2.0.7大宗硅烷系统

是指容器水容积超过250L的硅烷系统，包括钢瓶集装格、Y 钢瓶、长管拖车（T/T）、ISO标准集装瓶组，以及数量超过7个的 独立小钢瓶系统。

2.0.8大宗特种气体系统

一般情况下管接头标准，储存量大于500L的特种气体储存和送气系

2.0.9液态特种气体系统

是指以液态输送、分配，在用户终端进行汽化的特种 系统。

用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口 组合的气体钢瓶组单元。

按国际标准组织（ISO）要求，允许安装在架子上的多个 积不超过1218L的储罐或长管气瓶的总称，

gas rack(GR)

特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向 个或多个工艺设备提供特种气体。

特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向 或多个工艺设备提供特种气体。

valve manifoldpanel(VMP)

特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置，用 一个或多个工艺设备提供特种气体

2.0.16低蒸气压力气体

在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa的气体

2.0.17尾气处理装置

local scrubber

体的现场处理装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排人用气 车间的排气管道

2.0. 18气体探测系统

gas detector system(GDS)

设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其他特种气体 输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空 气中的浓度来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供 探测数据的系统。

包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视 系统、数据传输与处理系统的气体管理与控制系统的统称。

2. 0.20 开散式建筑

立柱和墙面遮挡部分的面积小于外围面积25%的建筑。

2. 0. 21 不相容性

不同气体混合后即发生化学反应，释放出能量并对环境 危害作用的特性。

常温下在空气中会发生自动燃烧的气体。

horizontal cylinder

pyrophoric gas

flammable gas

指与空气（或氧气）能够形成一定浓度的混合气态，并遇到火 源会发生燃烧或爆炸的气体。

2. 0. 25 毒性气体

2.0.26剧毒性气体

半数致死浓度不超过50ppm的

virulent gas

corrosive gas

是指在一定条件下，对材料或人体组织接触产生化学反 起可见破坏的气体。

oxygenize g

是指在定条件下，在与其他物质发生的氧化还原反应单得 子的气体。

在一般情况下与其他物质不会产生化学反应的气体

2. 0.31 过流开关

流体系统的流量超出设定值时，给出开关信号。

洗去除表面残存颗粒的钝化无

2. 0. 33 BA 管

acid polished pipe

bright annealing pipe

经加氢或真空状态高温热处理，消除内部应力并在管道表面 一层钝化膜的光亮无缝不锈钢管

2. 0. 34 EP 管

经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少，表面产 层较厚的封闭的氧化铬膜的电化学抛光无缝不锈钢管。

用氮气或氩气对特种气体系统内的本质气体或工作气体进行 的过程。

特种气体设备与系统中排出的本质气体或工作气体。

集成切断阀门、调压阀、过滤器、压力计等零部件并安装在气 瓶柜内的专用设施。

2.0.38最高允许浓度值

作业人员按每关8h、每周5d工作制工作，不会受到伤害作用 的时间加权平均浓度，

2.0.40爆炸浓度下限值

2.0.43半数致死浓度

ed animals (LC50)

3.1.1特种气体站房应布置在独立的建(构)筑物、空旷区域或生 产厂房的房间内。

3.1.1特种气体站房应布置在独立的建（构）筑物、空旷区域或生 产厂房的房间内。 3.1.2布置在生产厂房内的特种气体间，可采用气瓶柜、气瓶架、 卧式气瓶、气瓶集装格向生产线供应特种气体。 3.1.3布置在单独建（构)筑物或区域内的特种气体站，可采用气瓶集 装格、卧式气瓶、ISO标准集装瓶组、长管拖车向生产线供应特种气体，

3.1.4特种气体站房的设置应符合下列规定：

1在生产厂房内的特种气体间内的最大充许储存量不得超 过表3.1.4的规定; 2当特种气体的储存量超过表3.1.4规定的数量时，应增设 房间或设置独立的特种气体站。

表3.1.4生产厂房气体间最大允许储存量

注1气体总量标准状态下的气体体积置。

3.1.5生产厂房内的特种气体间应集中布置在生产厂房一层靠 外墙的区域。

3.2特种气体站房分类

3.2.1特种气体应根据其物理化学性能及安全特性进行分类和 工程设计。

3.2.2特种气体间的生产类别应符合下列规定;

3惰性气体间应为戊类。 3.2.3生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为可燃性气 体间、毒性气体间/腐蚀性气体间、惰性/氧化性气体间等。 3.2.4硅烷、氨气等大宗特种气体的设备应布置在独立的特种气体站内。

体间、毒性气体间/腐蚀性气体间、惰性/氧化性气体间等。

3.3.6特种气体系统的电气控制盘、仪表控制盘的布置，应符合

1应布置在与特种气体间相邻的控制室内，隔墙上可设置防 爆密闭观察窗。 2控制室应以耐火极限不低于3.0h的隔墙和不低于1.5h的 楼板与特种气体间隔开，穿越隔墙的管道孔隙应以防火材料填堵。

4.1.1 特种气体工艺系统应设置下列主要装置： 1 储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格； 2 气体分配用阀门箱、阀门盘； 3 辅助氮气吹扫系统： 尾气处理装置。 4.1.2特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特 种气体工艺参数、污染控制、使用安全的要求。 4.1.3不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统。 4.1.4·不相容的特种气体的排风管道不得接人同一排风系统

4.2特种气体输送系统

4.2.1特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下

保层； 8气瓶柜门应具备自动关闭功能，并配备防爆玻璃观察窗； 地脚螺栓的设计应满足当地地震设防烈度的要求； 9气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的安全标识牌； 10当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时，其设计应符 合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》 GB50058的有关规定。

4.2.2特种气体的气瓶柜、气瓶架的气体面板设置应符

1自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀 门，并应为常闭气动阀门，位置应靠近气瓶； 2气瓶压力大于0.1MPa的自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性气 体面板应设有过流开关； 3自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹 扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀； 4气体面板应设置工艺气体排气口。 4.2.3可燃性特种气体的气瓶柜应符合下列规定： 1硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/h，且气瓶 柜的负压应连续监控； 2自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器； 3可燃性特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统； 4自燃性特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板。 4.2.4大宗特种气体系统应符合下列规定： 1应设置独立的气（液）瓶、储罐或长管拖车及其压力指示或 钢瓶称重装置、连接回型管、气流控制的气体面板、吹扫氮气单元、 电气控制柜等装置； 2大宗特种气体系统的功能配备尚应符合本规范第4.2.1 条的有关规定； 3液态气体瓶的大宗特种气体系统应设计钢瓶加热与保温

体单元、吹扫氮气单元、电气控制柜等装置； 2液态特种气体系统应利用驱动气体压力将液态特种气体 从槽罐输送至液态特种气体柜，或从液态特种气体柜直接驱动输 送至用气工艺设备；液态特种气体亦可采用泵送； 3用气点应设置鼓泡器或蒸发器，将液态特种气体鼓泡或直 接蒸发，以汽化形式输送至工艺反应设备。 4液态特种气体柜功能配备尚应符合本规范第4.2.1条的 有关规定。 4.2.6自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的阀门箱设置 应符合下列规定：： 1应设置进气管路隔离阀及压力指示装置； 2气体支路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器、过流 开关； 3气体支路应设有独立的出口隔离阀； 4 气体分支路应设置独立的吹扫气体装置、辅助抽真空装 置等。 4.2.71 惰性及氧化性特种气体系统的阀门盘设置应符合下列 规定： 1 应设有进气管路隔离阀及压力指示装置； 2 气体支路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器； 3气体支路应设有独立出口隔离阀门。 4.3吹扫和排气系统

接蒸发，以汽化形式输送至工艺反应设备。

4.2.6自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的阀门箱设置

应符合下列规定： 1应设置进气管路隔离阀及压力指示装置： 2气体支路应设有独立的压力控制调节阀、过滤器、过流 开关； 3 气体支路应设有独立的出口隔离阀； 4 气体分支路应设置独立的吹扫气体装置、辅助抽真空装 置等。 4.2.71 惰性及氧化性特种气体系统的阀门盘设置应符合下列 规定：

4.2.7惰性及氧化性特种气体系统的阀门盘设置应符合下列

特种气体系统吹扫氮气的设置，应符合下列规定： 白燃性一可燃性一毒性一遮蚀性特种气体系统的吹扫氟气应

4.3.2吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀、排气管、高

4.3.5特种气体尾气处理装置的设置应符合下列规定

1尾气处理装置的类型，应根据所处理的排气中特种气体的 特性进行选择，不相容特种气体应分别设置尾气处理装置； 2尾气处理装置应靠近特种气体柜、气瓶架等特种气体设备 布置； ： 3特种气体的尾气处理方法宜采用干式处理吸附、湿式洗 涤、加热分解处理、燃烧处理、等离子分解处理、稀释处理及以上几 种处理方式的组合。

5.1.1 硅烷站工艺系统的设计应根据下列因素确定： 1 硅烷站的规模； 2 硅烷的物理化学性质； 3 当地硅烷供应的充装、运输状况； 4 用户对硅烷纯度、压力和负荷变化的要求。 5.1.2 硅烷站应根据工艺要求、当地气候状况、硅烷设备状况选 择采用封闭式、开敲式或露天形式进行布置。 5.1.3硅烷输送系统应设有硅烷容器、气体面板、阀门箱及连接 管道。

5.1.5硅烷系统应采用独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不得

5.1.6硅烷阀门箱设置除应符合本规范第4.2.6条的规定5

1硅烧系统的排气管不得接人排风系统； 2排气管应采用情性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于 0.3m/s; 3排气的硅烷浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理 后排人大气。

5.1.8硅烷钢瓶出口应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的安全出

5.1.9硅烷系统阀门、附件的设置应符合下列规定：

1硅烷输送系统应采用金属膜片的波纹管阀、隔膜阀、调压阀； 2非大宗气源应配置直径小于0.25mm的限流孔板，大宗 气源应配置直径小于3.175mm的限流孔板； 3硅烷系统应配置过流开关和气体加热装置。

5.2.1硅烧站的总平面布置应符合下列规定： 1应布置在工产常年最小频率风向的下风侧，并应远离有明 火或散发火花的地点； 2不得布置在人员密集地段或主要交通要道邻近处；· 3硅烷站应采用单层钢筋混凝土或钢框架、排架结构，钢框 架、排架结构应采用防火保护措施； 4硅烷站应设置不燃烧体的实体围墙，其高度不应小于2.5m; 5大宗硅烷系统设备必须布置在独立的开敬式建筑或空所 区域，不得建在地下室。当采用开式建筑结构形式时，硅烷站立 柱和墙面遮挡部分面积不得大于建筑外围面积的25%。四周有 障碍物时，硅烷站与障碍物的距离应大于障碍物高度的2倍； 6硅烷站的设置应方便运输车辆和消防车辆的进出； 7硅烷站的储存、分配区域应设有防止车辆撞击的保护播 施。

5.2.2硅烷站与工厂建（构）筑物的防火间距，不得小于表5

硅烷站与工厂建（构）筑物的防火间距，不得小于表5.2.2

2.2硅烷站与工厂建（构）筑物的

续表 5. 2. 2

注：1防火间距应按相邻建（构)筑物的外墙、凸出部分外缘、 最近距离计算。 2固定容积的硅烷气罐，总容积按其水容积（m）和工作压力（绝对压力）的乘 积计算。： 3与高层厂房的防火间距，应按本表相应增加3m。

空气轻的硅烷混合气，硅烷站可采用坡屋顶，并应在屋顶最高 持通风良好。

5.2.5硅烷站安全出口的设置应符合下列规定：

硅烷站安全出口的设置应符合

1 硅烷站不得少于两个安全出口； 2 硅烷站的面积小于19m时，应设一个安全出口； ? 硅烷站内任何地点到最近安全出口的距离不得大于23m。 5.2.6 硅烷站应采用快开式推杆锁，不得采用其他形式的锁具；

疏散门应采用平开门，且向疏散方向开启。 5.2.7露天布置的硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺面板 之间的距离不应小于9m；露天布置的硅烷站内大宗容器之间以及 容器与工艺面板之间的距离小于9m时，应设置2h以上的防火隔 断，防火隔断的设置不应影响自然通风。

5.3.1硅烷站的电气控制室应设置在独立的房间内；与硅烧气瓶 库等有爆炸危险的房间相邻时，相邻的隔墙不得有门窗、洞口，隔 墙的耐火极限不得低于3h。

5.3.2硅烷站变压器室不得设在硅烷站内，也不得与硅烷站 毗邻设置。

5.3.2硅烷站变压器室不得设在硅烷站内，也不得与硅州

5.3.4硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应等于或。 佳烷爆炸浓度下限值的25%，并与硅烷气源的自动切断阀连 硅烷站环境气体探测器的报警设定值应等于或小于5ppm， 气体探测器报警时，硅烷控制系统不应切断硅烷输送管路。

气体探测器报警时，硅烷控制系统不应切断硅烷输送管路。 5.3.5室外大宗硅烷系统的钢瓶区域内必须设置紫外、红外火焰 探测器；室内硅烷输送系统应采用火焰探测器或感温探测器。火 焰探测器或感温探测器应与报警系统和硅烷气源的紧急切断阀 联动。

5.3.5室外大宗硅烷系统的钢瓶区域内必须设置紫外、

5.4采暖通风与空气调节

5.4.1开澈式布置时，硅烷站应通风良好；不能满足并散式的条 件时，硅烷站应设置强制通风系统。

5.4.1开敬式布置时，硅烷站应通风良好；不能满足开散式的条 件时，硅烷站应设置强制通风系统。 5.4.2硅烷站为封闭式建筑时，严禁采用循环空气调节系统。 5.4.3封闭式硅烷站的室内温度、相对湿度应满足气瓶柜的要 求。气瓶柜无室内温度要求时，室内设计温度宜为25℃土3℃。 5.4.4硅烷气瓶柜排风量计算应符合下列规定：

硅烷站的消防系统应符合下

1发生硅烷火灾时，在没有关闭泄漏钢瓶之前，严禁扑灭硅 烷火焰； 2发生火灾时，硅烷钢瓶和使用到硅烷的相关设备，应有冷 却措施； 3硅烷站的消火栓系统设计应符合现行国家标准《建筑设计 防火规范》GB 50016的有关规定。

2发生火灾时，硅烷钢瓶和使用到硅烷的相关设备，应有冷 却措施； 3硅烷站的消火栓系统设计应符合现行国家标准《建筑设计 防火规范》GB50016的有关规定。 5.5.2室外硅烷站的消防系统除应符合本规范第5.5.1条的有 关规定外，还应符合下列规定： 1设置在室外的硅烷站，硅烷的输送系统应设置雨淋系统， 雨淋系统宜采用手动启动方式； 2雨淋系统设计的喷水强度不应小于12L/（min·m），火 灾延续时间不应小于2h；雨淋系统保护部位应包括硅烷钢瓶、 宗硅烷储罐及工艺气瓶柜； 3消防系统的管道应采用金属管材，接口应采用丝扣、焊接， 在站房边界15m范围内的管道不得采用以橡胶为密封材料的沟 槽式连接方式； 4切断硅烷供应的同时，后动雨淋系统； 5硅烷站设有屋顶等防雨措施时，应设置自动喷水灭火系 统；自动喷水灭火系统应按严重危险I级设置，设计喷水强度不应 小于16L/（min·m），保护面积不应小于260m； 6室外硅烷站应设置室外消火栓，室外消火栓应设置在距大 宗钢瓶30m之外且46m之内。 5.5.3室内硅烷房间的消防系统除应符合本规范第5.5.1条的 有关规定外，还应符合下列规定： 1存储、分配和使用硅烧的房间应设置自动喷水灭火系统 自动喷水灭火系统应按不低于严重危险级I级设置，设计喷水强 度不应小于12L（min·m），保护面积不应小于260m。 2硅烧气瓶柜应自带冷却用的自动喷水火火喷头，且应为快 速反应喷头。

6.1.1特种气体管道输送系统应包括特种气体储存、分配管道系

工艺设备和尾气处理系统的管道以及管件、阀门、过滤器、减压 、压力释放装置、压力表（传感器)等部件。 2生产厂房内特种气体管道的主干管，应敷设在技术夹层或 夹道内；与水电管线共架时风电场标准规范范本，相对密度小于或等于0.75的特 体的管道宜设在水、电管线下部；相对密度大于0.75的特种 的管道宜设在水、电管线上部

6.1.2生产厂房内特种气体管道的主于管，应敷设在技术夹层或

技术夹道内；与水电管线共架时，相对密度小于或等于0.75 种气体的管道宜设在水、电管线下部；相对密度大于0..75的 气体的管道宜设在水、电管线上部

产区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊 套管与管道之间应采用密封措施。可燃性、毒性、腐蚀性气体 的机械连接处，应置于排风罩内：

幕墙标准规范范本6.1.4可燃性、毒性特种气体管道不得穿过不使用此类

间，当必须穿过时应设套管或双层管。特种气体管道严禁穿 适区和办公区。

6.1.5特种气体管道不得出现盲管及U型弯等死区。