3.3.1.2.1液体输送管道架空敷设时，宜平行直线布置，尽量避免转弯、交义。 3.3.1.2.2液体输送管道的支撑部件应牢固可靠，无位移、沉降、倾斜、开裂等缺陷，螺栓应连接军 靠，架空敷设管网下方为交通通道时，应有相应的跨高及悬挂醒目的安全标志。 3.3.1.2.3液体输送管道应标出介质的名称、流向等信息。 3.3.1.2.4液体输送管道外观应无破损，无裂缝，无腐蚀。 3.3.1.2.5液体输送管道易撞部位应有硬质保护措施。 3.3.1.2.6液体输送管道从主管上引出支管时，宜从主管下方引出。 3.3.1.2.7输送有毒、有害、易燃、易爆、高温、高压或有腐蚀性气体及液体的管道、管件、阀门， 其材质、连接方法等，应分别有密封、耐压、防腐蚀、防静电等相应措施。 3.3.1.2.8液体输送管道设有保温层时，保温层应完好无破损。 3.3.1.2.9并列管线上的阀门宜错开布置。 3.3.1.2. 10 管道阀门应悬挂阀门开关标识牌，阀门处应标明闭合方向。 3.3.1.2.11阀门安装前的功能性试验应符合GB/T13927的规定。

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3.3.1.2.12设备液体化学品使用端应具有手动或远程液体控制切断装置，宜有安全联锁功能，设备 异常或停机后能主动切断液体供应。 3.3.1.2.13液体输送管道上压力表应指示灵敏、刻度清晰，压力表应标记正常压力范围。 3.3.1.2.14液体储罐及液体存储设备应具有液位计，液位计应能正确显示液面，并且有最高和最低 安全液位标记。 3.3.1.2.15设备内可能发生液体泄漏风险的位置应安装液体泄漏检测装置，并有故障自检功能 3.3.1.2.16输送腐蚀性化学品的管道，可直接采用非金属管材，但应设置保护套管。

3.3.1.3使用气体的设备设施

3.3.1.3.1特种气体、大宗气体管路、生命安全系统、安装和验收应符合GB50646和GB50724的规 正。 3.3.1.3.2气体压力表、流量表表盘应标出最大压力、流量值。 3.3.1.3.3生产过程中使用和产生易与空气、水或相互间发生剧烈反应的气体时，在进行通风系统设 计时要防止相互反应气体混合，易燃易爆气体的排风装置不应形成网状结构，应设置阻火和泄爆装 置，管道内壁材料应为符合安全要求的不发火材料，管道应进行可靠的防静电接地，重要部位宜设置 可燃气体检测报警装置和情性气体抑爆装置。

3.3.2光电子器件及其它电子器件

3.3.2.1镀膜和干法刻蚀设备

3.3.2.1.1设备端特种气体阀门箱箱门应具有安全联锁，阀门箱排风口应有风压报警联锁。 3.3.2.1.2镀膜设备应符合GB/T11164和SJ/T10478的规定。 3.3.2.1.3涉及靶材打磨作业的镀膜设备应设置局部排风除尘、真空吸尘器、可吸式打磨机等装置

3. 3. 2. 2 显影、剥离和湿法刻蚀设备

3.3.2.2.1使用易燃液体作为显影、剥离和湿法刻蚀材料时，设备的化学品使用、供应等单元需设计 消防保护措施；易产生静电的部位，应具有消除静电积聚的措施。 3.3.2.2.2设备应设置化学品压力、流量、温度监控装置，并具有报警功能。 3.3.2.2.3设备应设有自动清洗装置。

3.3.2. 3曝光设备

曝光设备模具投入口应设置感应光栅。

3.3.2.4加热和固化设备

3.3.2.4.1设备应设置温度监控、联锁装置，并具有过热报警、切断功能。 3.3.2.4.2导致有机物挥发的加热和胶固化设备应设置机械排风装置，排入专门的有机排风装置。

3.3. 2.5清洗设备

3.3.2.5.1设备观察窗上盖应无变形，具备防止液体喷溅措施，且密封良好。 3.3.2.5.2设备液体供应单元阀门、储罐等存在液体泄漏风险的位置应设有集液托盘，并在托盘底部 设有液体泄漏检测装置， 3.3.2.5.3液体储罐应设置液位监测装置，液位异常时能发出警报信号。 3.3.2.5.4应用电离原理去除基板有机物而产生臭氧的设备，设备反应腔应密闭并设有排风装置。

3.3.2.6传送设备和自动化作业线

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3.3.2.6.1传送设备应全封闭，如无法全封闭则应安装光感防护装置。 3.3.2.6.2危险性大或行程较长及有特殊要求的传送设备应设置安全联锁装置或光感装置。 3.3.2.6.3天顶运输机下方应设置安全护网。 3.3.2.6.4人员经常跨越运输线的地方应设过道（桥）。

3.3.2.7摩擦设备和涂布设备

3.3.2.7.1使用易燃介质作为涂布材料时，设备的化学品使用、供应等单元需设计消防保护措施；易 产生静电的部位，应具有消除静电积聚的措施。 3.3.2.7.2使用X射线消除静电的摩擦设备和涂布设备应具有屏蔽X射线措施。 3.3.2.7.3使用易燃介质作为涂布材料时，设备应设有可燃气体探测装置并具有报警功能。 3.3.2.7.4使用黏性介质进行涂布的设备，在喷口等可能堵塞的位置应设置手动或自动清洗装置。 3.3.2.7.5使用有毒物质清洁设备时，应采取防毒措施。 3.3.2.7.6使用腐蚀性介质进行涂布的设备，应采取防腐蚀措施

3.3. 2. 8研磨设备

3.3.2.8.1设备应设置独立的供水、排水系统，并与电气系统有效隔离。 3.3.2.8.2研磨设备产生的噪声超过《工作场所有害因素职业接触限值第2部分：物理因素》（GBZ2.2） 的限值要求时，应采取噪声防护措施，

3.3.3半导体分立器件及集成电路

3.3.3.1扩散设备

3.3.3.2刻蚀设备

3.3.3.2.1十法刻蚀机、湿法刻蚀机等产生酸碱废气的设备，均应采取各自相应的排风措施；各种连 接管道，应使用耐腐蚀的材料，必要时应规定检查周期和定期交换标准。 3.3.3.2.2酸洗槽、腐蚀槽及其他化学槽等应设槽边侧吸罩、吹吸式罩、防喷溅挡板，并在明显位置 设置标识铭牌。 3.3.3.2.3使用有毒气体进行刻蚀的设备应设有专门的带有排风装置的气瓶柜，配置气体监测报警装 置、防爆装置、消防安全设施；作业场所应设机械排风装置和泄漏报警装置。工艺设备的尾气排放口 应设置可靠的现场无害化处理装置和局部排风装置

3.3.3.3成膜设备

3.3.3.3.1溅射工艺过程和背面金属化过程申设备产生的金属粉尘废气应设置排风装置，在排气管道 前端设置集尘装置并使用惰性气体保护，集尘装置宜配备情性气体抑爆装置。各种连接管道，应使用 耐腐蚀的材料。 3.3.3.3.2使用特种气体进行作业的设备应设有专门的带有排风装置的气瓶柜，配置气体监测报警装 置、防爆装置、消防安全设施；作业场所应设机械排风装置和泄漏报警装置。工艺设备的尾气排放口 应设置可靠的现场无害化处理装置和局部排风装置

.3.3.4勾胶显影设备

生的有机废气、碱性废气宜分别使用不同的排风

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3.3.3.5注入设备

业场所应设机械排风装置和泄漏报警装置。 产生辐射的作业场所，应设置铅板保护装置，定

3.3.3.6焊接设备

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3.3.3.6.1使用易燃、易爆、高温、高压及有腐蚀性气体的管道、管件、阀门，其材质、连接方法， 应分别有密封、耐压、防腐蚀、防静电措施。 3.3.3.6.2焊线机温控装置应灵敏有效。 3.3.3.6.3应设机械排风装置、事故排风装置和泄漏报警装置。泄漏报警装置应与事故排风装置、工 艺设备、操作阀等连锁，

3.3.3.7X射线荧光分析仪等辐射仪器

3.3.3.7.1产品合格证、说明书及环境保护主管部门的备案材料等文件应齐全， 3.3.3.7.2在使用场所醒目位置悬挂防辐射标志牌。 3.3.3.7.3应设有启动报警装置。 3.3.3.7.4出现故障或损坏时应立即通知联系生产厂家进行拆除、封存、运输、维修

3.3.4计算机及通信和广播电视

3.3.4.1金属切削机床

3.3.4.1.1防止夹具、卡具和力具松动及脱落的装置应完好、有效。 3.3.4.1.2每台设备应配备清除切屑的专用工具

3. 3.4. 1.3磨床应符合下列要求

a) 砂轮应在规定的使用期限内使用，并不应有裂纹； b) 砂轮卡盘与砂轮之间应有软垫，旋转时无明显跳动； 砂轮机安全速度应与主轴的转速匹配； d）防护罩应齐全、无破损，强度应为415MPa。 3.3.4.1.4车床加工棒料、圆管，且长度超过机床尾部时应设置防护罩（栏），当超过部分的长度大 于及等于300mm时，应设置有效的支撑架等防弯装置，并应加防护栏及挡板，且有明显的安全标志。 3.3.4.1.5插床限位开关应确保滑块在上、下极限位置准确停止，配重装置应合理牢固，且防护有 效。 3.3.4.1.6电火花加工机床可燃性工作液的闪点应在70℃以上，且应采用浸入式加工方法，液位应 与工作电流相匹配。 3.3.4.1.7加工中心换刀区域、工件进出的联锁装置及紧固装置应牢固、可靠，任何安全装置动作， 均切断所有动力回路。

3.3.4.2冲、压、剪机械

3.3.4.2.1离合器动作应灵敏、可靠，且无连冲；刚性离合器的转键、键柄和直键无裂纹及无松动； 牵引电磁铁触头无粘连，中间继电器触点应接触可靠，无连车现象。 3.3.4.2.2制动器性能可靠，且与离合器联锁，并能确保制动器和离合器动作协调、准确。 3.3.4.2.3大型冲压机械一般应设置在人手可迅速触及且不会产生误动作的部位。 3.3.4.2.4外露在工作台外部的脚踏开关、脚踏杆均应设置合理、可靠的防护罩，

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3.3.4.2.5折弯机应配置一种以上的安全保护装置，且可靠、有效。多人操作的压力机应为每位操作 者配备双手操作装置。

3.3.4.3注塑机（含塑料压延机

3.3.4.3.1液压及冷却管路应连接可靠，油（水）箱及管路无漏油、漏水，控制系统开关应齐全，动 作可靠。高压软管总成应采取防止松脱的措施，在高温区域及易接近发热件的地方应安装隔热装置。 3.3.4.3.2模具及其紧固螺栓应齐全，无松动、无裂纹、无变形，模具应编号清晰。 3.3.4.3.3自动取料、落料装置应标识清楚、动作灵敏可靠。 3.3. 4. 3. 4作业区应有良好的通风。

3.3.4.4工业机器人（含机械手）

3.4.4.1液压管路及气压管路应连接可靠，无老化及泄漏；控制按钮配置齐全、动作准确。 3.4.4.2执行机构应定位准确、抓取牢固；自动锁紧装置应灵敏、可靠。 3.4.4.3当调整、检查、维修的人员进入危险区域时，设备应具备防止意外启动的功能

3.3.4.5老化设备

3.3.4.5.1应将装置安装在防火系统控制的区间内。 3.3.4.5.2老化工作台、工作架等相关设备应有保护接地（接零）措施。 3.3.4.5.3宜根据监测关键参数电压、压力、液体水平及温度等，设计自动断电控制系统。

特种设备应符合相关标准要求”。

3.5公用辅助用房及设备设施

3.5.1.1压缩空气管道应符合下列要求

压缩机空气管道的连接，除与设备、阀门等处用法兰或螺纹连接外，宜采用焊接； b) 管道无腐蚀，管内无积存杂物，支架牢固可靠； c) 任何与进、出口接头的进气和排气管道支架，应采取防止振动、脉冲、高温、压力以及腐蚀性 和化学性因素的防护措施； d）管道漆色用淡灰色，使用深色标示流向箭头。 3.5.1.2空气压缩机外露的联轴器、皮带转动装置等旋转部位应设置防护罩或护栏。螺杆式空压机保 户盖应安装到位，门、顶盖应关闭。空压机机身、曲轴箱等主要受力部件不应有影响强度和刚度的缺 陷，并无棱角、毛口；所有紧固件和各种盖帽、接头或装置等应紧固、牢靠。 3.5.1.3空气压缩机铭牌和安全标志应清晰完好。 3.5.1.4空气压缩机保护装置应符合下列要求： a）工作压力达到额定压力时，超压保护装置应能自动切换为无负荷状态； b) 驱动功率大于15kW的空压机，超温保护装置应能使每级排气温度超过允许值时自动切断动力 回路； c)d 螺杆式空压机的门、盖应确保运行时不应开启或拆卸；

北京地区应符合DB11/T1322.2的规定。天津地区应符合DB12/T724.2的规定。河北地区应符合DB13/T 的规定。

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d）活塞式空压机与储罐间的止回阀、冷却器、油水分离器、排空管应完好、有效。 3.5.1.5储气罐应定期排污，管道应定期清扫。

3.5.2.1锅炉房宜为独立的建筑物。当锅炉房和其他建筑物相连或设置在其内部时，应设置在首层或 地下室一层靠建筑物外墙部位，不应设置在重要部门的上一层、下一层、贴邻位置以及主要通道、疏 散口的两旁。

3.5.2.2疏水器完好有效，疏水管接至安全地

a) 燃油、燃气锅炉后的烟道上，应装设防爆门； b 通风设施的设置应符合GB50016的规定； c) 室内油箱的设置应符合GB50041的规定； 燃气使用应符合GB50494的规定； e 锅炉间、燃气调压间、燃油泵房等有爆炸和火灾危险场所的电气使用应符合防爆要求。应安装 燃气泄漏报警装置，定期检定校准，并记录归档

3. 5. 3 水处理站

3.5.3.1纯水站的酸碱储存设备，应有防腐蚀、事故排放等安全措施，并应有检修和清洗措施。装卸 和储存设备附近应设防围堤，并应设置安全淋浴和洗眼装置。 3.5.3.2酸碱贮存槽，计量筒等顶部应设置酸雾吸收器及通气管。 3.5.3.3装卸及输送酸碱液体时，宜采用负压抽吸、泵输送或自流方式。当采用压缩空气输送时，应 有减压和稳压装置，酸碱罐的耐压强度应经过测试。 3.5.3.4经常有人通行的地方，酸碱液管道不应架空敷设。如架空敷设时，应采取防护措施， 3.5.3.5在地面上不便操作检修的水处理设备和阀门处，应设置扶梯、平台。设备、阀门较重时，应 设置起吊装置 3.5.3.6鼓风机等高噪声设备，宜布置在单独隔间内，并采取消声、隔振措施。 3.5.3.7水池、储罐、地下室等可能涉及密闭空间作业的，出入口或人孔应设置防止人员进入措施， 并设有相关安全标志。

3. 5. 4 污水处理站

3.5.4.1净化池应定期清理，配备防坠落网及救生设备。 3.5.4.2污水处理所用的化学品应摆放整齐，无泄漏。 3.5.4.3设备在运转时可能产生可燃性气体的，排气管（孔）末（外）端应设置防火装置，主机及附 件应使用防爆型设施。 3.5.4.4在进入可能产生有害气体区域作业时，应穿戴好相应的防护服，应配备两套以上应急救援防 护用品。 3.5.4.5对作业过程中易造成化学灼伤或经皮肤吸收引起急性中毒事故的工作场所，应设置安全淋浴 和洗眼装置，对溅入眼内引起化学性眼炎或灼伤可能的作业场所，应设置安全淋浴和洗眼装置。 3.5.4.6室内的处理装置区域应设置局部通风，曝气池应设置排气设施。 3.5.4.7应根据污水特征和处理设施设置有毒气体监测和报警设施。 3.5.4.8污水处理站的化学品药剂灌、酸碱储存设备，应有防腐蚀、事故排放等安全措施，并应有检 修和清洗措施。装卸和储存设备附近应设防泄露围堤，并应设置安全淋浴和洗眼装置。 3.5.4.9污水处理站应设置溢流水位报警装置。

3.5.5废气处理系统

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3.5.5.1化学气相沉积设备、干法刻蚀设备的尾气应设置就地处理装置 3.5.5.2酸、碱、有毒和有机废气应分开设置排风系统，并应设置备用风机和应急电源，有毒排风系 统的风管应采用内涂四氟乙烯的不锈钢材料制作，风管应在便于观察的位置设置透明观察口，其管内 风速不应小于10m/s，有毒和有机排风应采取防爆措施。 3.5.5.3酸、碱、有毒废气宜采用淋洗方式处理，处理设备的加药、补水和排污应采用自动方式，处 理设备宜就近设置日用药箱，处理设备的排水应进入废水处理系统。 3.5.5.4当两台或两台以上废气处理设备并联运行时，应在每台设备的入口设置电动或者气动密闭风 阀，酸、碱、有毒和有机排风系统宜在排气筒内设置在线监测取样传感器。 3.5.5.5应定期对排风管道进行清理，防止粉尘等异物堵塞管道，导致排风风压不足，

3. 5. 6 叉车充电间

3.5.6.1封闭式充电间应有排风设施， 3.5.6.2充电间应与员工作业场所隔离。 3.5.6.3充电间的门不应完全关闭。 3.5.6.4充电间或充电间附近应设置满足人员紧急冲洗的设施。

3.5.6.1封闭式充电间应有排风设施。

3.5.7.1安全装置应符合下列要求： a) 压力表应指示灵敏、刻度清晰、铅封完整，且在检验周期内使用 压力继电器应灵敏可靠，并在系统超出正常工作压力范围时，电触头能切断动力回路，使压缩 6 机停止运行； c) 温度计应指示清晰、可靠； d) 安全阀应铅封完好，动作灵敏、可靠，定期校验；介质应排放至安全的地方； e) 液位计应清晰、可靠，当发生意外泄露时，其阀内的钢球应能阻止容器内的介质大量外流。 3.5.7.2输送管线应符合下列要求： 管道弯曲角度应准确，弯曲处的表面应无皱纹和裂纹，其横断面应无明显的椭圆； 输送管道的连接除与设备、阀门等处可采用法兰或螺纹连接外，其余部分均应采取焊接，且无 未焊透、咬边、裂纹等缺陷； c）输送管线上的阀门应灵活可靠、密封良好；管道应无破裂、泄漏、堵塞。 3.5.7.3操作系统内各种仪表、指示器、按钮等应设置合理，显示正确；带自动控制装置的电箱门或 机房应上锁

3.5.7.1安全装置应符合下列要求

6.1应具备符合企业实际的变配电运行管理制度和操作规程，各种记录档案应分类归档，设计 、竣工验收的图纸、图表等文件资料应长期保存 6.2用电应符合相关标准要求” 6.3动力（照明）配电箱（柜）门及开关盒应保持常闭状态，内部定期清扫

北京地区应符合DB11/T1322.2的规定。天津地区应符合DB12/T724.2的规定。河北地区应符合DB13/T 的规定。

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3.8.1危险化学品应符合GB50472、GB50781和相关标准要求”。 3.8.2特种气体的储存应符合GB50646的规定。 3.8.3危险化学品库房中应设置液体、气体泄漏报警装置。 3.8.4特种气体供应站应设置风向标

3.9职业病危害预防与控制

3. 9. 1一般要求

3.9.1.1职业病危害因素的接触限值应符合《工业场所有害因素职业接触限值第1部分：化学有害因 素》（GBZ2.1）和《工作场所有害因素职业接触限值第2部分：物理因素》（GBZ2.2）的规定。 3.9.1.2产生粉尘、毒物的生产设备，宜采用机械化和自动化作业方式，加强密闭。 3.9.1.3应将有害作业与无害作业分开布局

3.9.2职业病防护设施

3.9.2.1电子工业防尘防毒应符合AQ4201的规定。 3.9.2.2焊接、絮凝剂添加、玻璃粉碎等产生粉尘的作业场所，应设局部排风除尘、集尘装置。 3.9.2.3使用危险化学品的作业场所应设置机械排风装置、漏液报警装置、洗眼装置等。 3.9.2.4溅射、化学镀膜、干法刻蚀、切割、信赖性测试、动力站等可能产生噪声的区域应采取合适 的降噪措施。 3.9.2.5电学材料入货检评等产生电离辐射的设备应设置有效辐射屏蔽措施及安全联锁装置。 3.9.2.6产生高温、低温的工艺及设备应设置高温或低温隔离设施。 3.9.2.7焊接作业宜在单独房间内进行，用防护屏隔开。 3.9.2.8有毒气体排风装置应采取下列措施，确保其工作的可靠性： a 排风装置应有备用排风机； b) 排风装置应设有备用电源； c 排风管道应根据排放介质的危害特征选用材质；排放管道上应设观察口、检修口、清扫口并保 持畅通；排风管道上不宜设防火阀； d）有毒气体排风机与气体侦测器联动，并处于自动状态。 3.9.2.9企业应对职业病防护设施进行定期的维护保养。

.10劳动防护用品使用

3.10.1劳动防护用品使用应符合GB11651的规定。 3.10.2当多种危险因素存在时，应综合考虑伤害类型，并配备多种个体防护

4 北京地区应符合DB11/T1322.2的规定。天津地区应符合DB12/T724.2的规定。河北地区应符合DB13/T2 的规定。 北京地区应符合DB11/T1322.2的规定。天津地区应符合DB12/T724.2的规定。河北地区应符合DB13/T2 的规定。

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3.10.3经佩戴使用后的防护装备，应按照产品要求和特性进行维护和保管，废弃防护具依据其沾染的 化学品性质，分别按照其对应的废弃物（酸性、碱性、毒性、氧化性、易燃性、自燃性）处置方式处理。 3.10.4防护用品应正确存放、定期的维护保养，防护用品失效时应及时更换。 3.10.5应根据劳动防护用品的使用类别、使用数量、有效使用时间合理发放，并保存发放领用记录。

3.11操作人员行为规范

3.11. 1 一般要求

3.11.1.1作业人员在工作前应检查作业现场的环境状态、设备设施的完好状态、安全防护装置和职 业病危害防护设备的完好状态。

a) 应注意现场安全标志、信号等，不应擅自进入危险区域； b) 不应擅自开动、关停、移动现场设备设施； c) 不应超速度、超负荷使用设备设施； d) 不应攀、坐、翻越平台、护栏和设备设施； 不应擅自调整设备设施运行的工艺参数； f) 不应在自动模式下维修设备； 操作人员不应处于设备内操控设备； h) 不应触摸或操作非本岗位的设备设施； i）不应擅自屏蔽或解除安全装置、联锁装置。 3.11.1.3工作结束后，应关闭所有动力源，检查作业现场的安全状态和设备设施的技术状态，确认 无误后方可离开；并按照规定做好交接班记录。 3.11.1.4操作配备有除尘、排毒装置的机器设备，在作业开始时，应先启动除尘、排毒装置，后启 动主机；作业结束时，应先关闭主机、后关闭除尘、排毒装置。 3.11.1.5设备运行中存在磁场及射频的，装有心脏起博器的人员不能靠近机台。 3.11.1.6更换特种气体气瓶时应保证两人以上作业 3.11.1.7 搬运作业应符合下列要求： a) 搬运重物之前，应采取防护措施，戴防护手套、穿防护鞋等，衣着要遮体、轻便； b) 应用手掌紧握物体，不可只用手指抓住物体，以免脱落； c) 当有两人或两人以上一起搬运重物时，应由一人指挥，以保证步伐统一，同时提起或放下； 搬运重物时，重物的高度不应超过人的眼睛。 3.11.1.8粉尘作业应符合下列要求： 作业人员应正确佩戴和使用防尘、防静电等个人体防护装备，不应贴身穿着化纤制品衣裤； 作业时，应严格检查通风除尘系统的完好，确保通风除尘设备与主机同步运行；每班应按照规 定检测和清理粉尘。

3.11.2危险作业行为安全要点

作业前应针对作业内容，进行危险辨识，制定相应的作业程序及安全防范措施： 6 从事高处作业人员应无职业禁忌证（如高血压、心脏病、贫血病、癫痫病、精神疾病等），年 老体弱、疲劳过度、视力不佳或其他不适合高处作业的人员，不应进行高处作业； C 作业中应采取措施符合相关安全要求，正确佩戴个人防护用品； d）作业完成后，应将现场清扫于净，所使用的工具、拆卸下的物件及余料应清理运走

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a）起重机每班使用前，应对制动器、吊钩、钢丝绳、滑轮、安全保护装置和电气系统进行检查， 发现异常及时排除，并做好相应记录； b) 多人进行起重作业时，应由一人统一指挥，指挥手势、信号应明确； c） 吊运尖锐棱角物体时，要在钢丝绳与物体棱角间加保护垫，防止因重物尖锐棱角对钢丝绳产生 折损而造成绳断； d）吊运前应确认起吊载荷的质量和质心，以及系挂位置，经试吊后方能正式作业。 3.11.2.3有限空间作业应符合下列要求： a）应为检修人员配备符合要求的个人防护用品，设置安全标志，并配备现场监护人员； b）检修人员进入前应进行尘毒吹扫、冲洗、收集、检测合格后，方可进行检修作业。 3.11.2.4维修保养作业应符合下列要求： a）进行维修保养前，应按照要求申请，遵守安全操作规程作业； b) 维修作业前，应停止设备运动，不应自动模式下维修设备； c) 作业应有人员监护，注意人员及设备状态，确保安全动作。 3.11.2.5动火作业应符合下列要求： a) 动火作业应有专人监火，作业前应清除动火现场及周围的易燃物品，或采取其他有效安全防 火措施，并配备消防器材，满足作业现场应急需求； b) 使用气焊、气割动火作业时，乙炔瓶应直立放置，氧气瓶与之间距不应小于5m，二者与作业 地点间距不应小于10m，并应设置防晒设施； c)1 作业完毕应清理现场，确认无残留火种后方可离开。 3.11.2.6临时用电作业应符合下列要求： a）在开关上接引、拆除临时用电线路时，其上级开关应断电上锁并加挂安全警示标牌； b) 临时用电应设置保护开关，使用前应检查电气装置和保护设施的可靠性。所有的临时用电均 应设置接地保护； c) 临时用电线路经过有高温、振动、腐蚀、积水及产生机械损伤等区域，不应有接头，并应采 取相应的保护措施； d) 对需理地敷设的电缆线线路应设有走向标志和安全标志。电缆理地深度不应小于0.7m，穿越 公路时应加设标志。电缆埋地深度不应小于0.7m，穿越公路时应加设防护套管； e) 临时用电单位不应擅自向其他单位转供电或增加用电负荷，以及变更用电地点和用途，

3. 11. 3主要作业行为安全要点

3.11.3.1半导体分立器件及集成电路操作人员行为规范

3.11.3.1.1注入工序作业应符合下列要求： a) 在打开边门进入机内时，应先对带电部位进行放电。放电前，要检查放电棒上的接地线是否紧 固； b)1 保证气体泄漏检测器的正常运行，连续监测，一旦发生泄漏即刻关机。 3.11.3.1.2磨划工序作业应符合下列要求： a）在手动作业过程中要求单独一人操作； b）进行对刀、校刀过程中，砂轮应停止，控制面板处不可有人。 3.11.3.1.3刻蚀工序作业应符合下列要求： a) 设备作业过程中应保持设备护板处在关闭状态； b）更换药液时应确认设备处在待机状态，并悬挂警示牌。 3.11.3.1.4匀胶显影工序作业中光刻机运行中汞灯会产生紫外线辐射，机器防护罩应有效

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3.11.3.1.5成膜工序作业应符合下列要求： a）维修高压设备时应保证两人以上作业；

3.11.3.2计算机及通信设备和广播电视设备操作人员行为规范

a 开机前应全面检查设备防护装置是否齐全、可靠、有效，检查转动部位是否灵活，导向装置是 否牢固，刀片、压条螺丝是否紧固，并执行“两次启动试运行”，确认无误后再正式运行； b) 各种设备工具、刀具应检查后方可使用，不应有破损、裂纹； CJ 机器启动后，主轴运转正常，方可工作，不应跨过机械传动部分传递原材料、工件、工具，装 卸零件、刀具，应待停稳后，方可进行，若发现机床有异常情况时，应立即停车检修； d) 机床启动后，身体不应靠近转动部分，应站在安全位置上。测量尺寸、清理金属碎屑、维修设 备等工作应停车进行； e) 加工长料时，对面要有人接料，上料人员与接料人员要配合好，手应距刃具300mm以上，小 工件应使用推料棒推料； f) 加工大料，多人配合，应有一人指挥，动作协调； g) 更换刀具应首先拉闸断电，更换刀具应一次完成，中间不应离岗，调整吃刀量应在停机后调整； h) 停机后，应让其旋转轴自动停止，不应用手及其他物品强行刹车。

4.1安全生产等级划分应符合相关标准要求”。 4.2安全生产等级评定一级否决条款见附录A。 4.3基础管理要求指标的安全生产等级评定细则见附录B。 4.4场所环境要素的安全生产等级评定细则见附录C。 4.5生产设备设施要素的安全生产等级评定细则见附录D。 4.6特种设备要素的安全生产等级评定细则见附录E。 4.7公用辅助用房及设备设施要素的安全生产等级评定细则见附录F。 4.8用电要素的安全生产等级评定细则见附录G。 4.9消防要素的安全生产等级评定细则见附录H。 4.10危险化学品要素的安全生产等级评定细则见附录I。 4.11 职业病危害预防与控制要素的安全生产等级评定细则见附录J。 4.12 劳动防护用品使用要素的安全生产等级评定细则见附录K。 4.13操作人员行为规范要素的安全生产等级评定细则见附录L。

4.1安全生产等级划分应符合相关标准要求”。 4.2安全生产等级评定一级否决条款见附录A。 4.3基础管理要求指标的安全生产等级评定细则见附录B。 4.4场所环境要素的安全生产等级评定细则见附录C。 4.5生产设备设施要素的安全生产等级评定细则见附录D。 4.6特种设备要素的安全生产等级评定细则见附录E。 4.7公用辅助用房及设备设施要素的安全生产等级评定细则见附录F。 4.8用电要素的安全生产等级评定细则见附录G。 4.9消防要素的安全生产等级评定细则见附录H。 4.10危险化学品要素的安全生产等级评定细则见附录I。 4.11 职业病危害预防与控制要素的安全生产等级评定细则见附录J。 4.12 劳动防护用品使用要素的安全生产等级评定细则见附录K。 4.13操作人员行为规范要素的安全生产等级评定细则见附录L

北京地区应符合DB11/T1322.1的规定。天津地区应符合DB12/T724.1的规定。河北地区应符合DB13/ 的规定。

表A.1给出了安全生产等级课定的一级否决条款

表A.1安全生产等级评定一级否决条款

表B.1给出了基础管理要求指标的安 等级评定细则，总分为300分

合出了基础管理要求指标的安全生产等级评定细则，总分为300分

附录B （规范性附录） 基础管理要求指标的安全生产等级评定细则

表B.1基础管理要求指标的安全生产等级评定细则

表B.1基础管理要求指标的安全生产等级评定细则（续）

表B.1基础管理要求指标的安全生产等级评定细则（续）

表B.1基础管理要求指标的安全生产等级评定细则（续）

表B.1基础管理要求指标的安全生产等级评定细则（续）

表B.1基础管理要求指标的安全生产等级评定细则（续）

表B.1基础管理要求指标的安全生产等级评定细则（续）