真空技术与设备国家标准汇编（中国标准出版社2017年版）

GB/T3163—2007

黏着率sticking rate

真空泵 vacuumpump

获得、改善和（或）维持真空的一种装置。可以分为两种类型：气体传输泵（3.1.2和3.1.3）和捕集

纸箱包装标准GB/T31632007

充满气体的泵腔，其入口被周期性地隔离，然后将气体输送到出口的一种真空泵。大多数的变容真 空泵，气体在排出之前是被压缩的。它可分为两类，往复式变容真空泵（3.1.2.2）和旋转式真空泵 (3. 1. 2. 3 ~ 3. 1. 2. 5) ,

3.1.2.1变容泵的有关术语

3. 1. 2. 1. 2

旋片真空泵slidingvanerotaryvacuumpump（rotaryvanevacuumpump） 泵内偏心安装的转子与定子固定面相切，两个（或两个以上）旋片在转于槽内滑动（通常为径向的） 并与定子内壁相接触，将泵腔分成几个可变容积的一种旋转变容真空泵。

3. 1.2.4. 2

泵内偏心安装的转子和定子内壁相接触转动，相对于定子运动的滑片与转子压紧 变容积的一种变容真空泵

变容积的一种变容真空泵。 3.1.2.4.3 滑阀真空泵rotaryplungervacuumpump 泵内偏心安装的转子相对定子内壁转动，固定在转子上的滑阀在定子适当位置可摆动的导轨中滑 动，并将定子腔分成两个可变容积的一种变容真空泵

3. 1. 2. 4. 3

泉Rootsvacuumpun

泵内装有两个方向相反同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的 一种变容真空泵。

个方向相反同步旋转的叶形转子，转子间、转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的

3. 1.3. 2. 1

3. 1.3. 2.3

扩散泵diffusionpump

3. 1. 3. 3. 2

牵引分子泵moleculardragpump

泵内气体分子和高速转子表面相碰撞而获得动量，使气体分子向泵出口运动的一种动量泵。

3. 1.3. 5.1

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吸气剂泵getterpump

升华（蒸发）泵sublimation（evaporation）pump 泵内吸气剂材料被升华（蒸发）的一种捕集泵。 注：本文内升华和蒸发为相似概念。

泵内气体分子被电离，在电磁场或电场作用下输运到泵内表面，并被吸气剂吸附的一种捕集泵。 3.1.4.4.1 升华（蒸发）离子泵sublimation（evaporation）ionpump 泵内被电离的气体被输运到由连续或不连续蒸发或升华所获得的吸气剂上的一种吸气剂离子泵 3.1.4.4.2 溅射离子泵sputterionpump 泵内被电离的气体输运到由阴极连续溅射所获得的吸气剂上的一种吸气剂离子泵。 3.1.4.5 低温泵cryopump 由被冷却至可以凝结残余气体的低温表面组成的一种捕集泵。冷凝物因此保持在其平衡蒸气压 等于或低于真空室要求压力的温度下 注：泵冷面的温度选择依赖于被抽气体的性质，应低于120K，

泵壳pumpcase 将低压气体与大气隔开的泵外壁。 2 入口inlet 被抽气体被真空泵吸入的入口

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3. 2. 11. 2

扩压器diffuser 喷射泵泵壁的收缩部分

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3.4泵按工作情况的分类

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维持真空泵holdingvacuumpump 当气体流率低无需使用主前级泵时，维持某类真空泵前级压力的辅助前级泵。 3.4.5 高真空泵highvacuumpump 当抽气系统由一个以上泵串联组成时，在最低压力范围内工作的真空泵。 3.4.6 增压真空泵 泉boostervacuumpump 通常设置在前级泵和高真空泵之间，用以增加中间压力范围内抽气系统流量或改善系统压力分布、 以降低前级泵所必须抽速的真空泵。

附属真空泵appendagevacuumpump 用来维持已抽空容器低压的小型辅助真空泵

用来维持已抽空容器低压的小型辅助真空泵

真空泵的体积流率volumeflowrateofavacuumpump（符号：S；单位：m/s） 真空泵从抽空室所抽走气体的体积流率。本定义仅用于和真空室分开的单独泵。然而，实际上按 贯例，在规定工作条件下，对给定气体，泵的体积流率为连接到泵上的标准试验罩流过的气流量与试验 罩上规定位置所测得的平衡压力之比

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压力计pressuregauge

测量高于、等于或低于环境大气压力的气体或蒸气压力的仪器

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4.1.2 真空计vacuumgauge 测量低于大气压力的气体或蒸气压力的一种仪器。 注：通常使用的某些真空计实际上不测量压力（术语中它是以作用在表面上的力来表达的），而是测量在规定条件 下与压力有关的某些其他物理量。 4.1.2.1 规头（规管）gaugehead 某些种类真空计中，包含压力敏感元件并直接与真空系统连接的部件。 4.1.2.1.1 裸规nudegauge 没有外壳的一种规头。敏感元件直接插入真空系统中。 4.1.2.2 真空计控制单元 gaugecontrolunit 某些种类真空计中，包含电源和工作需要全部电路的部件 4.1.2.2.1 真空计指示单元 gaugeindicatingunit 某些种类真空计中，常以压力为单位来显示输出信号的部件。 4.2真空计的一般分类 4.2.1 压差式真空计 differentialvacuumgauge 测量同时存在于一个敏感元件两侧压差的一种真空计。例如这个元件为弹性膜片或可动分隔 液体。 4.2.2 绝对真空计absolutevacuumgauge 仅通过测得的物理量就能确定压力的一种真空计。 4.2.3 全压真空计totalpressurevacuumgauge 测量气体或气体混合物全压力的一种真空计。 注：压缩式真空计仅测量过程中未被凝结气体的压力。 4.2.4 分压真空计；分压分析仪 partial pressure vacuum gauge;partial pressure analyzer 测量来自于气体混合物中电离成分的电流的一种真空计。测得的电流代表具有不同比例常数的不 同组分的分压。 4.2.5

真空计vacuumgauge

通过测量与压力有关的物理量并与绝对真空计比较来确定压力的真空计。

真空计压力测量范围pressurerangeofavacuumgauge 在规定条件下，真空计指示读数的误差不超过最大允许误差的压力范围。 主：某些类型真空计的测量范围取决于气体的性质。在此情况下，测量范围总是对氮气而言

真空计压力测量范围pressurerangeofavacuumgauge 在规定条件下，真空计指示读数的误差不超过最大允许误差的压力范围。 主：某些类型真空计的测量范围取决于气体的性质。在此情况下，测量范围总是对氮气而言

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4.4.1以力学现象为基础的真空计

通常为U型管状绝对压差计。管中的敏感元件为一种可动的隔离液体（例如汞）。通过测量液位 差便可得到压力差

弹性元件真空计elasticelementgauge 变形部分为弹性元件的一种压差真空计。压差可以通过测量弹性元件位移（直接法）或测量补偿其 变形需要的力（回零法）来确定。例如：膜盒真空计、布尔登压力计等。

空计为绝对直空计。如众所周知的麦克劳真空计

.4.2以气体传输现象为基础的真空计

黏滞真空计viscositygauge 通过测量作用在元件表面上与压力有关的黏滞力来确定压力的一种真空计。这种真空计基于由压 力决定的气体黏滞性。例如：衰减真空计分子牵引真空计

热传导真空计thermalconductivitygauge 通过测量保持不同温度的二个固定元件表面间的热量传递来确定压力的一种真空计。这种真空计 基于气体热传导与压力有关。例如：皮拉尼真空计、热偶真空计、热敏真空计、双金属片真空计

通过测量气体分子打击保持不同温度固定表面的净动量传输率来确定压力的一种真空计。与气体 分子平均自由程相比，固定表面间的距离必须是很小的。例如克努曾真空计、反磁悬浮热分子真空计。 4.4.3以气体电离现象为基础的真空计

电离真空计ionizationvacuumgauge 通过测量气体在控制条件下，电离产生的离子流来确定分子密度的一种真空计。压力与气体密度 直接相关。

放射性电离计radioactiveionizationgauge 通过放射源射线产生离子的一种电离真空计

放射性电离计radioactiveionizationgauge 通过放射源射线产生离子的一种电离真空计

潘宁计Penninggauge

4. 4. 3.3.3

三极管真空计triodegauge

具有一般三极管结构的一种热阴极电离真空计。灯丝置于以栅极作为阳极的轴线 子收集极与阳极同心

4. 4.3. 4. 2

通过使用置于圆筒形栅极轴线上的细离子收集极丝来降低X射线极限值的一种热阴极 其阴极布置在栅极的外面。

4. 4. 3. 4. 4

抑制型真空计suppressorgauge

通过安装在离子收集极附近的抑制电极，使离子收集极发射的二次电子返回到它自身来 极限值的一种热阴极电离真空计。

4. 4.3.4. 6

分离型真空计extractorgauge

通过使用一个短而细金属丝做离子收集来降低X射线极限值的一种热阴极电离真空计。该收集 极置于圆筒形栅极外部轴线上的屏蔽罩内，用以收集来自电离区域的离子。 4.4.3.4.7 弯注型电离真空计bentbeamgauge 离子从电离区域拉出进人一个静电偏转极的一种热阴极电离真空计。 4.4.3.4.8 弹道型真空计orbitrongauge 注人电子沿轨道长距离飞行，以增加每个电子所产生离子数目的一种热阴极电离真空计。电子注 人发生在圆筒形离子收集和同轴细金属丝之间的静电场中。低的电子流降低了X射线效应和解析离 子效应

4. 4.3. 4.7

4. 4.3. 4. 10

质谱仪 mass spectrometer

区分不同质荷比电离粒子并测量其离子流的一种仪表

注：质谱仪可作为测量特定气体分压的真空计国家标准，也可以作为对特殊探索气体敏感的检漏仪或作为确定混合气体成 分百分数的分析仪。质谱仪根据分离离子方法的不同来分类

4.5.2带有一定形状电场的质谱计

射频质谱仪radiofrequencymassspectrometer 离子直线飞行，并通过一系列交替与射频振荡器连接的栅极而被加速，然后进入静电场，该静电场 只允许在射频场中加速的离子到达收集极的一种质谱仪，

四极质谱仪quadrupolemassspectrometer

轴向人射的离子进入由四个电极（通常为棒）组成的四极透镜系统，透镜加有成临界比的 电场，使得只有一定质荷比离子通过的 种质谱仪

单极质谱仪monopolemassspectrometer

L形电极以及与其对称布置的单柱，提供了相似于四极透镜一个象限形状的电场，离子从 附近入射，且只有一定质荷比（取决于电场）离子通过的一种质谱仪。 53带正交电磁场的质谱仪

4.5.3带正交电磁场的质谱仪

双策焦质谱仪doublefocusingmassspectrometer 通过径向静电场和扇形磁场的连续作用来分离离子暖通空调图纸、图集，致使离子在两分析器中的速度分布相反并近 似相等的一种质谱仪