机情 况下能够统一协调，处理危机。 5.3.2本条是对电子工厂中设置化学品探测器位置的区域或场 所的规定。 1化学品使用的工艺设备、化学品供应设备箱柜、桶槽和阀 门箱、化学品的双层管线、化学品储罐的防火堤、隔堤等是化学品 容易发生泄漏及易积聚处，因此，条文规定在这些位置应设置化学 品泄漏探测器，并在发生泄漏时发出声光报警； 2溶剂化学品使用的工艺设备、应急排风口及其房间，溶剂 化学品供应设备箱柜、应急排风口及其房间，有机化学品桶槽、阀 门箱、应急排风口及其房间，溶剂化学品双层管线内，是化学品容 易发生泄漏、易积聚处，因此，条文规定在这些位置应设置有机化 学品气体探测器，并在发生泄漏时发出声光报警； 3根据《石油化工企业可燃气体和有毒气体检测报警设计规 范》SH3063一1999第5.3.2条规定：可燃气体一级报警设定值小 于或等于25%LEL；可燃气体二级报警设定值小于或等于50% LEL；有毒气体报警设定值小于或等于1TLV。一级报警后，即使 化学品浓度发生变化，报警仍应持续，只有经人工确认并采取相应 的措施后才能停止报警； 4为了随时掌握化学品系统的运行与储存状况，本条要求监 控系统连续工作。 5.3.3制定本条规定的依据和参考资料如下： 1根据工程实际情况，规定了设置闭路电视监控摄像机与门 禁系统； 2工程实际情况中，安全管理显示屏一般安装在洁净室人口

服务台处，其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀 门等措施：以TCP/IP网络联机方式连接至洁净室入口服务台处 的服务器；在洁净室入口服务台处及值班室的工作站，可键人日常 信息，在安全显示屏上显示：为此作了本款规定： 3因为危险化学品一且发生泄漏等安全事故，将对电子类工 厂的生产与人员生命安全带来重大威胁，为此，本条规定在这些化 学品的储存、分配、使用场所内及相关建筑主入口、内通道等设置 明显的灯光闪烁报警装置，提醒人员注意，采取防范措施。 5.3.4本条是关于化学品报警的联动控制的规定， 1本条规定在确认化学品泄漏后，为确保生产车间和化学品 系统的安全、作业人员安全撤离，应采取各项联动控制，启动显示、 记录功能，一且化学品泄漏后，切断阀、排风装置与化学品探测器 联动，自动启动相应的事故排风装置、关闭切断阀，切断化学品来 源； 2为了保护人员的生命安全，规定当化学品探测系统确认化 学品泄漏时.应启动泄漏现场的声光报警装置·提醒作业人员采取 应急措施和迅速离开事故现场 3为保障生命安全，在化学品探测系统确认化学品泄漏时， 本条规定安防系统应关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门，自 动释放门禁门，可联动闭路电视监控（CCTV）系统，启动相应区域 的摄像机，并自动录像： 4为了保护人员的生命安全、并考虑工厂生产不会因为地震 仪的误动作造成不必要的恐慌而影响生产，规定只有当其中任两 组同时检测到单氏5级以上地鑫并报警时，才应启动现场的光 报警装置，并将警报讯号传送至工厂设备管理控制系统，立即执行 联锁控制功能，国外电子工厂地震探测装置运用较普通，一般设 置三组地震探测装置（设置位置根据地震仪特性及现场环境因素 确定）

6.1.1根据国家现行标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关 规定，本条规定甲、乙类化学品间的耐火等级不应低于二级。 6.1.2易燃易爆溶剂化学品间应采取非燃烧体轻质屋盖、轻质墙 体作为泄压设施，易于泄压的门、窗也可作为泄压设施，并应符合 现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。易燃 易爆溶剂间发生事故将直接危害工作人员的生命安全并造成财产 损失，因此，本条为强制性条文，必须严格执行。 6.1.3本条规定了易燃易爆溶剂化学品间安全出口的设置数量 安全出口对保证人和物资的安全疏散极为重要。化学品房间至少 应有两个安全出口，可提高火灾时人员安全疏散的可靠性。但对 化学品房间面积较小时仍要求两个出口有一定的困难，为此规定 了化学品房间设置一个安全出口时应具备的条件。对有爆炸危险 性的房间因火势蔓延快、对人员安全影响大，因而在面积控制上要 求严格些。 6.1.4本条编制根据现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016一2006第3.3.9条“厂房内设置甲、乙类中间仓库时，其储 量不宜超过1昼夜的需要量，中间仓库应靠外墙布置并应采用防 火墙和耐火极限不低于1.5h的不燃烧体楼板与其他部分隔开"的 规定制定，易燃易爆溶剂化学品和氧化性化学品一旦发生火灾，其 燃烧时间较长，因此，规定该房间与其他房间之间的隔墙为实体防 火墙.既可以满足防爆要求，也可以满足防火要求，若当设置双门 斗相通时，应采用甲级防火门窗，门窗的耐火极限不低于1.2h。 6.1.5考虑电子工厂用化学品的易燃、易爆、质蚀性、氧化性的特 ?53·

6.1.1根据国家现行标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关 规定，本条规定甲、乙类化学品间的耐火等级不应低于二级。 6.1.2易燃易爆溶剂化学品间应采取非燃烧体轻质屋盖、轻质墙 体作为泄压设施，易于泄压的门、窗也可作为泄压设施，并应符合 现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。易燃 易爆溶剂间发生事故将直接危害工作人员的生命安全并造成财产 损失，因此，本条为强制性条文，必须严格执行。 6.1.3本条规定了易燃易爆溶剂化学品间安全出口的设置数量 安全出口对保证人和物资的安全疏散极为重要。化学品房间至少 应有两个安全出口，可提高火灾时人员安全疏散的可靠性。但对 化学品房间面积较小时仍要求两个出口有一定的困难，为此规定 了化学品房间设置一个安全出口时应具备的条件。对有爆炸危险 性的房间因火势蔓延快、对人员安全影响大，因而在面积控制上要 求严格些。 6.1.4本条编制根据现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016一2006第3.3.9条“厂房内设置甲、乙类中间仓库时，其储 量不宜超过1昼夜的需要量，中间仓库应靠外墙布置并应采用防 火墙和耐火极限不低于1.5h的不燃烧体楼板与其他部分隔开"的 规定制定，易燃易爆溶剂化学品和氧化性化学品一旦发生火灾，其 燃烧时间较长，因此，规定该房间与其他房间之间的隔墙为实体防 火墙.既可以满足防爆要求，也可以满足防火要求，若当设置双门 斗相通时，应采用甲级防火门窗，门窗的耐火极限不低于1.2h。 6.1.5考虑电子工厂用化学品的易燃、易爆、质蚀性、氧化性的特 ?53·

点、从控制系统的安全考虑规定化学品集中控制室应设置在独立 的房间内：当控制室与易燃易爆溶剂储存、分配间、回收间等有爆 炸危险的房间相邻时，控制室内的电气系统有可能处于爆炸性气 体环境危险区域内，为此，本条控制室的设计应符合现行国家标准 爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB50058的相关规定。 本条为强制性条文，必须严格执行。 6.1.6从化学品设备的安装角度考虑，本条规定了化学品房间的 高度，布置在生产厂房内的化学品间高度一般与生产厂房一致。 6.1.7由于化学品具有腐蚀性，因此规定化学品间的地面、门窗 墙面应考虑防腐蚀的措施。 6.1.8根据化学品的火灾危险性类别，房间内各部位装修材料的 燃烧性能等级应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》 GB50222的有关规定

6.2.1本条是关于配电与照明的规定

1化学品间的各类设备，在停电中断供气后，会造成工厂产 品成批报废，经济损失重大，所以除试验性少量生产或小批量生产 的实验室或试验生产线外，规定化学品间的负荷等级与主厂房相 同；化学品检测与控制系统允许中断供电的时间为毫秒级，除需要 两个电源供电外，必须配有不间断电源UPS： 2根据化学品的危险性质规定易燃易爆溶剂化学品间的爆 炸性化学品环境内的电力装置应为2区设防； 3电子工厂多为三班制运行，中断照明会影响生产，因此，本 条规定灯具不宜安装在设备正上方，化学品间应设置备用照明； 4电厂工厂的化学品液体或挥发出的气体都具有腐蚀性，因 此，规定化学品间的电气设备应进行防腐蚀设计。

6.2.2本条是关于防需与接地的规定

1据了解，目前电子工厂的化学品间的易燃易爆溶剂化学品

排气一般是经过洗涤塔处理后再排放，但是从安全的角度考，易 燃易爆溶剂化学品突出屋面的风管还是应该考虑防雷设计： 3为防止易燃易爆溶剂化学品、氧化性化学品管道因为产生 静电而发生安全事故，本条规定了自燃性、可燃性、氧化性化学品 设备与管道应设置防静电接地的要求； 4采用螺栓连接是为了便于设备与管道的拆卸检修；采用挠 性连接线是为了避免震动、位移影响接地可靠性； 5考虑到我国相当多的电子工厂在工程实际中大多采用联 合接地的方式，特规定接地装置的接地电阻值应按其中的最小值 确定； 6该电阻值是参照现行国家行业标准石油化工静电接地设 计规范》SH3097—2000第3.3.1条的规定制定的，该条文的叙述 为：“专设的静电接地体的对地电阻值不应大于100Q”

6.3给水排水及消防

6.3.1本条是关于给水排水设计的规定

1电子工厂的化学品储存、分配间的温度与湿度，虽然从理 论上要求不十分严格，但是也有一定要求，制定本条的目的是就是 要确保穿过化学品储存、分配间的给水排水管道不因为结露而影 响化学品间或储存间的正常运行； 2化学品间正常情况下没有废水排出，但是当化学品系统采 用湿式尾气处理装置或氨气等有毒化学品泄漏并且消防时，这些 水不能直接排至市政管网，否则会造成污染，应该把这些水排至废 水处理站，处理合格后排放； 3为保护工作人员的生命安全，腐蚀性化学品的化学品间应 设置紧急淋浴器和洗眼器。 6.3.2本条是关于消防设计的规定

1、2这两款是根据化学品间的特点，规定化学 火栓和灭火器，要求采用按现行国家标准建筑设计防火规范》G

50016和建筑灭火器配置规范》GB50140的有关规定； 3·易燃易爆溶剂化学品储存、分配间设置的白动喷水系统可 以在火灾发生时对房间内的设施进行消防及冷却，避免由于化学 品泄漏或爆炸产生更大的损失。根据现行国家标准《建筑设计防 火规范》GB50016一2006第8.5.1条规定：占地面积大于1500m 或总建筑面积大于3000m的单层、多层制鞋、制衣、玩具及电子 等厂房宜采用自动喷水灭火系统，同时，美国消防协会发布的 NFPA318《洁净室防护标准》第2.1.1条规定“在有洁净室和洁净 区的整个设施内都应设湿式自动喷淋保护”，第2.1.2.1款规定 洁净室或洁净区用的自动喷淋器应该按照NFPA13《自动喷淋 系统安装标准》进行安装.设计面积在3000ft*（278.8m）的达到 0.20gpm/ft*［8.15L/（min，m）］"，以此为参照并结合我国电子 工厂的实际情况，规定广喷水强度和保护面积。如果所设计项目 有国外保险商参与，或是化学品公司对消防提出特殊的要求，项目 应按照较为严格的规定执行； 4化学品中有很多种类与水接触会发生化学反应产生有毒 有害物质，存储这此化学品的化学品闻不应采用水消防系统，可采 用气体灭火、干粉灭火器等消防形式，具体采用的消防方法需要与 化学品公司确认化学品性质后决定

6.4.1本条是关于通风设计的规定

1化学品间用于储存和分配自然性、可燃性、每性、腐蚀性、 氧化性化学品·存在管道或阀门泄漏和积聚的潜在危险性，因此， 化学品间应设置连续的机通风，防止自燃性、可燃性、毒性、质腐蚀 性、氧化性化学品在化学品间积聚。通常，自燃性、可燃性、毒性 腐蚀性化学品储存在化学品柜内，化学品柜应设置局部通风，房间 通风量应不小于化学品柜的通风要求，为了保证房间通风良好，确 定了化学品间的最小通风换气次数每小时6次

2化学品柜和阀门箱内安装了化学品分配阀门和管道，阀门 和管道接口较多，有产生泄漏的可能性。因此，化学品柜和闵门箱 应设置机械排风进行强制通风，防止自燃性、可燃性、毒性、腐蚀 性、氧化性化学品在柜和阀门箱内积聚而引发事故。 3化学品的排风系统划分原则： 1防止不同种类和性质的化学品混合后引起燃烧或爆炸事 故； 2)避免形成毒性更大的混合物或化合物，对人体造成危害 或设备和管道腐蚀： 3)防止在风管中积聚粉尘，从而增加风管阻力或造成风管 堵塞，影响通风系统的正常运行。 4事故通风量应根据发生事故时泄放的化学品量和危害程 度通过计算确定，根据国家标准《工业企业设计卫生标准》GBZ1 中的规定，事故通风换气次数的下限定为每小时12次，在化学品 间外设置紧急按钮以便求援人员启动事故排风系统。 5许多化学品为自燃性、可燃性、氧化性化学品.所以规定排 风管道应采用不燃管道，目的是为了防止在发生火灾时火焰沿风 管扩散和蔓延。 6排风管道为负压，采用柔性风管或软管，风管的有效通风 面积减小，将会影响到通风效果，同时，柔性风管或软管对火灾的 耐受性较差，很容易造成排风管烧坏和变形。因此，可燃性化学品 柜和阀门箱的排风与主排风管道连接的支管采用刚性风管。 7为避免化学品间排风对周围环境和人身安全造成危害，应 根据排风中化学品的性质和浓度等因素确定设置处理装置进行处 理，如洗涤塔、吸附塔等。 8为保证化学品间排风系统的连续可靠运行应设置备用排 风机。备用排风机也可以兼做事故排风机化学品间通风系统电 源应设置应急电源，目的是保证排风系统的稳定运行可靠 9为防止因空气摩擦产生静电积聚而引起燃烧和爆炸事故，

规定可燃性化学品和氧化性化学品的排风管应设置防静电接地装 置，导除排风管静电。 10为保证化学品间排风系统连续可靠运行，防止化学品积 聚，从而降低火灾危险性和对敦援人员的危害，规定化学品间排风 系统不得与火灾报警系统联动。关闭化学品间排风系统将可能造 成更大的危害，因此严禁关闭排风系统。 6.4.2本条是关于空气调节设计的规定、 1化学品间设置空调系统的目的是为化学品柜及其控制系 统提供一个适宜的工作环境， 2为避免相邻化学品间发生火灾时蔓延，或因一个化学品间 发生火灾而导致多个化学品间的通风关闭，造成更大的危害，规定 空调风管不应穿越化学品间之间的分隔墙。 3为保证化学品间的环境状态稳定，建议空调系统设置备用 空调机组。当受到条件限制时，采用适当措施保证在空调机组维 护或发生故障时化学品房间能取得足够的补风，也是保证安全的 有效措施之一。 4化学品间空调系统电源设置应急电源，目的是保证化学品 间的通风平衡和稳定。 5为防止火焰蔓延和扩散，空调风管采用不燃材料制作，保 温材料应采用不燃或难燃材料。 6为防止因空气摩擦产生静电积聚从而引起燃烧和爆炸事 故，规定空调风管应设置防静电接地装置，导除排风管道的静电。 7易燃易爆溶剂化学品间的火灾危险性属甲、乙类，循环空 调系统易形成可然性化学品积聚而弓引起赚炸事故，因此条文规定 该类化学品间不得采用循环空调系统。本条款为强制性条文，必 须严格执行

7.1.1设备及材料进场检验的产品合格证和质量保证书是业主、 监理、施工单位控制质量的重要手段。 7.1.4设备材料进场验收、管道清洗，安装安全阀、流量计、过滤 器及压力试验、纯度测试、焊接试件鉴定事项，这些都是质量控制 的关键点，所以建设单位的技术人员或监理工程师应到场， 7.1.5易燃易爆溶剂的蒸发气体在空气中达到一定浓度时可能 会发生爆炸，因此规定静电接地的材料或零件在安装前不得涂漆， 以便使导线接触面接触良好，提高导电性能。 7.1.6保证检测结果的正确性，才能保证系统的安全性，保证工 艺参数的正确性，所以计量器具都应检定合格并在有效期内使用。 7.2设备、材料进场验收 7.2.1氮气密封是为了保护设备在制造完毕到投入使用期间不 被污染，特别是对于内部表面有抛光等特殊要求的设备。 7.2.2化学品设备的生产周期有很大的差异，储罐和配送柜等供 货周期不同，所以要考虑生产周期的因素来订货，设备到货后按照 搬人的顺序进行存放，大的桶槽或容器应考虑优先搬运，尽可能减 少二次搬运，也就减小了设备的安全风险。 7.2.3化学品配送用设备内部包含很多控制元器件，很多控制元 器件受高温、雨淋影响可能出现不能动作的现象，且酸碱设备的外 壳一般为聚丙烯材质，故不能在室外放置。 7.2.4PVC管材在日晒的情况下会产生变色（黄色→棕色→褐色）， 高温条件下容易变形，产尘的场所会影响管材的透明度和洁净度。 ·59·

7.2.5PVC制作的组装箱、阀箱及三通箱，在搬运过程中极易 破碎，也可能被重物压碎，单独设置存放区以便保护材料不致损 坏。 7.2.6微细的光纤封装在塑料护套中，使其能够弯曲而不至于 断裂。不得损坏外保护层，避免光纤断裂，同时也要减少光纤的弯 曲和挤压以便减少光纤传输的衰减。 造成光纤衰减的主要因素有：本征，弯曲，挤压。本征：是光纤 的固有损耗；弯曲：光纤弯曲时部分光纤内的光会因散射而损失 掉，造成的损耗：挤压：光纤受到挤压时产生微小的弯曲而造成的 损耗。

7.2.5PVC制作的组装箱、阀箱及三通箱，在搬运过程中极易

7.4化学品供应管道安装

7.4.1施工公司在施工过程中对设计文件提出修改意见，原设计 单位在征得业主同意后，应提供变更通知单，经业主、监理、施工方 确认后可以用于化学品供应管道系统的施工。 7.4.2进口设备的接口标准和国标不一致，有美标、日标、德标等 不同的管道标准，管道外径和壁厚等有差异，不同标准的管道不能 互换，配管前必须严格按照设计要求选用材料。 7.4.3化学品管道和阀门的设置应考虑安全隐惠，管道设置尽 可能的不影响或少影响其他专业，以免出现衍生安全事故，紧急关 断阀的设置是为了在管道发生泄露的时候能够迅速关断化学品供 给，避免造成更大的安全事故。

7.5双层管道的施工安装

7.5双层管道的施工安装

7.5.1外套管安装应符合下列规定

8在粘接作业完成后，增加PVC焊条填丝焊接，目的是增加 粘接部位的强度。 9使用橡胶皮对外管进行保护，避免固定卡安装太紧使管道 受损。 10管道粘接所用的胶水必须是速干型的，胶水要涂抹均匀， 粘接的压紧时间必须保证，以免出现管道粘接处变形、管道移位等 现象。压紧时间为日本积水、美国IPS胶水推荐的粘接压紧时间。 11为了便于穿管，两组弯头中一个暂不粘接，在拉管遇到障 碍时可以在未粘接处打开，便于配合送管员送管，待内管全部通过 后，再粘接连接处。 7.5.2外套管的主要功能是可清楚地目测出PFA是否出现化学 品药液渗漏等情形，因此需特别注意保持管材的洁净度及接缝处 粘接不出现渗漏。使用时管道为无压管，编制组调研一个大型工 程，其外套管试验压力分别为0.12MPa、0.10MPa、0.05MPa，因 此本规范规定外套管的试验压力为0.10MPa。 7.5.3常用的PFA管是100m一卷的，根据现场情况可以统计 出需要购买的连接箱的数量，因为PFA价格昂贵，合理的使用材 料，避免不必要的浪费，才能更好地降低材料成本。 7.5.4内管穿设安装应遵守下列规定： 1PFA管极易产生静电，拆除包装最好在洁净室进行，规定 事先在地板处铺设透明塑料布日以保护地面和管材，是为防止质 尘赖粒进人管道内，为了同样目的，还规定管道始终处手封堵状 态。 2管材在低温情况下会变脆，若直接施工，可能会导致管道 变形、甚至断裂，故需要在室温条件下施工。 3为了避免污染管道，切管器必须清洁，为了顺利拉管，在管 道前端切出斜面，用拉管绳捆扎牢固，减小拉管过程中的摩擦。 4管材在材料进场的时候已经检查了外观，但在送管过程 中，还应当确认管道有无折损，因为在搬运、整理过程中都有可能 ·62

更管道受损，需在拉管前再次确认。 5送管过程中遇到障碍时需要停止送管，不能强行送管，造 成管道的折损。减少拉管以避免PFA管道在拉扯过程中发生管 材变形或者因主绳被拉断导致施工不能进行的情形。 6PFA管道容易产生静电，极易粘附空气中细小的灰尘.管 线整理人员在送管的同时，应使用纯水湿润洁净布，来擦拭管道以 防止产生静电。 7、8拉管完成后需要切除前端400mm的管段，因为拉管过 程中前端受力变形且切割斜面部分也应当切除。切割管线前需要 保证预留大约200mm长度的管道，为扩管连接作业预留。 9PFA管在加热扩管冷却后会有3mm缩短现象，因此管线 长度测量时必须加3mm的余量，以防止管线长度不够造成材料 的浪费。

7.6.1焊接PFA管一般用于化学品间内.用

7.7.1电子工厂用于化学品的管道无论从工艺及材料的要求，不 锈钢管道连接应使用自动轨道氟弧焊。 7.7.2、7.7.3为了保证输送化学品的纯度，管道必须保证洁净， 在切割、焊接过程中都需要保证洁净度。 7.7.4预制过程的切割和端面处理，会有铁屑等杂质产生，焊接 区域需要与之区分隔离。 7.7.5切割过程中会产生细小的铁屑，管口向下且用高纯氮气吹 扫，吹出细小铁屑，以免铁屑粘附在管壁上，影响管道的洁净度。 7.7.6切割时避免管道切割端面粘附油污，因为灰尘颗粒很容易 63*

吸附在油污中，且很难事后处理管道内的油污，在电子行业、半导 体、净化行业中.由于管道内的灰尘颗粒的数量超标，会严重影响 产品的成品率。施工过程中必须杜绝油污和颗粒。 7.7.9不锈钢管道安装应符合下列要求： 4当不锈钢的表面的钝化膜被机械或者其他原因破坏后，不 锈钢和碳钢接触后会在接触面形成电化学腐蚀从面生锈，降低了 管道的寿命，必须采用同种材质或用塑料垫材隔离。 7.7.10充氨保护是为了使管道内为正压，避免空气进入管道内， 将空气中的水分、氧分、颗粒带入管道内污染管道，故在管道系统 安装过程中应保持不间断充氟气保护

7.8.1、7.8.2管道连接应按国家现行标准《给水排水管道工程施 工及验收规范》GB50268、《建筑排水硬聚氟乙烯管道工程技术规 程》CJJT29、《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》GB 60242的有关规定执行

并应逐点检查每个系统连接的正确性，阀门应有与图纸相同的编 号，并有显示开关的状态显示牌。不同的药液用不同的额色标记， 且应标明化学品药液的名称及流向。 7.9.2标识粘贴前应当确保管道全部正确安装，相关的测试也已 经完毕，管道必须清洁，便于粘贴，绝缘测试必须完成，以免出现安 全间题。

装修软件7. 10管路与系统检测

7.10.1管路与系统测试应在工程完工后进行 7.10.2、根据化学品系统检测的一般原则和我国工厂的实际状

况，规定化学品系统工程的检测项目一般有强度试验、产密性试 验、泄漏性试验、洁净度测试、电气性能测试以及合同要求的测试。 7.10.7易燃易爆溶剂化学管道要设计静电接地，因此，应测试管 道的接地电阻值。

7.11.2在安装新管道的时候，应尽可能减小对原系统的影响， 尽量不要影响生产，关闭相关的阀门，尽可能的不要关闭整个系 统，管内介质排放至相应的回收系统，不可回收的介质要经过中 和、燃烧、洗涤等处理.以便安全地排放、 7,11.3改建工程的系统中残留的易燃、助燃、毒性或者质蚀性 介质会影响施工安全及人员健康，必须在施工前清理干净，并通过 分析达到规范允许的数据后方可施工， 7.11.4改建过程中的置换、中和、消毒、清洗必须彻底，反复多次 进行，并取样分析或者在线分析，应当达到有关规定、标准并提供 分析测试报告，若反复多次清洗后仍达不到要求，需要考虑更换管 道， 7.11.6从安全的角度规定，为防止意外，化学品系统在进行焊接 等产烟明火作业时，必须取得建设单位签发的动火许可证及动用 消防设施许可证。

7.12.1电子工厂化学品系统工程是个独立的组成部分，验收 也应当按照独立的分部工程进行

7.12.1电子工厂化学品系统工程是个独立的组

统一书号：1580177·938定价抗震标准规范范本，15.00元