GB 51343-2018  真空电子器件生产线设备安装技术标准(完整正版、清晰无水印)

利用高速电子撞击金属靶面产生X射线的真空电子器件

用微波测量仪器对微波电子管的高频组件，如谐振腔、慢 、输入输出组件以及整管高频系统等的测量和调整

将器件的各天部件按照设计图纸要求封焊起来的工艺过

将总装封焊好的真空电子器件内部抽真空，并对管壳、电极 吸气剂等进行处理的工艺。

将真空电子器件制造过程中的排气、封离采用真空针焊工 次完成的工艺处理过程。

3.0.1真空电子器件生产线工艺设备主要应包括高频电

3.0.1具空电子器件生产线工艺设备主要应包括高频电子管、微 波电子管、X射线管、真空开关管的制造工艺设备和检测设备。 3.0.2真空电子器件生产线应根据真空电子器件产品的性能指 标与质量要求，合理选用成熟先进的工艺技术，科学制定生产线工 艺流程。

3.0.2真空电子器件生产线应根据真空电子器件产品的性能指

3.0.3真空电子器件生产线应经济适用、安全可靠、节约资源、降

3.0.3真空电子器件生产线应经济适用、安全可靠、节约资源、降 低能耗。

3.0.4生产厂房变形缝不宜穿越洁净区

3.0.5真空电子器件生产厂房宜分别设置人员、物料和设备出入 口，设备出入口应处于常闭状态。 3.0.6真空电子器件洁净生产环境应根据生产工艺要求确定相 应的空气洁净度等级

3.0.7真空电子器件生产线宜采用双路供电、

1给水管道应根据生产线空间空气的露点温度，对给水管道 采取防结露措施并应在相应位置设置露水收集器； 2生产线区域内产生异味的排水应采取接管方式，宜采用具 有防功能的地漏； 3生产区域内的纯水供应设施应符合现行国家标准《电子工 业纯水系统设计规范》GB50685的有关规定； 4生产区域内的冷却水供应设施应符合现行国家标准《工业 循环冷却水处理设计规范》GB50050的有关规定。工艺冷却循环 水系统供水水温不宜大于30℃，使用点压力不宜小于0.3MPa，补

3.0.9真空电子器件生产线使用的氢气和氧气的制

气系统应符合现行国家标准《氢气站设计规范》GB50177、《氧气 站设计规范》GB50030和《大宗气体纯化及输送系统工程技术规 范》GB50724的有关规定

汉优 范》GB50724的有关规定。 3.0.10真空电子器件生产线用压缩空气应符合《压缩空气第 1部分：污染物净化等级》GB/T13277.1的有关规定，气体过滤器 应根据产品生产工艺对气体洁净度的要求进行选择和配置。终端 气体过滤器应设置在靠近用气点处。 3.0.11真空电子器件生产线超高压操作现场宜设置视频监视系 统。剧毒品存放和使用现场应安装视频安防监控系统。 3.0.12真空电子器件生产线使用有油真空系统应设置除油装 置，除油后的尾气应接入尾气排放系统。 3.0.13真空电子器件生产线产生废气的场所应设置废气处理设 施，废气处理排放应符合现行国家标准《大气污染物综合排放标 准》GB16297的有关规定

3.0.14具空电子器件生产线产生污水的工序应设置污水处理设 施，废水处理排放应符合现行国家标准《污水综合排放标准》GB 8978的有关规定，

制系统，系统的设计应符合现行国家标准《火灾自动报警系统设计 规范》GB50116的有关规定。

图4.1.1高频电子管工艺流程图

4.1.2微波电子管主要制造工艺宜按下列流程构成（图

图4.1.2微波电子管工艺流程图

图4.1.3X射线管工艺流程图

4.1.4真空开关管主要制造工艺宜按下列流程构成（图

图4.1.4真空开关管工艺流程图

4.2.1真空电子器件生产线的主要设备宜包括表面处理设备，装 三发

4.2.1真空电子器件生产线的主要设备宜包括表面处理设备，装

4.2.2表面处理工艺主要设备宜包括清洗设备、镀覆

艺名称与主要设备可与表4.2.2对应

表4.2.2表面处理工艺主要设备

4.2.3装配、焊接及排气工艺主要设备宜包括各类热处理设备、 多种焊接设备、各类排气台等，其工艺名称与主要设备可与表 4. 2. 3对应。

表4.2.3装配、焊接及排气工艺主要设备

4.2.4老炼工艺主要设备宜包括工频高压老炼设备和直

4.2.4老炼工艺主要设备宜包括工频高压老炼设备和

试工艺主要设备宜包括真空度测试设备、X射线检测设 压测试设备等，其工艺名称和主要设备可与表4.2.5

备、工频耐压测试设备等，其工艺名称和主要设备可与表4.2.5 对应，

表4.2.5测试工艺主要设备

4.3.1真空电子器件生产线的工艺区划应符合产品的工艺流程，

并应符合下列规定： 1满足生产工艺流向的要求，相同工序的设备宜集中布置； 2设备的操作面应与通道布置在同一侧； 3真空电子器件生产线设备搬运通道应满足设备顺利进出 生产厂房的要求，并应满足安全生产和消防疏散的要求； 4生产厂房的洁净区与非洁净区应合理分隔，按照真空电子 器件对生产环境空气洁净度等级的要求，工艺布局应符合由外向 里空气洁净度等级逐级提高； 5洁净区与非洁净区物料的传递应设置风淋通道和传递窗； 6真空电子器件生产线清洗工序的区划应远离高压老炼检 测工序。

2生产设备配套的辅助设备应与生产设备就近布置； 3设备布局应避开建筑物的沉降缝或伸缩缝； 4真空电子器件生产线的工艺设备布局应考虑设备安装、检 测所需的空间和面积；需要检修的设备距墙不宜小于600mm； 5重型设备或运转时会产生很大振动的设备应布置在生产 房的一层，有剧烈振动的设备应采取减振措施； 6真空电子器件生产线氢炉宜布局在生产厂房的边跨或生 产厂房的顶层；对于尾气燃烧后直接排入大气的氢炉宜设置在生 产厂房顶层，对于采用明火燃烧尾气方式的氢炉宜设置在生产厂 房的边跨； 7粉尘处理设备、污水处理设备、废气处理设备应远离有洁 净度要求的设备区域，宜布置在室外或生产厂房的边跨。

5.1.1表面处理工艺环境应符合下列规定：

5.1.3表面处理工艺产生的废水、废气的处理应符合下列规定

5.1.3表面处理工艺产生的废

1表面处理工艺产生的废水应主要包含碱性废水、酸性废 水、电镀废水；废水的排放应符合现行国家标准《污水综合排放标 准》GB8978的有关规定；电镀废水的处理应符合现行国家标准 电镀废水治理设计规范》GB50136的有关规定； 2表面处理工艺产生的废气主要应包含碱性废气、酸性废

气、有机溶剂废气；废气的排放应符合现行国家标准《大气 合排放标准》GB16297的有关规定

1.4表面处理工艺使用腐蚀性化学品区域应设置紧急冲身 器。

5.1.4表面处理工艺使用腐蚀性化学品区域应设置紧急

5.2.1装配、焊接工艺环境应符合下列规定：

.4 采用氩弧焊焊接的场所应设置局部排风 5用氢场所应设置机械通风装置和事故排风装置：应设置 世漏报警装置，并与事故排风装置联锁

.4采用氩弧焊焊接的场所应设置局部排风

99.99%，采用瓶装氮气与用气炉连接端应配有减压阀，压力可 调节； 2氩气供气压力宜控制在0.2MPa~0.3MPa，纯度宜优于 99.999%，采用瓶装氮气与用气炉连接端应配有减压阀，压力可 调节。

5.4.1老炼及测试工艺动能条件应符合下列规定：

5.4.2老炼及测试工艺安全防护的种类和防护措施应符合下列

1真空电子器件生产线超高压操作现场宜安装视频监找 系统；

2工作现场宜配置送、排风及局部排风设施。 5.4.3 高压老炼和测试场所应设置紧急制动装置和门机联锁 装置。 5.4.4X射线管高压老炼和测试场所应设置铅屏蔽室或采取电 磁辐射隔离措施。

2工作现场宜配置送、排风及局部排风设施。 5.4.3 高压老炼和测试场所应设置紧急制动装置和门机联锁 装置。 5.4.4X射线管高压老炼和测试场所应设置铅屏蔽室或采取电 磁辐射隔离措施。

6.1.1厂房应按工艺设计技术要求验收合格，水、电、气、照明系 统应工作正常，各种管线接口应到位。 6.1.2洁净房空调净化系统应已连续正常运行24h以上，更衣 室、风淋室应已启用，并应符合现行国家标准《洁净厂房施工及质 量验收规范》GB51110的有关规定，工验收应合格。 6.1.3有防静电要求的工作区防静电设施应通过专项测试验收。 6.1.4冷测工序、高压试验等工序接地电阻应检测合格。 6.1.5设备安装前，设备安装工程施工单位在施工前应向项自建 设单位提交《真空电子器件生产线设备安装用水种类及指标综合 表》《真空电子器件生产线设备安装用气种类及指标综合表》《真空 电子器件生产线设备安装基本工艺条件综合表》，其内容和格式应 符合本标准附录A规定

5.1.1厂房应按工艺设计技术要求验收合格，水、电、气、照明系 统应工作正常，各种管线接口应到位。 5.1.2洁净厂房空调净化系统应已连续正常运行24h以上，更衣 室、风淋室应已启用，并应符合现行国家标准《洁净厂房施工及质 量验收规范》GB51110的有关规定，竣工验收应合格。

设单位提交《真空电子器件生产线设备安装用水种类及指标综合 表》《真空电子器件生产线设备安装用气种类及指标综合表》《真空 电子器件生产线设备安装基本工艺条件综合表》，其内容和格式应 符合本标准附录A规定

6.2.1设备开箱应由项目建设单位、监理单位、设备供货方和设 备安装工程施工单位的负责人员共同参加。 6.2.2设备开箱前应检查包装箱有无损坏及损坏程度。设备开 箱后，应由各方代表共同进行设备的检查和清点，填写《真空电子

6.2.2设备开箱前应检查包装箱有无损坏及损坏程度。设备开 箱后，应由各方代表共同进行设备的检查和清点，填写《真空电子 器件生产线设备开箱检查记录》，其内容和格式应符合本标准附录 B规定

6.2.3设备开箱后的检查内容凡

1设备铭牌、型号应与设备清单或设备技术说明书相符； 2检查设备的外观和内保护包装情况，应对是否有缺陷

坏或锈蚀做出记录； 3应按照装箱清单逐一清点零件、部件、工具、附件、附属材 料和技术文件是否齐全； 4对不需要安装或安装时不用的零件、附件、附属材料、工卡 具和技术文件应移交给使用单位保管； 5发现设备有缺陷、损坏和锈蚀等情况时，应由项目建设单 位与设备供货方协商处理

6.2.4设备开箱产生的固体废物应由项目建设单位

对纳入强制回收自录的产品和包装物应回收。包装回收物的处理 应符合现行国家标准《包装与环境第1部分：通则》GB/T 16716.1的有关规定。

6.3.1设备安装人员应核查设备搬运人口、设备搬运通道、楼板 载荷、设备基础等是否满足搬运条件。 6.3.2用叉车搬运设备时，全过程应平稳，不得产生冲击现象，设 备距路面高度应确保不触及路面障碍。

6.3.1设备安装人员应核查设备搬运入口、设备搬运通道、楼板

6.3.3用汽车运输时，应慢起慢停，车速应均匀，行进应平稳。

6.4.1设备位置调整合格后，可使用水性记号笔或单面粘胶带在 设备就位的重要基准点、基准线或参考基准线处做出醒目的标识。

6.4.1设备位置调整合格后，可使用水性记号笔或单面粘胶带在

6.4.3解体发货运输需要二次组装的设备，在设备主体或

框架就位后，应先对其调平调正，调整合格并紧固后再进 整体组装。

依据设备供货方提供的技术文件执行；设备调平、调正的数据应填 写在《真空电子器件生产线设备安装质量验收记录》中，其内容和 格式应符合本标准附录B规定。

6.4.5设备垫片码放宜与设备地脚底板平齐，垫片尖角应避免露

6.4.6自动化生产线部分联线设备的安装应符合下列规

1零件清洗处理过程联线设备可采用滚筒或篮筐传送方式； 2联线设备的安装，除应满足在线单机设备安装的要求，还 应满足设备与传送线相互衔接部分的安装要求，安装项自应主要 包括设备与传送线的运行节拍、监控、阻挡、定位； 3联线设备的安装，应满足电子随工单系统数据通信的要 求，设备在获得被加工产品的信息后应能正确的执行指令； 4传送线交接部分应以产品能够顺利通行为原则；由于安全 保护措施等原因，在交接点出现间隙时送、取两条传送装置应以设 备外界面为基准，双方约定传送装置的交接点位置；两条传送装置 在连接点没有成一条直线时，两条传送装置应以设备外界面为基 准，双方应约定传送装置垂直设备外界面的垂直度； 5当联线设备存在封闭空间要求，机械手又必须在封闭空间 内外活动时，封闭空间对外的窗口应满足机械手夹持产品的搬运 通道要求，对外窗口的敬开时间应满足机械手搬运产品的最大 周期。

6.4.7碱液去油设备的安装应符合

1将设备主体框架按照设备平面布置图就位，安装地脚螺 栓，对主体框架进行调平调正，满足技术要求后紧固地脚螺栓； 2按照设计图纸要求就位各个槽体，应采用螺栓将槽体与金 属框架连接在一起，进行调平调正后紧固；紧固后的所有槽体以及 槽体端面的直线度应达到技术要求；

6.4.8酸洗设备的安装应符合下列规定

1酸洗设备应百 面应经防修漏处 理并设置废水排放槽； 2酸洗设备的调平调正应采用防腐塑料垫片。 5.4.9镀覆设备的安装应按照下列程序进行： 1电镀设备的安装应按照设备平面布置图就位镀槽、排风装 置、整流电源、输电排、水洗槽、自来水上下管路。 2电泳设备的安装应符合下列规定： 1）按照设备平面布置图将电泳设备就位； 2）进行设备的电路铺设，确保电泳槽电极极性正确； 3)安装电泳槽搅拌器，要求位置准确、固定牢固。 3真空溅射镀覆设备的安装应符合下列规定： 1）按照设备平面布置图将设备主机与电源柜就位； 2）用水平仪调平设备主机并固牢； 3)安装真空系统要求涡轮分子泵轴线应与地面垂直，机械 泵应采用橡皮或弹簧减震； 4)安装设备的冷却水路； 5）完成设备电气线路部分的铺设； 6完成设备使用的工业气体气路的连接

6.4.10装配设备的安装应符合下列规定：

1真空针焊炉和一次封排炉的安装需穿越洁净间隔板时，隔 板开洞作业不得划伤或污染需保留的隔板表面：隔板洞口与设备 的缝隙应采用铝合金型材和微孔薄膜带密封，设备与密封组件 之间应保持柔性接触，密封口处应有良好的气密性

1）将激光焊接机主机及电气柜按照设备平面布置图就位； 2）安装激光光路和观察光路诸元件； 3）安装激光谐振腔、水负载等水冷部分的管路，并在水箱中

注入电子工业纯水或蒸馏水； 4）完成程控工作台的安装； 5）进行电气柜与主机间的电路铺设； 6）完成计算机控制、显示系统的安装； 7）连接保护气体气路。 高频感应针焊炉的安装应符合下列规定： 1）将设备主机及高频感应加热设备按照设备平面布置图 就位； 2）完成主机真空系统的安装： 3）完成高频感应加热线圈以及其传动系统的安装； 4）完成高频感应加热线圈与高频感应加热设备间的馈线 连接； 5）安装高频馈线防护罩； 6完成真空泵、高频感应加热设备以及高频感应加热线圈 等冷却水路的连接。 氢炉的安装应符合下列规定： 1）将设备主机及电气柜按照设备平面布置图排风罩下方 就位； 2）完成氮、氢等气体管路的连接； 3）完成炉体和加热电极冷却水路的连接； 4）主机与电气柜间的电路铺设。 排气台的安装应符合下列规定： 1)将排气台主机架按照设备平面布置图就位，安装地脚螺 栓对金属架进行调平调正，满足技术要求后紧固地脚 螺栓； 2)安装外真空系统钟罩； 3）安装内、外真空两组真空系统； 4)安装冷却水路管道； 5）连接排气台各气动元件压缩空气管路

6）电气控制柜应就位并完成设备各单元的电路铺设： 7应配动力电源线，按设备接线图完成配线

5.4.11老炼检测设备的安装应符合下列规定

电子管老炼设备的安装应符合下列规定： 1）按照设备平面布置图将变压器、调压器等电源大部件 就位； 2）将所有连线及引出线接头处理十净，要求无氧化层残留； 3完成电气线路的连接； 4将高压回路地线接入单独敷设的低电阻值地线： 5）安装产品专用支撑装置： 6）安装高电压部位的安全防护设施。 2电子管测试设备的安装应符合下列规定： 1）按照设备平面布置图将测试电源各单元就位； 2）完成电气线路及地线的连接： 3）安装电子管测试系统，备好相关的测试仪器； 4安装产品专用支撑装置： 5）按产品的冷却要求配备风机或冷却水路。 3微波电子管专用测试系统的安装应符合下列规定： 1按照设备平面布置图将测试电源各单元就位于相应的屏 蔽室； 2）电气线路的安装； 3）高压电气系统的地线应连接至单独敷设的地线； 4）完成微波测试系统的搭建； 5）宜配备好示波器、频谱分析仪、功率计等仪器； 6）完成屏蔽室与外部控制台电气控制电路和各类信号电路 的连接； 7）根据产品的冷却要求配备风机或冷却水路； 8）屏蔽室防护门外应有电磁辐射警告标志。

4X射线管专用测试系统的安装应符合下列规定：

1）按照设备平面布置图将管子电源各单元就位于铅屏 蔽室； 2）完成电源各单元的电路连接： 3）完成地线的连接，高压电路的地线宜单独敷设； 4）准备伦琴计等仪器； 5）安装冷却水管路； 6）完成屏蔽室与外部控制台电气控制电路和测试信号电路 的连接； 7）各管、线安装需穿过铅屏蔽室壁板时，可在壁板的适当位 置开洞，开洞作业不得划伤或污染需保留的壁板内部的 铅材料表面，开洞直径应与安装件直径相符； 8）铅屏蔽室射线防护门外应有电磁辐射警告标志。 真空开关管老炼、测试设备的安装应符合下列规定： 1)X射线实时成像检测系统、真空开关管工频老炼设备、电 流老炼设备、真空度测试设备、工频耐压测试检测设备 接触电阻测试设备、雷电冲击耐压测试设备等应按照设 备平面布置图直接就位； 2）真空开关管工频老炼设备、电流老炼设备、真空度测试设 备、接触电阻测试设备、工频耐压测试检测设备如纳入自 动化生产线，应按本标准第6.4.6条规定成连线安装； 3）真空开关管工频老炼设备、工频耐压测试检测设备、雷电 冲击耐压检测设备等属高压设备安装区域，应考虑与相 邻物体保持足够的耐压距离应设置专门的地线。

6.5.1二次配管配线应在确认真空电子器件生产线设备安装工 程施工工艺条件全部满足后，以及解体设备零部件重新组装后 进行。

6.5.1二次配管配线应在确认真空电子器件生产线设备安装工

次配管配线技术规范》SJ/T11672的有关规定。 6.5.3二次配线施工完成后，应填写《真空电子器件生产线设备 配管配线质量验收记录》和《真空电子器件生产设备压力试验验收 记录》，其内容和格式应符合本标准附录B规定。

1加载试运行应选用成熟产品的成熟工艺，其工艺参数均在 设备的技术指标涵盖范围之内：加载样品材质应与正式产品材质 相同：加载样品预先经过的各种处理应与正式产品相同； 2加载试运行的工艺程序应由设备供货方配合建设单位编 制人工操作程序或自动运行程序，工艺规程应与正常产品的生产 程序相同或相近。 7.1.7调试、试运行结果应填写《真空电子器件生产线设备调试 记录》和《真空电子器件生产线设备试运行记录》，内容和格式应符 合本标准附录B规定

7.1.7调试、试运行结果应填写《真空电子器件生产线设备调试

清洗、镀覆设备调试与试运行

7.2.1 碱液去油设备调试与试运行应符合下列规定

1清洗工位配置及各工位工作参量指标应满足技术协议 要求； 2传动系统应运行平稳，定位系统应准确可靠； 3管路部分应确认循环泵运行正常无噪声，各阀门灵活可 靠，管路系统无泄漏； 4F 电气系统应采用五线制，零、地分置； 5 安全防护装置功能应可靠运行： 6 经过去油的零件水膜试验应满足要求。 7.2.2 酸洗设备调试与试运行应符合下列规定： 1 清洗通风柜应设有可封闭的推拉门； 2 排风量应达到设计要求； 各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4 上下水路应密封良好、无泄漏； 5 电炉盘应设置绝热板。 7.2.3 镀银设备调试与试运行应符合下列规定： 1 电镀场所排风量以及电镀槽口设置的吸风口风压应达到 设计要求； 2水洗槽应配备齐全； 3各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4上下水路管道连接应良好、无泄漏； 5电镀电源电压及功率应满足设备技术说明书要求，电源线 连接点应做防腐处理； 6应配备废电镀液沉淀池。 7.2.4 镀镍设备调试与试运行应符合下列规定： 1电镀场所排风量以及电镀槽口设置的吸风口风压应送到 设计要求； 2水洗槽应配备齐全； 3各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4上下水路管道连接应良好、无泄漏；

5电镀电源电压及功率应满足设备技术说明书要求，电源线 连接点应做防腐处理； 6 镀液管道加热器密封应良好、安全可靠： 应配备废电镀液沉淀池。 7.2.51 电泳设备调试与试运行应符合下列规定：

1机械传动装置应运行平稳、无噪声：； 2电泳电源应达到设备技术说明书指标要求，各仪表指示 工作正常，并应处于仪表校准的有效期内；

7.2.6真空溅射镀覆设备调试与试运行应符合下列规定：

1具空系统中各具空泵应运行平稳、无异常噪声，真空建立 时间、系统极限真空度应达到设备技术说明书指标要求； 2电气系统中各仪表、指示灯应工作正常并处于校准的有效 期内，各控制元件、联锁装置功能应处手正常状态； 3机械传动系统的工件架转动应平稳、无明显噪声，炉门应 灵活且密封良好； 4烘烤加热系统的烘烤温度范围、保温功能应达到技术协议 书要求； 5充气系统中的自动压强控制系统应工作正常，各项指标达 到设备技术说明书指标要求； 6真空室内应洁净无杂物。

装配、焊接和排气设备调试与订

7.3.1真空针焊炉（一次封排炉）验收应符合下列规定：

：3.真空针痒炉（一次均排发验收应付合下列规定： 1真空炉在空载和满载条件下，最高工作温度、真空系统 极限压强、真空建立时间等技术指标应满足技术说明书指标 要求。 2真空系统各单元和管道连接应牢固且密封良好，各真空泵 应运行正常、平稳，各真空阀门应操作灵活且密封良好

3电气系统应符合下列规定： 1电源开关应灵敏可靠，指示齐全，仪表应在校准的有效 期内； 2）加热系统的控制系统应灵敏可靠，可采用手动控制或比 例一积分一微分（PID）调节器控制： 3)电炉丝与隔热屏应绝缘良好； 4）应接地良好，标志明显。 4供水供气管路应密封良好、无泄漏。 5快冷系统应工作正常并达到技术要求，产品出炉应无氧化 现象。 .3.2 X射线实时成像检测系统调试与试运行应符合下列规定： 设备加电后各仪表应显示正常、无报警。 2设备的机械性能应进行下列检查： 1产品承载台可上下调节及360旋转； 2）承载台旋转速度可调； 3停位应准确，停位误差应达到技术指标要求。 3成像清晰度、层次性、图像分辨率均应达到技术指标要求。 4 故障报警和急停装置操作应可靠。 5 应确认自动扫描功能良好。 6 设备的软件功能应达到设备技术说明书要求。 .3.3 激光焊接机调试与试运行应符合下列规定： 1单脉冲最大输出能量、脉冲宽度调节范围、脉冲频率可调范 围、发散角、功率不稳定度等激光器指标应满足技术说明书要求： 2光学系统的光斑直径范围应满足技术说明书要求，光路应 显示清晰，调节应灵活； 3工作台的三维行程和旋转轴的定位精度、重复精度应达到

7.3.3激光焊接机调试与试运行应符合下列规定：

1单脉冲最大输出能量、脉冲宽度调节范围、脉冲频率可调范 围、发散角、功率不稳定度等激光器指标应满足技术说明书要求： 2光学系统的光斑直径范围应满足技术说明书要求，光路应 显示清晰，调节应灵活； 3工作台的三维行程和旋转轴的定位精度、重复精度应达到 技术说明书要求，且移动平稳自如； 4可实现微机控制操作与手动操作自由切换。 7.3.4氩弧焊机调试与试运行应符合下列规定

7.3.4氩弧焊机调试与试运行应符合下列规定：

1设备内（外）真空系统极限真空度、真空建立时间、烘箱加 热温度范围等主要技术指标应送到设备技术说明书要求： 2烘箱钟罩应升降平稳，限位应准确可靠； 3真空系统的阀门起团应灵活，并应密封良好； 4电气系统的各电气开关应灵敏可靠，仪表应处于校准的有 效期内，烘箱加热系统应处于正常工作状态，且比例一积分一微分 (PID)调节器性能完好：

路冷却水应连接良好、无泄漏

7.4老炼设备调试与试运行

7.4.1 电子管老炼设备调试与试运行应符合下列规定： 各路电源电压调节范围、功率应满足技术说明书要求； 2 仪表及指示灯应显示正常； 3 应确认电源电压手动调节、程控自动调节功能正常； 4 电源开关应灵敏可靠，仪表处于校准的有效期内； 冷却风扇应工作正常。 7.4. 2 真空开关管工频高压老炼设备调试与试运行应符合下列 规定： 1 工频电压调节范围、电源功率应满足技术说明书要求： 2 仪表及指示灯应显示正常； 3 电源电压手动调节、程控自动调节功能应确认良好： 4 电源开关应灵敏可靠，仪表处于校准的有效期内； 地线应独立设置。 7.4.3 真空开关管电流老炼设备调试与试运行应符合下列规定： 电流老炼直流电源的工作电压和电流应满足技术说明书 要求； 2直流电源应具备极性变换功能； 3真空开关管的开、合机构应工作正常； 4真空开关管的开、合与老炼电流通断同步功能应处于正常 工作状态； 5电流老炼程控功能应达到技术说明书要求。 7.4.4氢炉调试与试运行应符合下列规定： 1工作温度、有效容积等设备的主要技术指标应达到设备技 术说明书要求； 2各操作开关、按钮应灵活可靠； 3机械传动系统的升降机构应运行平稳、无震动，并应无明

显噪声；液压系统应润滑良好、无漏油； 4水流继电器应工作正常，灵敏可靠；炉体安置的防爆膜应 确认良好； 5电气系统的各仪表指示灯及比例一积分一微分（PID）调 节器应处于正常状态； 6 加热元件与炉体部分应有良好绝缘、无漏电。 7.4.5 微波电子管老炼检测系统调试与试运行应符合下列规定： 1 系统各路电源技术指标应达到技术说明书要求； 2 应确认控制台遥控功能正常； 3 系统使用的仪器、仪表应处于校准的有效期内； 4 微波测试系统的元件均应具备合格证或测试参量数据； 5 微波电子管高压电源与测试仪器的接地线应分设； 6 各类屏蔽室应有验收合格证明。 7.4.6 X射线管老炼检测系统调试与试运行应符合下列规定： 1 系统各路电源技术指标应达到技术说明书要求； 2 应确认控制台遥控功能正常； 3 系统使用的仪器、仪表应处于校准的有效期内； 4 高压回路与测试系统的地线应分设； 5 铅屏蔽室应有验收合格证明