GB51432-2020薄膜晶体管显示器件玻璃基板生产工厂设计标准.pdf
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3.0.1玻璃基板工厂设计应合理利用资源，保护环境，防止和减
3.0.3玻璃基板工厂设计应符合下列规定：
应满足玻璃基板生产所需要的连续生产要求； 2 应满足设备安装、调试检修、安全生产、维护管理的要求；
企业发展规划为以后生产发展或工艺改进预留条件。玻璃基板工 厂规模应根据产品世代、本期产能及未来发展规划进行设计
4.1一般规定 4.1.1 1 应保证生产效率和产品质量； 2 应降低工人劳动强度和保证职业安全 3 应降低工程造价和运行维护费用； 4 应具有灵活性、适应性和可扩展性 4.1.2 玻璃基板的生产应采用连续运转的生产组织方式公园标准规范范本，辅助生 产部门的工作班次可根据需要确定 4.1.3 玻璃基板工厂的工艺设计应根据产品生产工艺明确下列 条件： 1 产品世代及生产线产能； 2 生产工艺流程及工序组成； 览 3主要生产厂房内生产设施布局； 4生产厂房和辅助生产厂房的空间布局、物流、人流、荷载等 条件； 5 工艺所需水、气、化学品等用量和品质要求： 6 工艺生产环境要求： 7 工艺生产用电量和供电质量要求： 8 工艺生产配电要求： 9 工艺生产区域照明要求： 10 工艺生产线自控、通信信息要求； 11 工艺生产产生废气、废水、废渣、粉尘的环节、种类、数量 及污染物成分。
4.2.1玻璃基板生产工序应包括原材料及辅助材料储
4.2.1玻璃基板生产工序应包括原材料及辅助材料储存、配料、 熔化、成型、半成品检验包装、后加工、成品检验、成品包装和储存 具体工序组成应由生产企业根据市场需求、企业规划和建设地点 的条件和相关规定综合确定
4.2.2玻璃基板生产工序应按产品生产工艺流程划分，每条生
4.2.4原辅材料仓储设施及设备维护、维修车间应按生产线 际需要进行设置。
4.2.5玻璃基板工厂设有原辅材料和废料仓储设施时，仓储设施
1应根据所存储物料的物理、化学性质和存储环境的要求分 类设置； 2主要原辅材料和产品库房应设出人库的运输通道； 3生产中产生的废料、固废储存场地应符合现行国家标准 一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》GB18599的有关 规定： 4危险废物储存场地应符合现行国家标准《危险废物贮存污 染控制标准》GB18597的有关规定。
2.6生产设备选型应符合下列
1生产设备和辅助生产设备宜采用自动化程度高、耗能低、 污染少的设备：
4.2.7配料及输送设备设计应符合下列规定：
应采取防止漏料措施； 4 应设有排除废料的装置； 宜设置应急供料装置； 6 应合理确定与原料直接接触的设备或储罐的材质。 4.2.8 熔化及成型设备设计应符合下列规定： 1 熔炉应采用富氧燃烧、全氧燃烧、电助熔、全电熔等清洁生 产技术或以上多种技术的组合应用； 熔炉余热宜回收利用； 3 熔炉等高温设施应采取有效的保温、隔热及冷却措施； 4 熔炉燃料系统应备份设置 5 采用浮法成型技术时，应对锡槽底采取冷却措施及应急 措施； 6应设置熔炉烟气处理系统，排放标准应符合现行国家标准 《工业炉窑大气污染物排放标准》GB9078的有关规定，并应满足 当地大气污染物排放标准的要求
4应设有排除废料的装置； 5宜设置应急供料装置； 6 应合理确定与原料直接接触的设备或储罐的材质。 4.2.8 熔化及成型设备设计应符合下列规定： 1熔炉应采用富氧燃烧、全氧燃烧、电助熔、全电熔等清洁生 立技术或以上多种技术的组合应用； 2 熔炉余热宜回收利用； 3 熔炉等高温设施应采取有效的保温、隔热及冷却措施； 4 熔炉燃料系统应备份设置：个 5 采用浮法成型技术时，应对锡槽底采取冷却措施及应急 措施； 6应设置熔炉烟气处理系统，排放标准应符合现行国家标准 《工业炉窑大气污染物排放标准》GB9078的有关规定，并应满足 当地大气污染物排放标准的要求。 4.2.9厂务设施设计应符合下列规定！ 1生产广房的人流和物流人口应分别设置； 2生产厂房应设置设备搬人口和搬人通道； 3与生产密切联系的辅助生产部门应邻近生产区域； 熔化区和成型区不应跨越厂房的变形缝： 5 熔炉的基础应做抗震设计； 热措施； 7 熔化区应设置熔炉意外漏液收集和冷却装置； 8 熔炉周边维修及观察区域应设置有防护栏的操作平台； 熔炉及熔炉附属设备应设置双路电源供电，其中一路应为 应急电源； 10熔炉冷却水系统应连续稳定供应； 11玻璃基板成型工序、后加工工序中的检验环节及包装环
4.2.9厂务设施设计应符合下列
节应在洁净区中进行，洁净区应满足生产工艺对环境的要求： 12洁净区应设置人员净化和物料净化区，并应符合现行国 家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定； 13后加工的检验、包装工序应设计防静电措施。
标准》GB3096《工业企业厂界环境噪声排放标准》GB12348和 《工业企业噪声控制设计规范》GB/T50087的有关规定。 5.1.5~玻璃基板可采用成品包装集装箱运输、自动物料搬运系统 运输等方式。
5.2.1玻璃基板工厂选址应满足当地的总体规划及工业园区控 制性详细规划等要求，同时还应该满足现行国家标准《工业企业总 平面设计规范》GB50187的有关规定。 5.2.2玻璃基板工厂选址宜靠近将玻璃基板作为基本部件的薄
膜晶体管显示器件的企业用地。对于为第10代及以上的薄膜晶 体管显示器件企业配套的玻璃基板工厂，宜在同一地块或相邻地 块内选址。
5.2.3玻璃基板工选址，应优先选择管道天然气供应充足、电 力供应稳定、给水供应稳定、交通便利的地区。
5.2.3玻璃基板工厂选址，应优先选择管道天然气供应充足、电 力供应稳定、给水供应稳定、交通便利的地区。 5.2.4对于选址于山区的玻璃基板工厂，应优先选择场地长边方 向的基岩面较平缓且场地稳定性较好的地段和地块。
5.3.1在符合生产流程、使用功能、消防要求等前提下，配料车
区全年最小频率风向的上风侧且地势开阔、通风条件良好的地
5.3.3对厂区环境影响较大的原料装卸区、仓储区，宜布置
的地段，宜位于全年最小频率风向的下风侧且远离厂区散发 气体、烟、雾、粉尘的污染源，并应符合现行国家标准《洁净厂 计规范》GB50073、《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472 关规定。
5.3.5玻璃基板厂当设置有玻璃连廊时，应线路短捷，并应 中间转角。
5.3.6碎玻璃堆场的布置应满足生产工艺的要求，宜靠近
5.3.7厂区动力设施的布置应根据厂区的实际情况确定。
璃基板厂区与薄膜晶体管显示器件厂区位于同一地块内时，可统 筹规划动力设施。
5.3.8为薄膜晶体管显示器件工厂和玻璃基板工厂配套建
5.3.9天然气调压站（箱）、液化石油气储罐、柴油罐等易燃、易爆 危险品生产储存设施等应布置在远离人员密集区的交通量较小的 厂区边缘地段
且交通量较小、靠近厂区污水排放口、地势较低的绿地内，并应符 合当地环境保护的有关要求。
5.4.2阶梯式竖向设计的台阶划分,应与地形及总平面布置相适
应，生产联系密切的生产房、动力站房、构筑物等宜布置在同 台地内。台地的长边宜平行于场地等高线布置。台地的高度应按 照生产要求及场地条件、结合台阶间的运输联系和基础埋深等因 素综合确定，且不宜大于5m。
5.4.6在山坡地区建厂时，应在厂区坡项上方设置截
置运输线路，满足人、货分流。厂区运输线路应满足生产要求，线 路应短捷，并应使厂区内外部运输、装卸、储存形成完整的运输 系统。
5.5.2玻璃基板工厂出入口的位置和
1厂区出入口不宜少于2个，主要人流出。 口应分开设置； 2主要人流出入口可开向城市主干道、次于道 3主要物流出人口应位于主要物流通道且靠近运输繁忙的 仓库、堆场，并应与城市次干道连接
2主要人流出人口可开向城市主干道、次干道： 3主要物流出人口应位于主要物流通道且靠近运输繁忙的 仓库、堆场，并应与城市次干道连接。 5.5.3厂区内道路的布置，应满足生产,运输、安装、检修、消防安 全和施工等要求，应有利于功能分区的划分，应呈环形布置且与厂 外道路连接便捷。道路布置应与竖向设计相协调，并应有利于场 地及道路排除雨水。 5.5.4原材料及成品装卸区的布置应结合玻璃基板工厂总平面 布置、厂区交通规划等进行。 5.5.5玻璃基板工厂当设置室外架空管架时，应线路短捷，并应
全和施工等要求，应有利于功能分区的划分，应呈环形布置且 外道路连接便捷。道路布置应与竖向设计相协调，并应有利 地及道路排除雨水。
5.5.5玻璃基板工厂当设置室外架空管架时，应线路短捷，并应
.5.6连廊、室外架空管架下方有道路、装卸区时，其净空高度不 宜小于4.5m，且不应影响厂区内工艺设备运输车辆、物料运输车 两通行。
家职业卫生标准及现行国家标准《电子工业职业安全卫生设计 范》GB50523的有关规定
6.1.9厂房内洁净室（区）的设计，应符合现行国家标准《洁净厂
房设计规范》GB50073及《电子工业洁净厂房设计规范》G 50472的有关规定。
6.2.1玻璃基板生产厂房的耐火等级不应低于二级。
6.2.2玻璃基板生产厂房的火灾危险性分类，应符合现行国家标
6.2.3厂房内防火分区划分，应符合现行国家标准《建筑设
6.2.3厂房内防火分区划分，应符合现行国家标准《建筑设计防 火规范》GB50016的有关规定。熔化区可划为一个独立的防火分 区，当符合下列规定时，其防火分区最大允许建筑面积，可按生产 工艺要求确定： 1熔化区采用防火墙与相邻其他区域严格分隔； 2熔化区工艺生产线为4条及4条以上时，在每2条生产线 之间分组设置耐火极限不低于3.00h的防火隔墙； 3前加工区与后加工区之间防火墙上自动传输设备的洞口 采取水幕系统保护：防火分隔水幕设计符合现行国家标准《自动喷 水灭火系统设计规范》GB50084的有关规定： 4设置移动式细水雾或水喷雾灭火装置，且每层不少于 6.2.4支撑防火墙的钢结构框架受力构件的耐火极限不应低于 防火墙的耐火极限。 6.2.5在一个防火分区内的综合性厂房，洁净室（区）与其他一般 生产区域之间应设置耐火极限不低于1.0oh的不燃烧体隔断。穿 过隔墙或顶棚的管线周围空隙应采用防火或耐火材料紧密封堵。 6.2.6存储玻璃包装的木箱、纸卷等材料的中间仓库应采用防火 墙和耐火极限不低于1.50h的楼板与其他部位分隔，房间门应采 用用级防水门
7厂房安全出口的设置，应符合
1每一生产层、每个防火分区的安全出口数目，应符合现行 国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。 2厂房内任一点到最近安全出口的距离，应符合现行国家标
准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。 3当采取下列加强措施时，玻璃基板厂房后加工区室内任一 点的安全疏散步行距离可结合工艺生产设备布置确定，但不得大 于100m： 1)洁净工作间生产区人员密度小于0.02人/m，且在回风 气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期 火灾报警探测系统； 2)安全出口分散布置，疏散路线便捷，并设有明显的疏散 标志； 3）吊顶及墙面装修材料采用不燃材料； 4)设有自动喷水灭火系统、火灾自动报警系统、消防应急照 明及应急广播系统。人 4当设置避难走道时，避难走道设计应符合现行国家标准 《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。 6.2.8消防专用救援窗口的设计，应符合现行国家标准《建筑设 计防火规范》GB50016和《洁净厂房设计规范》GB50073的有关 规定。， 6.2.9易燃易爆化学品及气体的配送间应靠外墙布置，房间泄压 面积应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关 规定，且不得设置在人员密集房间和疏散走道的上方、下方或贴邻 区域
规定。 6.2.9易燃易爆化学品及气体的配送间应靠外墙布置，房间泄压 面积应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关 规定，且不得设置在人员密集房间和疏散走道的上方、下方或贴邻 区域。
6.3.1室内装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部 装修设计防火规范》GB50222的有关规定。 6.3.2洁净室（区）的门窗、地面、墙壁、顶棚的室内装修材料要求 应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。 6.3.3易燃易爆化学品储存间、配送间应采用不发生火花的防静
6.3.3易燃易爆化学品储存间、配送间应采用不发生火花的防青
7.1.1生产厂房结构设计应符合下列规定：Y
1建筑结构的安全等级、结构设计使用年限、结构重要性系 数应符合现行国家标准《建筑结构可靠度设计统一标准》GB 50068的有关规定； 2结构布置、选型和构造处理，应根据生产工艺、建筑功 能、施工技术、自然环境、岩土工程条件、材料供应和改扩建需要 确定； 3建筑结构的强度、刚度和延性应满足稳定性和耐久性的要 4采用的新技术、新结构、新材料应具有完整的技术文件。 7.1.2建（构)筑物的抗震设防分类应按其使用功能的重要性、工 厂的生产规模、停产后经济损失的大小和修复的难易程度等因素 来划分，并应符合表7.1.2的规定。
表7.1.3的规定执行。
表 7.1.3建(构)筑物的安全等级
7.2.1厂房楼面、屋面悬挂设备及管道时，其荷载应按实际负季 确定，但不宜小于0.5kN/m；有洁净要求的房间吊顶荷载不宜小 于1.5kN/m。当设有管线综合支吊架时，应考虑管线综合支 架集中荷载效应对结构的影响。
1楼层使用荷载应按工艺提出的要求确定； 2楼层堆料荷载应按大面积密集堆料或局部堆料两种分布 状况确定； 3有明确支承点的大面积密集堆料，当支承面的中心距不大 于0.8m，且各支承面积不小于0.09m时，句按投影面积计算其单 位面积的荷载： 4当支承条件不符合本条第3款要求时，应根据支承面数 量、间距及几何形状，按现行国家标准《建筑地面设计规范》GB 50037的有关规定进行荷载计算； 5设备搬入口和搬入通道应根据设备搬入时的最大荷载需 求确定。
7.3.1地基基础设计应符合现行国家标准《建筑地基基础设计规 范》GB50007和《建筑抗震设计规范》GB50011的有关规定，并应 符合相关设计要求。应结合生产设备对地基变形的适应程度、上 部结构类型、房屋高度、施工技术和经济条件等因素综合确定地基 基础设计方案。熔化区相关范围的地基基础沉降差，应从严控制。
.3.2高压缩性软土地基上的厂房，建筑物室内或附近地面有大 积堆料时，应考虑由于地面堆载所产生的地基不均匀变形及其 上部结构的不利影响，并应采取相应的处理措施，
7.3. 21 高压缩性软土地基上的厂房，建筑物室内或附近地面有大
7.3.2高压缩性软土地基上的厂房，建筑物室内或附近地面有大
，4.1在满足生产工艺要求的前提下，生产厂房的结构设计应符 平面、立面和竖向剖面的规则性要求。不规则的建筑物应按规 采取加强措施；特别不规则的建筑物应进行专门的研究和论证 年应采取特别的加强措施
7.4.2结构布置应符合现行国家标准《建筑抗震设计规范》GF
7.4.3玻璃基板厂房的建筑与结构布置应符合下
1厂房各主要工段之间，应根据工艺设备布置、地基条件和 上部结构荷载分布情况设置变形缝，并应考虑大面积堆载对周围 基础的影响； X 2应合理选择设备支承结构的抗振刚度，并应使支承结构的 振幅和振动加速度限制在允许范围内；对于振动较大的设备宜采 用与反房脱开的独立支承，当难以脱开时应采取减振、隔振措施； 3柱网布置应满足生产操作、熔炉冷热修的要求，并应为熔 炉冷修时的局部改造留有余地。
宜采用钢筋混凝土或钢结构的框架、排架结构： 2楼面宜采用钢筋混凝土结构或钢梁混凝土板组合结构。
8.2.1冷、热源设置应根据负荷特性，结合气候特点、能源结构、 环保要求综合设计，并应符合下列规定： 1生产厂房的冷热源应集中设置；X 2宜优先采用城市、区域供热和利用当地工厂余热； 3在气候适宜地区,经技术经济比较，宜采用冷冻水系统热 回收、自由冷却等节能措施。 8.2.2~冷、热源设备设置应符合下列规定： 1设备台数和单台容量应根据全年冷、热负荷工况合理选 择，并应保证设备在高、低负荷工况下均能安全、高效运行，冷、热 源设备不宜少于2台； 2工艺用冷、热负荷的设备宜设置备用或在设备选型时预留 备用容量。
8.2.1冷、热源设置应根据
8.2.3燃油燃气锅炉选用应符合下列规定：
1采用带比例调节燃烧器的全自动锅炉，单台锅炉的设计容 量宜使其实际运行效率不低于50%； 2烟窗的设置应符合现行国家标准《锅炉天气污染物排放标 准》GB13271的有关规定，并应满足当地环保要求。
8.3.5可燃气体管道、氧气管道的车间入口处应设切断阀，
8.3.6氮气、氧气管道及其阀门、附件，均应经过脱脂处理；
大然气管道应设导除静电的接地设施 8.4 压缩空气 8.4.1压缩空气系统应根据生产工艺要求、供气量和供气品质等 因素确定,并应符合下列规定： 供气规模应按生产工艺所需实际用气量及系统损耗量 确定： 2 熔炉区压缩空气应确保在市电停电时能正常供应； 3 供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径要 求确定； 4 宜选用能耗及噪声低的无油润滑空气压缩机。 8.4.2 风冷式空气压缩机的设置场所及设备布置，应采取防止冷 却空气发生短路的措施。
8.4.3压缩空气系统的管路系统设计
小 3压缩空气主管道的直径应按全系统实际用气量进行设计， 支干管道的直径应按局部系统实际用气量进行设计，支管道的管 径应按设备最大用气量进行设计； 4管道连接的密封材料宜选用聚四氟乙烯垫片； 5采用软管连接时，宜选用金属软管； 6管道连接宜采用焊接，不锈钢管道应采用氩弧焊 8.5清扫真空 8.5.1 玻璃基板生产厂房宜设置清扫真空系统。 8.5.2清扫真空系统的抽气能力应按同时使用清扫真空点的数 8.5.3清扫真空设备应布置在生产厂房内，并应根据使用点设置 就地启动按钮。 8.5.4清扫真空管路应布置成树枝状形式，弯头应采用长半径弯 头，支管路应采用成品Y形接头沿抽气方向进入主管路。 8.5.5清扫真空系统宜按生产工艺分区设置， 8.5.6清扫真空管道系统末端宜设吹扫阀 8.5.7清扫真空系统排气应符合现行国家标准《大气污染物综合 排放标准》GB16297的有关规定，并应符合当地环保的规定。
9采暖、通风、除尘、空气调节与净化
9.1一般规定 9.1.1生产厂房通风、空调与空气净化系统的设计应满足生产工 艺对生产环境的要求。 9.1.2生产厂房洁净室的空气洁净度等级以及洁净室型式应根 据生产工艺对生产环境的要求确定。 9.1.3生产厂房内的采暖、通风除尘、空气调节的设计应符合现 行国家标准《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB50019 的有关规定。行政办公及生活服务设施的采暖、通风与空气调节 的设计应符合现行国家标准《民用建筑供暖通风与空气调节设计 规范》GB50736和《公共建筑节能设计标准》GB50189的有关 规定。 X 9.2采暖、通风、防排烟 9.2.1洁净室（区）内不应采用散热器采暖。 9.2.2除熔化工段、成型工段等处不需供暖外，一般生产工艺厂 房、辅助用房、库房、可能受冻后有损害的建筑物、构筑物及生产工 艺对环境温度有要求的场所宜设置集中供暖；供暖系统设置应符 合现行国家标准《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB 50019的有关规定。 9.2.3散热器选型应符合下列规定： 1原料车间、配料间等环境粉尘浓度较高或防尘要求高的部 位应选用易于清扫的散热器；
9.2.3散热器选型应符合下列规定：
1原料车间、配料间等环境粉尘浓度较高或防尘要求高的部 应应选用易于清扫的散热器； 2具有腐蚀性气体或相对湿度较大的房间宜选用防腐型散 热器。
9.2.6玻璃基板工厂生产区的排风系统设计，应符合下列表
【防排烟系统设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规 范》GB50016、《建筑防烟排烟系统技术标准》GB51251和《电子 工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定； 2洁净区的排烟系统应有防止室外气流倒灌的措施，并应设 置用于平时巡检的旁通管路； 3对于密闭空间的排烟系统,应同时设置排烟补风系统
玻璃基板工厂的下列部位，应设置除尘系统： 上料、卸料、配料、混合系统产尘区域； 熔炉投入料口等易产尘部位；
9.3除尘、熔炉烟气处理系统
3生产过程中玻璃基板切割、研磨等会产生粉尘的设备； 4碎玻璃溜槽人口。 9.3.2除尘系统应包括污染源（尘源）控制装置、除尘管道、除尘 器或净化装置、风机、排气筒（烟窗）、卸灰和输灰装置。 9.3.3除尘系统形式应根据污染源工艺设备产尘情况、粉尘性 质、浓度以及产生时段确定。 9.3.4除尘器的选型应根据除尘系统内的粉尘的物化特性、粒 径、浓度等因素确定。 9.3.5除尘器的滤料特性、除尘管道材质、壁厚等应根据粉尘 的磨琢性、浓度等因素确定，除尘系统风管设置应符合现行国家 标准《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB50019的有 关规定。
9.3.4除尘器的选型应根据除尘系统内的粉尘的物化特性
9.3.5除尘器的滤料特性、除尘管道材质、壁厚等应根据
为磨琢性、浓度等因素确定，除尘系统风管设置应符合现行国家 示准《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB50019的有 长规定。
9.3.6玻璃基板工厂熔炉废气收集及处理系统应包括废气收集
电（气)动阀门、降温设施、酸性废气处理设备、除尘设备、脱 备、自动控制系统、化学供应系统、风机、风管等，系统设置应 现行国家标准《电子工业废气处理工程设计标准》GB51401 关规定。人
熔炉废气脱硝可采用高温脱硝及低温脱硝 两种方式。高温脱硝宜采用选择性非催化还原法（SNCR)或高效 先择性非催化还原法（HESNCR），低温脱硝宜采用活性焦炭逆流 式选择性催化还原法（CSCR）
.3.8玻璃基板工厂熔炉废气收集系统风管设计应符合下列
1废气排气风管应按照排气温度、压力、废气性质进行选型 设计，并应对高温风管进行应力分析计算； 2风管内平均风速宜为13m/s~15m/s； 3 风管及设备应设置保温措施； 4 风管应设置0.5%1%的坡度； 5风管低点应设置排液口。
9.4.1玻璃基板工厂内的空气洁净度、温度、湿度应满足生产工 艺的要求。 9.4.2玻璃基板工厂洁净室与周围的空间应保持一定的静压差， 静压差应符合下列规定： 7 1 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa； 2 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa; 洁净室与室外的静压差不应小于1oPa 9.4.3 生产区净化房间的新风量应取下列两项中的较大值： 1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和： 2 供给洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小于40m， 供给非洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小于30m。 9.4.4净化空气调节系统的新风应进行集中处理，新风处理机组 的设置应符合下列规定：
艺的要求。 9.4.2玻璃基板工厂洁净室与周围的空间应保持一定的静压差 静压差应符合下列规定： 1不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa； 2 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa； 3 洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。 9.4.3 生产区净化房间的新风量应取下列两项中的较大值： 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和： 2供给洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小于40m， 供给非洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小于30m。 9.4.4净化空气调节系统的新风应进行集中处理，新风处理机组 的设置应符合下列规定： 1送风机应采取自动调速措施； 2空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理； 3应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1%； 风机； 5寒冷地区或严寒地区的新风机组，应设置防冻措施以避免 危害机组的正常运行。 9.4.5净化空调机组的选用及布置应符合下列规定： 1 送风机宜采取变频调速措施； 2应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1%； 3当服务于生产连续性要求较强的或工艺对房间温湿度要 求较高的环境时，空调机组宜设置备机或设置备用风机。当空调 机组或风机产生故障时，备机或备用风机应自动启动。
1补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 2供给洁净室（区）内每人每小时的新鲜空气量不小于40m 供给非洁净室(区）内每人每小时的新鲜空气量不小于30m
9.4.4净化空气调节系统的新风应进行集中处理，新风处理机组 的设置应符合下列规定： 1送风机应采取自动调速措施； 2空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理； 3应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1%； 4应设置备用新风处理机组，或在空调设备内设置备用 风机； 5寒冷地区或严寒地区的新风机组，应设置防冻措施以避免 危害机组的正常运行。 9.4.5净化空调机组的选用及布置应符合下列规定：
1送风机宜采耳变频调速措施： 2应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1%； 3当服务于生产连续性要求较强的或工艺对房间温湿度要 求较高的环境时，空调机组宜设置备机或设置备用风机。当空调 机组或风机产生故障时，备机或备用风机应自动启动。
规定： 1应根据洁净度等级及送风量来确定； 2应根据房间的层高、吊顶形式、气流要求以及工艺设备的 布置要求来确定； 应便于检修及更换过滤器； 送风量应能调节。 9.4.7 干冷却盘管的选用及布置应符合下列规定 冷冻水的进水温度，宜高于洁净室（区）空气的露点温度： 2外形尺寸以及处理温差应根据房间内的循环空气风量、负 荷情况以及空气过滤单元所提供的机外余压确定； 3布置在同一洁净室（区)内的干冷却盘管，在工作条件下空 4应设置排水设施，非落地安装的干冷却盘管应设置积 水盘； X 5供回水管上面阀组的位置设置，应考虑检修方便并避免设 置在重要工艺设备以及配电设备的上方。） 9.4.8空态洁净室噪声级设计应符合现行国家标准《电子工业洁 净厂房设计规范》GB50472的有关规定 9.4.9设置在融化区配电间及控制室的空调系统宜设置备用机 组。当采用冷冻水作为空调冷源且冷冻水系统不设应急电源时， 宜采用自带冷源的风冷空调机组作为备机。风冷空调机应由应急 电源供电。
10.1.5输送有腐蚀性介质的管道不宜直埋敷设。
10.2.1 生活饮用水、工业锅炉水和工业循环冷却水的水质应分 别符合现行国家标准《生活饮用水卫生标准》GB5749、《工业锅炉 水质》GB1576和《工业循环冷却水处理设计规范》GB/T50050的 有关规定。 10.2.2厂内生活用水量的确定应符合现行国家标准《建筑给水 排水设计规范》GB50015的有关规定。 10.2.3 噪声较大的管道不宜设置在对环境噪声要求严格的 房间。 10.2.4在满足水质和水压要求的前提下，生产和生活给水系统 宜利用市政给水管网的水压直接供水。
10.3.1应急给水系统所需水量应根据工艺设备的需求经计算确 定，系统的设计应能保证紧急状况下熔炉的安全。 10.3.2应急给水系统应设置高位应急给水箱，水箱的设置应符 合下列规定： 1水箱的设置高度应满足熔炉的水压要求，并宜采用重力直 接供水的方式； 2高位应急给水箱的储水量应根据工艺要求计算确定，高位 应急给水箱的有效容积不应小于应急给水系统10min的供水量； 3应急给水与其他用水合用的水箱应采取应急给水不作他 用的技术措施。 10.3.3当应急给水池（箱）内贮水48h内不能得到更新时，应设 置水池（箱）消毒处理装置。 10.3.4／应急给水系统的供水泵宜配备应急电源，并宜配备柴油 泉作为系统的备用。
10.3.5应急排水管道应按应急给水系统最大流量设置
10.4.1碎玻璃水系统所需水量、水压应根据生产工艺的需求经 计算确定，回水温度不应大于65℃。 10.4.2碎玻璃水系统的供水水质应满足设备工艺的需求。 10.4.37 碎玻璃水系统应设置备用水泵。 10.4.4碎玻璃水系统的用电设备宜配备应急电源。
10.5.1纯水站设计应符合现行国家标准《电子工业纯水系统设 计规范》GB50685的有关规定。 10.5.2纯水系统的规模、供水水质、水压和水温应根据工艺设备 的要求确定。 10.5.3纯水站的位置应满足工艺总体布局要求，并宜靠近用水 较集中的区域。 10.5.4水质要求较高的纯水系统应采用循环供水的方式，并应 符合下列规定： 1 循环管道宜采用同程布置； 循环附加水量宜大于或等于使用水量的30%； 3 干管流速宜为1.5m/s~3.0m/s; 4 不循环的支管长度不宜大于6倍管径： 5供水干管上应设清洗口。 10.6 研磨工艺水 10.6.1研磨工艺水系统所需水量、水压应根据工艺设备的需求 经计算确定 10.6.2 研磨工艺水系统的供水水质应满足工艺设备的需求。 10.6.3 研磨工艺水系统宜采用循环供水方式，并宜设置备用 设备。 10.6.4 研磨工艺水系统的水泵宜配备应急电源，
10.7 工艺循环冷却水
10.7.1工艺循环冷却水系统所需水量、水压、冷负荷应根据工艺 设备的需求经计算确定。对于水温、水压等要求差别较大的设备， 工艺循环冷却水系统宜分开设置。
10.7.3工艺循环冷却水系统的补水水质应满足工艺设备的 要求。 10.8废水处理 10.8.1生产废水分类应根据废水性质、污染物浓度和水量，结合 废水排放要求和废水处理工艺综合确定。 10.8.2生产废水处理系统应设置事故水池。 10.8.3 生产废水系统宜设置调节池。 10.8.4 废水处理构筑物的周围宜设置水质监测点。 10.8.5废水排放应符合现行国家标准《污水综合排放标准》GB 8978的有关规定。 10.9消防给水与灭火器配置 10.9.1玻璃基板工厂应设置室内外消火栓给水系统，避难走道 内应采用带消防软管卷盘的消火栓，设计应符合现行国家标准《建 筑设计防火规范》GB50016和《消防给水及消火栓系统技术规范》 GB50974的有关规定。 10.9.2生产厂房内各场所应配置灭火器，并应符合现行国家标 准《建筑灭火器配置设计规范》GB50140的有关规定。 10.9.3熔化区不应设置自动喷水灭火系统，应符合本标准第 6.2.3条的规定
据气体或液体特性确定设计要求，并应符合现行国家标准《爆炸危 险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。 11.1.3与熔炉系统安全相关的用电设备负荷等级宜定义为一级 负荷中的重要负荷，与配料、熔化、成型工序有关的用电设备负荷 等级宜定义为一级负荷，与后加工生产有关的用电设备负荷等级 宜定义为二级负荷。 X 11.1.4六级负荷中的重要负荷用电设备电力弱电管理、论文，应设置双路供电，并应 设应急电源。 11.1.5配料、窑炉、成型控制系统宜设不间断电源或动态稳压 电源。
11.2.4玻璃基板厂房低压配电电压等级应符合生产工艺用电要
11.2.5 变压器低压侧宜设置低压无功补偿柜，并宜加装适配的 电抗器
行标准《建筑照明设计标准》GB50034和《电子信息行业人】 明设计标准》SJ/T11665的有关规定医院建设标准，照明灯具宜选用节食 光源。
11.3.5备用照明设置应符合下列规定：
【1生产区均应设置备用照明，且备用照明宜作为正常照明的 部分，照度不应低于该场所一般照明照度值的20%。特别重要 的工艺场所其备用照明应为正常照明照度值。 2非工艺区备用照明设置应符合现行国家标准《建筑设计防 火规范》GB50016的有关规定。 11.3.6厂房内应设置供人员疏蔬散用的应急照明，并应符合现行 国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。 11.3.7洁净室（区）内一般照明用灯具宜采用吸顶明装、不易积 尘、便于清洁的洁净灯具。当采用嵌入式灯具时，灯具安装的缝隙 应有密封措施。
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