GB 51076-2015  电子工业防微振工程技术规范(完整正版、清晰无水印)

为减小动力设备产生的振动对外界环境的影响而对其采取 隔振措施

passive vibration isolation

别墅标准规范范本为减小环境振动对精密设备及仪器的影响而对其采取的隔振 措施。

2.0.6主动控制隔振装置

具有预先设置并通过自身反馈系统获取信号，使隔振装置实 时施加反向作用而降低环境振动影响，保证设备正常工作的 装置。

2. 0. 8隔振装置

由隔振器、阻尼器、调节阀、控制器及信号处理器等组成的 振组合体。

vibration isolation systen

vibrationrespon

建筑结构或隔振系统受振动作用时，其输出的振动位移 速度、振动加速度等。

waffle slab

为将环境振动影响控制在精密设备及仪器容许振动值范围 内，在工程设计规划、建筑结构设计与隔振设计等方面采取的综合 措施。

2.0.16防微振基台

由台板和支承结构组成的有隔振作用的结构体系，支承结构 可为建筑结构或独立设置的梁、板、柱及基础，在台板和支承结构 之间可安装隔振器或隔振装置。

3.0.1本规范所定义的微振动应为幅值不大于表3.0.1规定的 限值的振动。

表3.0.1微振动限值

3.0.2 防微振工程的勘察、设计、施工及安装宜遵循下列程序： 1 确定精密设备及仪器的容许振动标准； 2 场地工程地质、水文地质勘察及地基动力特性测试； 场地环境振动测试及分析； 4 场地综合评估及场地选择； 防微振工程设计方案论证； 防微振工程设计； 7 防微振工程施工及安装； 8工程主体建筑竣工，各类设备尚未安装时的建筑结构动力 测试及分析； 9 动力设备试运行时的环境振动测试及分析； 10 试生产时的环境振动测试及分析； 11 防微振工程验收； 12 微振动测试和分析应符合本规范附录A的规定。 3.0.31 区域规划及厂区规划设计时振源位置应合理布置，振动大 的振源宜布置在区域边缘或远离有防微振要求的建筑物。 3.0.4 建筑物内的振源与精密设备及仪器应分类集中、分区布 置，并应相互远离。

3.0.5防微振工程设计应包括下列内容：

3.0.5 防微振工程设计应包括下列内容： 1 建筑结构的防微振设计； 2 动力设备及管道的隔振设计； 3 精密设备及仪器的隔振设计。 3.0.6防微振工程的设计与施工质量必须满足精密设备及仪善 的容许振动标准。

4精密设备及仪器容许振动标准4.1一般规定4.1.1精密设备及仪器容许振动值的确定应符合下列规定之一：厂商提供的容许振动值；2工艺要求的容许振动值；3本规范第4.2节规定的容许振动值。4.1.2精密设备及仪器容许振动值的确定宜结合振动环境变化及设备更新的要求。4.2精密设备及仪器容许振动值4.2.1电子工业用精密设备及仪器、纳米实验室及物理实验室用精密设备及仪器在频域范围内竖直向和水平向的容许振动值可按表4.2.1采用。表4.2.1电子工业、纳米实验室、物理实验室用精密设备及仪器容许振动值容许振动速度容许振动加速度对应频段序号精密设备及仪器(μm/s)(m/s2)(Hz)1纳米研发装置0.781~1002纳米实验装置1. 601~100长路径激光设备、0.1um的超33.001~100精密加工及检测装置0.1μm~0.3um的超精密加工及检测装置、电子束装置、电子6.001~100显微镜（透射电镜、扫描电镜等）

续表 4. 2. 1

振动速度、振动加速度为1/3倍频程均方根

.2.2实验室用精密设备及仪器在时域范围内竖直向和水平向 约容许振动值可按表4.2.2采用。

实验室用精密设备及仪器容许振动值

续表 4. 2. 2

2表内同时列有容许振动位移及容许振动速度的精密设备及仪器，两者均应 满足。 4.2.3消声室和半消声室在频域范围内竖直向和水平向容许振 动值可按表4.2.3采用

2表内同时列有容许振动 满足。 4.2.3消声室和半消声室在频域范围内竖直向和水平向容许振 动值可按表 4. 2. 3 采用

表4.2.3消声室和半消声室容许振动值

注：振动加速度为倍频程均方根值

.2.4消声水池在频域范围内的竖直向和水平向的容许振动值 可按表 4. 2. 4 采用。

表4.2.4消声水池容许振动值

注：振动加速度为均方根值。

5.1.1电子工业区域规划布局和厂区布置，不得选择在强折

5.1.1电子工业区域规划布局和厂区布置，不得选择在强振源、 强噪声、强风沙、强电磁辐射、有害气体等不利区域。

5.1.2厂区选择宜符合下列规定：

1宜选择在地基土较坚硬或基岩埋藏较浅的地区，不宜选择 在软土及填土等不良地质区域； 2宜避开江河湖泊、海岸沙滩、常年冰冻等地区； 3宜选择抗震设防烈度不大于8度的地区，避开地震活动断 裂带等不利地段，宜避开液化砂土层等区域，并应符合现行国家标 准《建筑抗震设计规范》GB50011的有关规定； 4无法避开时应采取相应处理措施。 5.1.3厂区位置选择时，应根据场地环境微振动测试和自然条 件，经论证比较、综合评估后确定；当不具备环境振动测试条件时， 振源防振距离可按本规范第5.2节确定

5.2.1对各类振源在不同体内的防振距离,可按下式计算：

注：坚硬土为基岩时取小值。

建筑物，宜按综合振动叠加后的最大振动影响确定相应的防振距 离。多振源振动响应的综合叠加计算可按本规范附录B计算

1 锻压车间应布置在厂区边缘，并应远离有防微振要求的 建筑； 2 空压机、冷冻机、水泵等动力站房和其他振源宜单独布置； 3 精密设备及仪器应布置在振动影响最小的区域。 5.3.2厂区内外的道路设置应符合下列要求： 1有防微振要求的建筑应远离厂区主十道，并应远离铁路、 公路和城市轨道交通线； 2有防微振要求的建筑物周边道路应加固路基，并宜选用柔 性路面； 3有防微振要求的建筑物周围道路宜限制车辆载重、行驶车 速及行驶时间。 5.3.3厂区内有防微振要求的建筑物周围绿化宜种植常青灌木 和芦皮不宜种枯本

1有防微振要求的建筑应远离厂区主干道，并应远离铁路 公路和城市轨道交通线； 2有防微振要求的建筑物周边道路应加固路基，并宜选用类 性路面； 3有防微振要求的建筑物周围道路宜限制车辆载重、行驶车 速及行驶时间。

5.3.3厂区内有防微振要求的建筑物周围绿化宜种植常青

和草皮,不宜种植乔木。

6.1.1 建筑结构防微振设计应采取下列综合措施： 建筑物地基基础的防微振措施； 地面结构的防微振措施； 主体结构的防微振措施； 4 精密设备及仪器的独立基础的防微振措施。 6.1.2 建筑结构防微振设计应具备下列资料： 精密设备及仪器容许振动值； 2 工程地质及水文地质勘察报告； 3 地基动力特性测试报告，当不具条件时可按现行国家标准 《动力机器基础设计规范》GB50040的有关规定取值； 4场地环境振动测试及分析报告。 6.1.3建筑结构防微振设计宜具备下列资料： 1精密设备及仪器在建筑物内的工艺布置、外形尺寸、重量 及工作方式； 2动力设备在建筑物内的位置、外形尺寸、重量、转速及运行 方式； 3管道在建筑物内的空间位置、单位长度重量及输送介质。 6.1.4建筑物内设备布置应符合下列规定： 1精密设备及仪器与动力设备的布置较靠近时，宜采用隔振 缝隔开； 2当楼层布置精密设备或仪器时，动力设备应布置于底层或 楼层边跨，并应在楼层设隔振缝与精密设备或仪器所在区域隔离； 3精密设备及仪器不宜布置于受电梯振动影响的范围内：

4当楼层布置精密设备及仪器时，其位置宜位于梁、墙、柱等 结构刚度较大的部位或附近。

6.1.5多层厂房内不宜设置起重设备。设置起重设备时，宜采月

防微振区域内的门应采用柔性

6.2.1建筑物地基基础的防微振设计应符合下列要求：

1抗震设防烈度为7度、8度的地区，建筑物基础持力层范 围内存在承载力特征值分别小于80kPa、100kPa的软弱黏土层 时，应采用桩基或人工处理复合地基。采用复合地基时，应按国家 现行标准《建筑地基基础设计规范》GB50007和《建筑地基处理技 术规范》JGJ79的有关规定进行载荷试验和地基变形验算； 2防微振厂房同一结构单元的基础不宜理埋置在不同类别的 地基土上。

6.2.2地面结构或底板结构的防微振设计

1集成电路制造厂房前工序、液晶显示器制造厂房、纳来科 技建筑及实验室应按防微振要求设置厚板式钢筋混凝土地面。当 采用天然地基时，地面结构厚度不宜小于500mm，地基土应夯压 密实，压实系数不得小于0.95。当采用桩基支承的结构地面时，地 面结构厚度不宜小于400mm，对于软弱土地区，不宜小于500mm； 对于欠固结土，宜采取防止桩间土与地面结构底部脱开的措施； 2当地面为超长混凝土结构时，不宜设置伸缩缝，可采用超 长混凝土结构无缝设计措施。

6.2.3主体结构的防微振设计应符合下列要求

6）防微振工艺设备层平台华夫板的开孔率应满足洁净设计

要求，不宜大于30%。 3当采用混凝土结构的建筑物超长时，不宜设置伸缩缝，而 应采用超长混凝土结构无缝设计技术，并应采取降低温度伸缩应 力的措施。 4根据防微振需要，可在平台下的部分柱间设置钢筋混凝土 防微振墙，墙体宜纵横向对称布置，厚度不宜小于250mm，墙体不 宜开设孔洞。 5当屋盖多跨结构的中柱与工艺设备层平台之间设缝时，在 非地震区，缝宽不应小于50mm；在地震区，缝宽不应小于 100mm，且应符合现行国家标准《建筑抗震设计规范》GB50011中 防震缝的有关规定。

6.2.4精密设备及仪器的独立基础设计应符合下列要求：

1地面上设置的精密设备及仪器，基础底面应置于坚硬土层 或基岩上。其他地质情况下，应采用桩基础或人工处理复合地基； 2精密设备及仪器受中低频振动影响敏感时，基础周围可不 设隔振沟； 3精密设备及仪器的基台采用框架式支承时，宜采用钢筋混 凝疑土框架，台板宜采用型钢混凝土结构，其周边应设隔振缝： 4工艺设备层平台上设置的精密设备或仪器宜采用防微振 基台,台板宜采用型钢混凝土结构,厚度不宜小于200mm

6.3.1微振动验算应符合下列规定： 1有防微振要求的广房及实验室的下列部位宜进行防微振 验算： 1)地面结构； 2)工艺层楼盖； 3)独立基础。 2微振动验算应针对下列振动影响分阶段进行：

1)环境振动； 2)动力及工艺设备振动

微振动验算应符合下列规定： 1）需进行微振动验算的结构应整体实体建模。 2)天然地基、桩基及人工复合地基的地基动力特性参数应 现场试验确定；当无条件时，可按现行国家标准《动力机 器基础设计规范》GB50040的有关规定采用；当无条件 测试时，阻尼比可按本款第4项取值。 3）地面结构周边回填土对地基刚度的影响可按现行国家标 准《动力机器基础设计规范》GB50040的有关规定采用。 4)地基土的阻尼比宜取0.15～0.35，钢筋混凝土结构的阻 尼比宜取0.05，钢结构的阻尼比宜取0.02，钢与混凝土 组合结构的阻尼比宜取0.035。 5）基础影响深度范围内的土层应作为计算深度。 6）计算活荷载的影响。 7)对结构进行模态计算和响应计算，其中模态分析有效振 型数量宜按结构总体振型质量参与系数不小于95%进 行取值。 8）环境振动影响的验算以实测最不利的振动记录作为计算 的输人荷载，样本时间长度不宜少于60s。 分析模型的建立应符合下列要求： 1)明确防微振设计方案，对地面结构和工艺层结构进行计 算模型简化。当工艺设备层与建筑物主体结构有连接 时，结构计算模型应包含主体结构： 2）根据设计方案设置儿何参数； 3）合理选择物理参数； 4)根据工程地质勘察报告确定黏弹性边界约束条件。 振动影响验算的响应值应符合下式要求：

3微振动验算应符合下列规定

R ≤K[R] RhH < K.R.]

式中：Rhv 结构中心点的竖直向振动响应； RhH 结构中心点的水平向振动响应； Kv 竖直向的动态影响系数。Kv=0.4～0.6。该系数 与动力设备数量和布置有关。当设备数量较多或 距特征点位置较近时，Kv取小值，反之取大值； KH—水平向的动态影响系数。K=0.3～0.5。该系数 与动力设备数量和布置有关。当设备数量较多或 距特征点位置较近时，KH取小值，反之取大值； [Rv]———精密设备及仪器竖直向的容许振动值; [RH]—一精密设备及仪器水平向的容许振动值。

6.3.3动力设备及工艺设备产生影响的微振动验算应符合下

1应在所建立的实体模型上选取特征点，并应在单位荷载 1kN作用下计算其动力响应谱Ra； 2特征点的振动响应按下列公式验算：

Rv = αvRdv RH = αRH Rvs av Rvd RHS αH Rad

Rvs一一已建同类工程特征点振动记录进行频域分析得到特 征点的竖直向振动响应曲线； 直向施加单位荷载P=1kN，计算动力响应谱曲线； 水平向已建同类工程的特征点动力响应系数； RHs 已建同类工程特征点振动记录进行频域分析得到特 征点的水平向振动响应曲线； RHd一交 建立已建同类工程有限元实体模型，在特征点上水 平向施加单位荷载P=1kN，计算动力响应谱曲线； 1.2取值； Rdv一 结构特征点竖直向在单位荷载为1kN作用下的振动 响应； RdH一结构特征点水平向在单位荷载为1kN作用下的振动 响应。 4防微振工程各阶段振动验算的实测及评估应符合下列 定： 1场地环境振动实测时，应通过测试获取拟建场地受周围环 辰动影响的数据，作为输入荷载对微振动初步设计方案进行 章； 2建筑物主体结构竣工实测及评估时，应通过对建筑物主体 购进行振动测试，对主体结构防微振体系进行评估，并应和计算 果进行对比分析，确认其有效性，为动力设备及工艺设备整体隔 案提供设计依据； 3动力设备及工艺设备运行实测及评估时，应通过对动力设 工艺设备运行时的结构进行振动测试，对最终建成的结构防 辰体系进行评估，并应和计算结果进行对比分析，确认其有效 为动力设备及工艺设备局部隔振方案提供设计依据

7.1.1动力设备应选用振动影响小的产品，旋转型设备应选用 中、高转速的产品。 7.1.2动力设备对精密设备及仪器有振动影响时，应采取隔振 措施。 7.1.3当建筑结构采取防微振措施及动力设备采取隔振措施后 乃不能满足要求时，应对精密设备及仪器采取隔振措施。 7.1.4隔振设计除应遵守本规范外，尚应符合现行国家标准《隔 振设计规范》GB50463的有关规定。

7.1.5选用隔振器应具备下列

7. 1. 7 隔振系统不得与外围结机

动力设备隔振宜采用支承式（图

图7.2.1隔振方案 一动力设备；2一台板；3一隔振器

7.2.2动力设备隔振应符合下列要求：

：2：2物力设备振应付合1列安求： 1安装于地面及地下室的动力设备，可采用钢筋混凝土台板 或型钢台板； 2安装于楼层及屋面的动力设备宜采用型钢台板，对于较集 中安装于楼层的动力设备宜采用浮筑板隔振方式； 3与声学实验室相关的动力设备，宜采用钢筋混凝土台板， 且台板质量与设备质量之比宜大于3。

7.2.3管道隔振宜符合下列要

7.2.4隔振器选用宜符合下列要求：

7.2.4隔振器选用宜符合下列要求：

1室内动力设备及管道宜采用橡胶隔振垫、橡胶隔振器、 禹阻尼弹簧隔振器及空气弹簧隔振器； 2室外动力设备及管道宜采用金属弹簧隔振器

7.2.5带隔振器的动力设备应提供隔振性能检测报告。 7.2.6当动力设备采用一级隔振方案不能满足要求时，可采用 级或多级隔振方案。

7.2.5带隔振器的动力设备应提供隔振性能检测报告。

电缆标准规范范本7.2.7动力设备隔振传递率不宜大于0.1。

7.3.1精密设备及仪器隔振设计应根据其容许振动值、上作 性、支承条件及安装要求确定隔振方案，并做隔振计算，选用隔 器或隔振装置。

7.3.2精密设备及仪器的隔振型式宜符合下列规定：

支承式隔振，隔振器设置在隔振台板下，与隔振台板组合

牛奶标准7.3.3对于运行中重量及重心位置发生变化的精密设备及仪 应选用带有倾斜校正机构的隔振装置。

入 应选用带有倾斜校正机构的隔振装置。 7.3.4隔振计算应包括下列内容： 1 隔振系统固有振动频率计算； 2 隔振系统外部振源作用下振动响应计算； 3 隔振系统内部振源作用下振动响应计算。 7.3.5 大型或超大型隔振系统的计算宜包括台板的弹性变形 影响

7.3.4隔振计算应包括下列内