GB／T 41153-2021  碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

9.4.4按照标准样品、空白样品、测试样品的测试顺序重复9.4.1～9.4.3步骤，对样品架上月

10.1待测元素的相对灵敏度因子按公式（1）计算

10.1待测元素的相对灵敏度因子按公式（1)计算：

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深圳标准规范范本[XI. =Su(x) X RSF(x

GB/T 411532021

选取2片碳化硅单晶片，分别选取10个测试位置，在同一实验室采用二次离子质谱仪按照本文件 规定的方法对样品中的硼、铝、氮含量分别进行测试。本方法单一实验室对硼、铝、氮含量测试的相对标 佳偏差不大于10%，

试验报告应至少包括以下内容： 样品来源及编号； b） 标准样品和测试样品的编号； c) 测试样品的取样位置； 待测元素的相对灵敏度因子； e 测试样品和空白样品中的待测元素的含量 f 本文件编号； g）使用的仪器型号； h）试验条件； i）操作者及测试日期