为满足精密设备的正常使用要求，对设备生产环境中振幅微 小、振动能量主要集中在低频段的振动采取的一系列技术措施

3.0.1薄膜太阳能电池工厂设计应合理利用资源，保护环境，并 应防止在生产建设活动中产生的废气、废水、废渣、粉尘以及噪声、 振动、电磁波辐射对环境的污染和危害

.0.2 薄膜太阳能电池工厂设计应符合下列规定： 1 根据生产工艺的特点采用新技术、新设备、新材料； 2 满足设备安装、调试检修、安全生产、维护管理的要求： 3 采取措施满足消防安全的要求； 4 采取节约能源措施； 5 满足生产所需要的环境要求； 6 提高信息化运行、维护和管理能力。 .0.3 薄膜太阳能电池工厂的设计能力应符合经济规模的要求

4.1.1 薄膜太阳能电池工厂的工艺设计应符合下列规定： 1 确保生产效率和产品质量； 2 确保生产人员的劳动安全，减轻劳动强度； 3 确保生产线物流顺畅； 4 具有灵活性和适应性； 5 有利于降低工程造价和运行费用。 4.1.2 薄膜太阳能电池工厂的工艺设计参数应根据生产工艺的 特点确定，并应符合下列规定： 生产环境、动力品质参数应满足生产工艺的要求； 2 原辅材料、成品储运设施应满足生产工艺的要求； 3 生产空间、面积、动力需求应满足产品生产大纲的要求： 4 宜预留生产线产能提升、升级改造所需的空间、面积、动力 需求。 4.1.3与生产工艺直接相关的生产部门宜采用连续运转的生产 组织方式。

4.2.1薄膜太阳能电池工厂的生产加工工序可按附录A 艺流程确定。

4.2.2薄膜太阳能电池工厂应配置辅助生产设施。

1 生产设备的大修，仪器仪表的校验： 2 生产工艺过程需使用的工具、夹具、模具的制作和修理；

原辅材料及成品的厂外运输； 洁净服的清洗； 废液、废玻璃和其他固体废弃物的回收处理

3.1 薄膜太阳能电池工厂中生产区的工艺区划应符合下列规定： 1 生产线应根据工艺加工流程顺序布置； 相同工序的设备宜集中布置； 设备布置应设置安装、操作、维修的空间； 4 生产区的人流和物流出入口应分别设置； 5 生产区域应设置设备搬运口和搬运通道； 激光刻线和其他振动敏感设备宜远离振动源布置； 与生产密切联系的辅助生产部门宜贴近生产区。 3.24 生产区设置参观设施时，参观区域及其通道宜与生产环境 离，并应保证生产区域物流和人员疏散通道的通畅。 3.3薄膜太阳能电池工厂应设有原辅材料和产品仓储设施，并 符合下列规定： 1应根据所存储物料的物理化学性质和存储环境要求，分类 置各类库房；

1应根据所存储物料的物理化学性质和存储环境要求，分类 设置各类库房； 2主要原辅材料和产品库房宜设置装卸货平台

4.4.1薄膜太阳能电池生产设备和辅助设备宜选择自动化程度 高、耗能低、排放少的设备，洁净区内的生产设备应符合现行国家 标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定 4.4.2生产线工序之间宜采用自动传输设施。采用人工传输时 应配置搬运车和相应的产品载具。

高、耗能低、排放少的设备，洁净区内的生产设备应符合现行国家 标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定。

高、耗能低、排放少的设备，洁净区内的生产设备应符合现行国家

5.1.1厂址选择应符合国家和地区规划的要求，并应节约用地和 合理用地。

理、建设条件、道路交通条件、环境保护和其他因素进行调查研究， 并应进行多方案技术经济比较确定

5.1.3厂址应具有满足建设工程需要的工程地质条件和水文地

5.1.5厂址应具有满足生产、生活及发展规划需要的水源、气源 和电源。

勿（NO.）、氨气等气体或二氧化硅等粉尘的生产区应位于全 频率风向上风侧。

5.2.3动力区应靠近负荷中心，生活服务区宜独立集中

应符合现行国家标准《工业企业总平面设计规范》GB50187的有 关规定。

5.2.4甲、乙类物品库房和甲、乙类气体站宜独立设置，

应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016及《特种气体 系统工程技术规范》GB50646的有关规定

5.2.5厂区宜设置环形消防车道，并应符合现行国家标准《建筑

用柔性面层。厂区道路设计应符合现行国家标准《厂矿道路设计 规范》GBJ22及《工业企业总平面设计规范》GB50187的有关 规定。

5.3.1竖向设计应与总平面布置统一考虑，并与区域总体规划、 厂外道路、厂外排水管网、厂区周围地形等相协调。 5.3.2竖向设计应根据地形、生产工艺、运输方式、水文地质条件 等因素确定。

5.3.3厂区出入口标高宜高

厂外道路标高时，应采取有效的场地排水措施。建筑物室 i标高应高于室外地面标高，高差不应小于150mm。

5.4.1 厂区的人流、物流出入口宜分开设置。 5.4.2 广区应根据当地规划设计要求设置停车场地 5.4.3 物料的运输流线应便捷、流畅。

5.4.4工厂应设装卸货区，且装卸货区不得占用消防通道。

6.1.1厂房平面和功能布置应满足生产工艺布局、辅助设施以及 消防要求。 6.1.2厂房建筑主体结构宜采用大空间及天跨度柱网。 6.1.3厂房围护结构材料应满足保温、隔热、防火、防水、防潮、防 尘要求。 6.1.4厂房变形缝不宜穿越洁净生产区；当必须穿越时，应采取

6.1.3厂房围护结构材料应满足保温、隔热、防火、防水、防潮、防 尘要求。 6.1.4厂房变形缝不宜穿越洁净生产区；当必须穿越时，应采取 保证气密的措施，

隔声、隔振措施，并应符合现行国家标准《工业企业噪声控制设计 规范》GB/T50087的有关规定。

6.2.1生产厂房、动力站房和库房的火灾危险性确定应符合现行 国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定，生产厂房的 耐火等级不应低于二级。

电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定；非洁净 分区的划分，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范 0016的有关规定

6.2.3每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数

，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有

6.2.4厂房内洁净区的安全疏散距离应符合现行国家标准《电子

工业洁净厂房设计规范GB50472的有关规定；非洁净区的安全 疏散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的 有关规定。

6.2.5厂房各层外墙应设置可供消防人员进入的专用消防口。

6.3.1厂房内部装修应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防 火规范》GB50222和《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的 有关规定。 6.3.2有爆炸危险的甲、乙类物品的存储间、配送间应采用不发

1 地面应做防冻设计，并应采取防止地下水和地表水浸入 措施； 2 地面面层宜米用防静电地面： 3 建筑围护结构应满足热工性能要求： 4 建筑围护结构宜采取防潮措施，并应提高蒸汽渗透阻

7.1.1结构设计宜优先采用新结构、新材料、新技术，做到安全适 用、经济合理。

7.1.2结构设计应满足工艺设备的微振动控制要求

7.2.1生产厂房结构布置应适应生产设备灵活布置及货物运输、 装卸等使用功能要求，宜采用大跨度柱网、大空间的结构布置 形式。

7.2.3生产厂房的横向、纵向温度区段超过现行国家标

土结构设计规范》GB50010规定的伸缩缝最天间距时，应采取综 合措施防止温度变化和混凝土膨胀、收缩对结构的影响

7.2.4生产厂房临近物流口处设置的装卸货平台和生产

7.2.5当生产厂房屋面布置太阳能电池阵列时，屋面布置区域和 检修通道均应计人实际附加荷载

7.2.5当生产厂房屋面布置太阳能电池阵列时，屋面布置区域和

微振动控制的测试、分析、设计应符合现行国家标准《电子 微振工程技术规范》GB51076的有关规定。

振动评价方法和微振动控制容许值的要求确定，并应满足设备制 造厂商对设备支承部位的动态刚度标准值要求。

50021和《地基动力特性测试规范》GB/T50269的有关

8.1.1冷热源设置应根据负荷特性，结合气候特点、能源结构、环 保要求综合考虑，并应符合下列规定： 1生产厂房的冷热源应集中设置： 2在执行分时、峰谷电价的地区，经技术经济比较，宜采用蓄 能系统供冷； 3宜优先采用城市、区域供热和利用当地工厂余热。 8.1.2冷热源设备设置应符合下列规定： 1设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择 并应保证设备在高、低负荷工况下均能安全、高效运行，冷热源设 备不宜少于2台； 2工艺用冷热负荷的设备宜设置备用或在设备选型时预留 备用容量。

8.1.2冷热源设备设置应符合下列规定：

1设备台数和单台容量应根据全年冷热负荷工况合理选择， 并应保证设备在高、低负荷工况下均能安全、高效运行，冷热源设 备不宜少于2台； 2工艺用冷热负荷的设备宜设置备用或在设备选型时预留 备用容量。

1应采用带比例调节燃烧器的全自动锅炉，单台锅炉的设计 容量宜使其实际运行效率不低于50%； 2锅炉的大气污染物排放限值，应符合现行国家标准《锅炉 大气污染物排放标准》GB13271的有关规定，并应符合所在地区 有关大气污染物排放要求。其烟窗的设置应满足当地环保要求。

。2.1大宗气体供应系统宜在厂区内或厂外邻近处设置。

大宗气体供应系统宜在厂区内或厂外邻近处设置 气体纯化装置的设置，应符合下列规定： 气体纯化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度、允许杂

气体纯化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度、允许杂

8.2.3氢气、氧气管道采取安全技术措施应符合下

1严禁穿过生活间、办公室； 2当必须穿过不使用此类气体的其他房间时，应设套管或使 用双层管； 3应设置导除静电的接地设施； 4引入管道上应设置自动切断阀。 8.2.4氢气管道的干管终端或最高点应设置放散管。放散管应 引至室外，放散管管口应高出本建筑屋脊1.00m，并应设置阻火器 以及防雨雪、防杂物侵入的装置。放散管应设防雷保护设施。

8.2.5气体管道及阀门应根据产品生产工艺对气体品质的

选择，并应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定。

8.2.6气体管道连接应符合下列规定：

1不锈钢管道焊接应采用氩弧焊，且宜采用自动氩弧焊或等 离子熔融对接焊； 2管道与设备或阀门的连接，宜采用表面密封的接头或双卡 套，接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫

8.3.1特种气体宜采用瓶装气体供应，在厂区内应设置储 配系统

8.3.2特种气体应根据危险性质和存储数量设置独立的气瓶间。

8.3.3厂房内自燃、易燃、腐蚀性或有毒特种气体输送系

1特种气体钢瓶应设置在具有连续机械排风的特种全 瓶柜中； 2排风系统、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源

3特种气体分配系统设置支管或供应多台生产设备使用时， 应设置阀门箱或多路阀门箱。 8.3.4 特种气体分配系统应符合下列规定： 1 设置吹扫盘； 2 设置紧急切断装置； 3 设置过流量控制装置； 4 不相容特种气体不得共用吹扫氮气源。 8.3.5 特种气体系统的设计应符合现行国家标准《特种气体系统 工程技术规范》GB50646的有关规定

3特种气体分配系统设置支管或供应多台生产设备使用时， 应设置阀门箱或多路阀门箱。

8.4.1干燥压缩空气系统应根据生产工艺要求、供气量

质等因素确定，并应符合下列规定： 1供气规模应按生产工艺所需实际用气量及系统损耗量 确定； 2供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径的 要求确定； 3宜选用能耗及噪声低的无油润滑空气压缩机。 8.4.2风冷式空气压缩机及风冷式干燥装置的设置场所及设备 布置，应采取防止冷却空气发生短路的措施。 8.4.3压缩空气系统的管路系统设计应符合现行国家标准《电子 工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定，并应符合下列 规定： 1当干燥压缩空气露点低于一76℃时，宜采用内壁电抛光不 锈钢管，阀门宜采用波纹管阀； 2当干燥压缩空气露点低于一40℃时，可采用不锈钢管或热 镀锌碳钢管，阀门宜采用球阀； 3压缩空气主管道的直径应按全系统实际用气量进行设计， 支干管道的直径应按局部系统实际用气量进行设计，支管道的管

.4.3压缩空气系统的管路系统设计应符合现行国家标准《

工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定，并应符合下列 规定： 1当干燥压缩空气露点低于一76℃时，宜采用内壁电抛光不 锈钢管，阀门宜采用波纹管阀； 2当干燥压缩空气露点低于一40℃时，可采用不锈钢管或热 镀锌碳钢管，阀门宜采用球阀； 3压缩空气主管道的直径应按全系统实际用气量进行设计 支干管道的直径应按局部系统实际用气量进行设计，支管道的管

径应按设备最大用气量进行设计； 4当干燥压缩空气露点低于一40℃时，管道连接的密封材料 宜选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片； 5压缩空气管道连接宜采用焊接，不锈钢管道应采用氩 弧焊； 6压缩空气管道采用软管连接时，宜选用金属软管

8.5工艺真空和清扫真空

8.5.1生产房工艺具空系统的设计应付合下列规定： 1工艺真空系统的抽气能力应按生产工艺所需实际用气量 及系统损耗量确定； 23 抽气设备应布置在生产厂房内： 应选用能耗及噪声低的设备； 工艺真空系统宜设置真空压力过低保护装置； 真空系统中应至少备用一台真空泵。 8.5.2 工艺真空系统的管道设计应符合下列规定： 应布置成树枝状形式； 2工艺真空主管道的直径应按全系统的实际抽气量进行设 计，支干管道的直径应按局部系统的实际抽气量进行设计，支管道 的直径应按设备最大抽气量进行设计： 3工艺真空系统的管道材料宜选用热镀锌钢管或厚壁聚氯 乙烯管道； 4工艺真空系统的管道采用软管连接时，应选用金属软管； 5 工艺真空管道宜架空敷设。 8.5.3 生产厂房清扫真空系统应符合下列规定： 1 当净化区面积小于1000m时，可采用移动式清扫真空 系统； 2清扫真空系统的抽气能力应按同时使用清扫真空点的数 量及每个使用点的抽气量确定；

3清扫真空设备应布置在生产厂房内； 4清扫真空管路应布置成树枝状形式，支管路应采用成品Y 形接头沿抽气方向进入主管路： 5清扫真空管道系统末端宜设吹扫阀； 6清扫真空系统排气应符合现行国家标准《大气污染物综合 排放标准》GB16297的有关规定

9供暖、通风、空气调节与净化

9.1.3生产工艺中散发的物质对其他工序的产品质量及人员 全卫生有影响的净化空气调节系统应分开设置。凡属下列情况 一时，净化空气调节系统宜分开设置： 1 温湿度基数和充许波动范围差别大的洁净室： 2 净化空调系统和一空调系统； 3 室内工艺设备发热、散湿量相差大的洁净室； 采用不同型式的洁净室。 9.1.4 洁净室内的新风量应取下列两款中的最大值： 1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和： 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m。 9.1.5 洁净室与周围空间的静压差应符合下列规定： 1 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa； 2 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa； 3 洁净室与室外的静压差不应小于10Pa

9.2供暖、通风与废气处理

1供暖设计应符合现行国家标准《工业建筑供暖通风与空 设计规范》GB50019的有关规定。 2洁净室内不应采用散热器供暖

9.2.2洁净室内不应采用散热器供暖

9.2.3严寒地区和寒冷地区各动力站房应根据工艺要求设置值 班供暖，

1化学气沉积设备的尾气应设尾气处理设备，且粉尘去除 率不应低于99%； 2含有酸、碱废气的排风系统应独立设置，风机应设置应急 电源； 3工艺设备的排风系统应根据工艺要求设置备用风机； 4有冷凝液产生的排风系统风管应设置坡度和排液口，且风 管系统应采取防液体渗漏措施； 5化学气相沉积设备的排风系统应采取防火、防爆措施； 6 酸、碱、有毒排风系统不应设置熔片式防火阀； 7 酸、碱排风系统的风机应设置在废气处理设备的气流下 游侧； 8排风系统的室外风管应根据当地气象条件采取防结露保 温措施；

1酸、碱废气不宜采用固定床吸附剂方式处理； 2酸、碱废气宜采用淋洗方式处理，处理设备的填料层数、厚 度和喷淋药液循环量应经计算确定：处理设备的加药、补水、排污 和液位控制应采用自动方式：处理设备的日用液箱应就近设置： 3废气处理设备并联运行时，应在每台设备的入口设置电动 或气动密闭风阀，该风阀在工作压力下的泄漏率不应大于1%，且 应与对应的废气处理设备联锁； 4严寒地区或寒冷地区的淋洗式废气处理装置宜布置在室 内，当布置在室外时应采取防冻措施

废气的排放浓度、排放速率及排气筒高度应符合现行国家标准《大 气污染物综合排放标准》GB16297的有关规定，排气筒出口处风 速宜为15m/s20m/s。

9.2.8化学气相沉积设备区域及对应吊顶空间内应设置不低于

9.2.9化学气相沉积设备尾气处理设备间应设置不低于12次/h

衣间宜设置不低于5次/h的全室排风系统。排风系统设计应符 合下列规定： 1宜从下部区域排出总排风量的2/3，上部区域排出总排风 量的1/3；

衣间宜设置不低于5次/h的全室排风系统。排风系统设计应符 合下列规定：

宜从下部区域排出总排风量的2/3，上部区域排出总排风 量的1/3； 2换鞋柜宜设置局部排风措施。

9.3.1净化空气调节系统的新风宜集中处理，新风处理机组的设 置应符合下列规定： 1 送风机应采取自动调速措施： 2空气宜经过粗效、中效、亚高效过滤器或高效过滤器三级 处理； 3 新风吸入口的位置应远离有害物或可燃物的排出口； 4新风处理系统应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率 不应大于1%； 5 新风处理机组的安装高度应满足机组冷凝水的排出要求 9.3.2 净化空气调节系统的循环风宜采用循环空气处理机组 处理。

9.3.4PVB切割装配间净化空调系统设计应符合下列规定：

9.3.4PVB切割装配间净化空调系统设计应符合下列规定：

1 应对围护结构、人员、设备、物料等进行散湿计算； 2 应进行湿负荷的平衡计算； 3 净化空调系统的处理机组及除湿机组宜贴近生产车间； 4 净化空调系统的设备、风管及配件应采取密闭措施； 5 净化空调系统不宜采用回风夹道、地沟等方式回风； 6 净化空调系统的回风管宜在低湿空间内敷设。 3.5 洁净室的送风量应符合现行国家标准《洁净厂房设计知

9.3.5洁净室的送风量应符合现行国家标准《洁净厂房设计规

标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定

9.4.1厂房中防烟排烟系统的设置应符合现行国家标准《建筑设 计防火规范》GB50016的有关规定，并应符合下列规定： 1防烟楼梯间、前室或合用前室宜设置自然排烟设施，当不 能满足自然排烟要求时，应设置机械防烟系统； 2厂房中不具备自然排烟的疏散走廊，应设置机械排烟 系统。

2厂房中不具备自然排烟的疏散走廊，应设置机械排烟 系统。 9.4.2洁净室（区）排烟系统的设置应符合现行国家标准《电子工 业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定。当有洁净度等级要 求的房间内人员密度小于0.02人/m，且安全疏散距离小于80m 时，洁净室（区）可不设机械排烟设施。

9.4.2洁净室（区）排烟系统的设置应符合现行国家标准

洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定。当有洁净度等 的房间内人员密度小于0.02人/m，且安全疏散距离小于 十，洁净室（区）可不设机械排烟设施

9.4.3洁净室（区）的排烟系统应有防止室外气流倒灌的

10.1.1薄膜太阳能电池工厂的室内给水排水设计应符合现行国 家标准《建筑给水排水设计规范》GB50015的有关规定，并应符合 下列规定： 1洁净室内不宜穿过与该洁净室无关的给水排水管道，当必 穿过时，应采取可靠的防渗漏、防结露施； 2洁净区内的排水管道不宜直接理地敷设。 10.1.2水质、水温、水压、水量及给水系统应根据工艺生产要求 确定。

10.2.1下列场所应设置紧急冲身洗眼器，冲身洗眼器的服务半 径不应大于15m： 1毒性、腐蚀性特种气体的储存间及其他可能产生泄漏，井 对人员造成伤害的区域； 2危险化学品储存、配制及其他可能产生泄漏，井对人员造 成伤害的区域。 10.2.2给水、排水管道的管材应符合下列规定： 1给水管道的材质及接口应满足生产工艺对水质、水压、水 温等的要求； 2排水管道的材质及接口应满足生产废水水质的要求。 10.2.3生产废水、生活污水系统应分别设置。 10.2.4生产废水收集系统宜设置通气管，通气管应高出屋面2m 1025生产厂良层面雨水排水的设计应符合现行国家标准《建

10.2.1下列场所应设置紧急冲身洗眼器，冲身洗眼器的服务半 径不应大于15m： 1毒性、腐蚀性特种气体的储存间及其他可能产生泄漏，井 对人员造成伤害的区域； 2危险化学品储存、配制及其他可能产生泄漏，并对人员造 成伤害的区域。

2排水管道的材质及接口应满足生产废水水质的要求。 10.2.3生产废水、生活污水系统应分别设置。 10.2.4生产废水收集系统宜设置通气管，通气管应高出屋面2m。

筑给水排水设计规范》GB50015的有关规定，并应符合下列规定： 1屋面雨水排水管道的排水设计重现期不宜小于10年； 2屋面雨水排水工程与溢流设施的总排水能力不应小于50 年重现期的雨水量； 3雨水管道不宜穿越洁净室，必须穿越时应采取防结露保温 措施。 10.2.6洁净室（区）内地漏等排水设施的设置应符合现行国家标 准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。 10.2.7对能溶于水且形成危害物的特殊气体间的消防排水，应 设置收集设施并排入废水处理站处理后排放。 10.2.8当设有废水收集槽且采用提升泵输送废水时，废水提升 泵宜设置应急电源

10.3.1纯水系统的设计应符合现行国家标准《电子工业纯水系 统设计规范》GB50685的有关规定，并应符合下列规定： 1 纯水系统循环回流水量不宜小于设计供水量的20%； 2 纯水系统的回收率应根据项目实际情况确定： 3 纯水系统的管路布置应确保用水点的水质和水压。 10.3.2 纯水制备区域排水管道的管径应按照纯水制备设备的瞬 时最大排水量确定

10.4工艺冷却循环水

10.4.1工艺设备冷却循环水的水质、水温、水压应根据生产设备 要求确定。 10.4.2工艺冷却循环水系统应根据用水设备的布置情况、进出 口温度、使用压力和水质等要求确定。

口温度、使用压力和水质等要求确定。 10.4.3工艺冷却循环水系统的管材及配件应根据水质、水压要 求确定。

10.4.4当工艺冷却水系统的水温与洁净室的环境温度不同时， 布置在洁净室内的工艺冷却循环水管道应采取保温措施。 10.4.5工艺冷却水循环水泵宜采用应急备用电源；水泵应采用 N十1备用，并应采用变频控制。 1046工艺冷却水的补水水质应满足工艺设备的要求

10.4.6工艺冷却水的补水水质应满足工艺设备的要求。

(10. 4. 7)

式中：V有效 集水箱（池）的有效容积（m）： K一一安全系数，取1.1~1.2； D一未充满水管道的直径（m）； L一一未充满水管道的长度（m）。 2集水箱（池）的最低液位应满足水泵吸水口需要的最小 没深度。当水泵吸水管的流速小于或等于0.6m/s时，最小没 深度不应小于0.3m；当水泵吸水管的流速为1.2m/s时，最小 没深度不应小于0.6m。 3停泵时因重力流入集水箱（池）的管道水容量应有溢流排 水的技术措施。

10.4.8工艺冷却循环水系统的管道流速应经水力计算确定，任

10.5.1J 废水系统设计应符合现行国家标准《电子工程环境保护 设计规范》GB50814的有关规定，并应满足下列规定： 1应根据废水水量、水质及环境影响评价报告及批复意见确 定处理流程； 2废水处理设施及未端排放口宜设置在线监测装置；

3 废水输送管道不宜直接埋地敷设。 10.5.2 生产废水系统的设置应符合下列规定： 1 不同污染物的生产废水宜分别设置： 2 废液与生产废水应分别设置； 3 含有重金属污染物的生产废水应设置单独的收集和处理 系统。

10.6.1消防给水系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防 火规范》GB50016、《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472、《自 动喷水灭火系统设计规范》GB50084、《消防给水及消火栓系统技 术规范》GB50974的有关规定，并应符合下列规定： 1洁净室生产区应设置室内消火栓； 2洁净生产区设置自动喷水灭火系统时，喷水强度不应小于 8L/（min·m），作用面积不应小于160m； 3洁净室向下气流区域内应采用快速响应喷头： 4布置在高温设备区顶部的喷头，其公称动作温度应根据该 区域局部环境温度确定。 10.6.2气体灭火系统的设置应符合现行国家标准《气体灭火系 统设计规范》GB50370和《二氧化碳灭火系统设计规范》GB 50193的有关规定。 10.6.3泡沫灭火系统的设置应符合现行国家标准《泡沫灭火系统 设计规范》GB50151的有关规定；水喷雾灭火系统的设置应符合现 国宝

设计规范》GB50151的有关规定；水喷雾灭火系统的设置应符 国家标准《水喷雾灭火系统设计规范》GB50219的有关规定