GB／T 20230-2022  磷化铟单晶

磷化钢单晶抛光片的几何参数应符合表4的规定。

磷化钢单晶抛光片正表面应无李晶、无划痕、无橘皮、无凹坑、无雾、无沾污、无崩边或裂纹等异常。

磷化钢单晶抛光片正表面的颗粒应符合表5的规定。

注：需方如对磷化铟单晶抛光片的表面颗粒有特殊要求，由供需双方协商确定

线材标准6.1.1.1磷化钢单晶锭导电类型的检测按GB/T4326的规定进行。 6.1.1.2n型、P型磷化钢单晶锭载流子浓度、迁移率以及n型磷化钢单晶锭电阻率的检测按GB/T4326 的规定进行。

钢单晶锭晶向的检测按GB/T1555的规定进行

磷化钢单晶锭位错密度的检测接附录A的规定进行，计数方式的选取由供需双方协商确定

6.2磷化铟单晶抛光片

6.2.1表面取向及基准标记

GB/T20230—2022

6.2.1.1磷化钢单晶抛光片表面取向的检测按GB/T1555的规定进行。 6.2.1.2磷化钢单晶抛光片主参考面取向及切口基准轴取向的检测按GB/T13388的规定进行 6.2.1.3磷化钢单晶抛光片副参考面取向的检测采用满足准确度要求的角度尺进行

6.2.2.1磷化钢单晶抛光片直径、主参考面长度、副参考面长度的检测用精度为0.02mm的量具进行 6.2.2.2磷化钢单晶抛光片厚度的检测按GB/T6618中规定的分立点式测量方法进行。 6.2.2.3磷化钢单晶抛光片切口尺寸的检测按GB/T26067的规定进行。 6.2.2.4磷化钢单晶抛光片总厚度变化、翘曲度、总指示读数的检测按GB/T32278的规定进行

6.2.2.1磷化钢单晶抛光片直径、主参考面长度、副参考面长度的检测用精度为0.02mm的量具进行

因单晶抛光片表面质量的检测按GB/T6624的规

磷化钢单晶抛光片表面颗粒的检测按GB/T199

7.1.1产品由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定， 7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时， 应在收到产品之日起三个月内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，应由供需双方 协商确定

7.2.1磷化钢单晶锭应成批提交验收。每批应由同一根磷化铟单晶锭组成。 7.2.2磷化铟单晶抛光片应成批提交验收。每批应由同一牌号，并可追溯生产条件的磷化钢单晶锭加 工的磷化钢单晶抛光片组成

7.3.1磷化钢单晶锭的检验项目及取样应符合表6的规定

表6磷化铟单晶锭的检验项目及取样

7.3.2磷化铟单晶抛光片的检验项目及取样应符合表7的规定

7.3.2磷化铟单晶抛光片的检验项目及取样应符合表7的规定。

表7磷化铟单晶抛光片的检验项目及取栏

7.4.1磷化钢单晶锭电学性能、晶向、位错密度的检验结果中有任意一项不合格时，允许对该磷化钢单 晶锭另取双倍数量的试样，对不合格的项目进行重复检验。若重复检验结果仍有任一试样不合格，则判 该根磷化钢单晶锭为不合格。 7.4.2磷化铟单晶锭的外观质量检验结果不合格时，判该根磷化钢单晶锭不合格。 7.4.3磷化钢单晶抛光片表面取向及基准标记、几何参数、表面质量及表面颗粒的检验结果接收质量 限应符合表7的规定，或由供需双方协商确定

8标志、包装、运输、贮存和随行文件

供方名称、商标； b) 产品名称； c) 产品规格； d) 产品数量； e) 出厂日期； f) “小心轻放”“防潮”“防腐”“易碎”标志或字样； g) 其他。

GB/T20230—2022

3.2.1磷化钢单晶锭装入洁净的塑料 袭内后，放入有凹槽的泡沫内，再置人包装箱内。 8.2.2磷化钢单晶抛光片装人洁净的包装片盒内进行单片包装，外用洁净的塑料袋及铝箔袋抽真空或 充入氮气密封包装，再置人包装箱内

产品应贮存在清洁、干燥的环境中

每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期 外，还宜包括下列文件。 a）产品质量证明书，内容如下： ·供方名称； ·需方名称； · 合同号； ·产品名称、规格、牌号； 产品批号； ·产品数量； ·各项参数检验结果； ·技术监督部门印记和检验员盖章。 b）产品合格证，内容如下： ·检验项目及其结果； ·产品批号； ·检验日期； ·检验员签名或印章 产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告。 d 产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等。 e）其他

需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容： a）产品名称； b）产品规格； c）产品数量； d）本文件编号； e）本文件中要求在订货单中注明的内容； f）适用的包装要求； g)其他。

附录A （规范性） 磷化铟单晶位错密 度的测试方法

磷化钢单晶中位错周围的晶格会发生畸 ，某些化学腐蚀液对晶体缺陷部分有择优 窝蚀作用，在晶体表面上的位错露头 交快，进而形成具有特定形状的腐蚀坑。在显微镜下观 察并按一定规则统计这些腐蚀坑，单位 个数即为位错密度

A.2.1磷酸：质量分数85%，分析纯及以上

金相显微镜，放大倍数为100倍～500倍

将磷化钢单晶锭切割成表面取向（100）土5°的晶片后，经研磨、双面抛光后，使表面呈镜面状态、无 划伤，之后用去离子水清洗、干燥

为磷酸、漠化氢的混合液，其体积比为H,PO，：H

不少于5次，将样品表面的化学试剂洗净，吹干。

A.4.4选择视场面积

将样品置于金相显微镜载物台上，选择放大倍数为100倍，扫描整个样品表面，估算位错密度。根 据位错密度（N。），选取视场面积： a）Na≤5000，选用视场面积S≥0.01cm； b）500050000，选用视场面积S≥0.0005cm

对于位错密度小于5000个/cm的磷化钢单晶，宜选用全片散点计数方法，具体计数方法也可 双方协商确定

A.4.5.217点计数方法

GB/T20230—2022

径）为间距取测试点，如图A.1所示

A.4.5.3全片散点计数方法

图A.117点计数方法的测试位置

表A.1全片散点计数方法的测试方格边长

图A.2全片散点计数方法的测试位置

更加清晰明显，并对各个测试图像中位错腐蚀坑的数 A3小

注1：S为平底坑建筑施工组织设计，不作为位错数目计数。

注2：D为位错腐蚀坑.作为位错数目计数

图A.3（100）磷化铟单晶典型位错腐蚀坑图形

N，一第i个测试点的位错密度，单位为个每平方厘米（个/cm）； 一该测试点的位错腐蚀坑数，单位为个； 一测试点视场面积，单位为平方厘米（cm）。 磷化钢单晶抛光片的位错密度为晶片所有测试点位错密度的平均值，按公式（A.2)计算

N。——磷化钢单晶位错密度，单位为个每平方厘米（个/cm）； 测试点数量柴油质量标准，单位为个

试验报告中应至少包括以下内容： a) 样品信息，包括晶片编号； b) 测试点数目； c) 视场面积； d) 位错密度； e) 测试人员； f) 测试日期。