半导体器件机械和气候试验方法 第11部分：快速温度变化双液槽法

最大负载maximumload 满足温度容差要求（样品中心温度）和恢复时间要求（见5.1）的样品的最大质量。 3.7 保持时间dwelltime 负载浸人在液槽中的总时间，

最大负载maximumload 满足温度容差要求（样品中心温度）和恢复时间要求（见5.1）的样品的最大质量。 3.7 保持时间dwelltime 负载浸入在液槽中的总时间

所用的液槽应能在最大负载时，在工作区 热容和体循环应能使上 负载满足规定的试验条件和计时要求（见5.1）。在试验期间用指示仪或记录仪显示监测传感器！ ，来连续监测最坏情况负载温度。当需要验证液槽的性能时，应验证最大负载条件和配置下的最 负载温度。用于条件B、条件C和条件D的全氟碳化合物应满足表2的规定。

样品应放于槽中的合适位 定，使负载按试验条件C或其他规定的试验条件进行15次循环（对于模拟清洗应进行10次循环）。为 了进行器件批的加载或去载，或由于电源或设备故障，允许中断试验。然而，对任何给定的试验，若中断 饮数超过规定循环总次数的10%，试验应重新开始

从热到冷或从冷到热的转移时间不 可以转移负载。负载应在5min内 时间不应少手2mn

表1快速温度变化温度允差和推荐的液体

注：在试验进行前，先确定器件对快速温度变化藏体的化学稳定性 乙二醇不能用作快速温度变化试验的液体。 在该温度范围内，水是可采用的液体。 “全氟碳化合物不得含有氯和氢。

按相关文件规定，对试验样品进行密封试验（对于密封器件）、外部目检和电性能测试（包括电参数

试验后，按相关文件中规 则。如果密封试验（对于密封器件）未通 过，或者电参数超差，或者器件功能 视为失效。如果出现非安装或人为操作导致的外 壳裂纹、剥落、碎裂等机械损伤（见IEC 中定义），也应视为失效

垫片标准氙碳化合物液体的物理

相关文件应规定如下的内容： a）特殊的安装，适用时； b）温度极限（见表1）、循环次数或规定的特殊要求（见第5章）； c）进行中间测试的时间，适用时（见5.2）； d）电性能测试（见5.2）； ）密封试验（对于密封器件）、电性能测试（见5.2)和其他检验规定的失效判据； 鉴定试验时的样本大小及质量等级。