GB/T 4937.17-2018 半导体器件 机械和气候试验方法 第17部分:中子辐照
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每只器件应不加偏置安装固定,并且其外引线或者全部短路,或者全部开路。MOS器件或含有 MOS元件的任何微电路,其全部外引线应短路。需采用合适的安装夹具,它能夹持样品和必须的剂量 计(至少一个活化箔和一只热释光剂量计)。安装夹具的结构取决于所采用的反应堆类型,并应与反应 堆有关工作人员一起讨论决定。试验器件的安装应使得全部样品上的中子注量总变化不超过20%。
试验器件和剂量计应接受规定的中子注量辐射。如果需要进行多次辐射,每次辐射后都应对器件 进行电参数测试(见3.5.1)。每次辐射都需要采用一套新的剂量计。由于中子辐照效应是累积的,所以 应确定每次附加的辐射量,以得到规定的总累积注量。所有辐射试验应在20℃士10℃温度下进行,并 如2.4.1所述推算出1MeV等效注量时的情况,
只有在试验场地对样品作清洁处理后,才能把它们取走。在辐射至电参数测试期间,样品器件的温 度应保持在20℃士10℃。规定的电测试应在辐射后24h内完成。如果残余的放射性物质(放射水平 应符合国家有关标准)高于安全操作的规定,在试验后进行电测试的经历时间可延长到一周,或采取措 施进行远距离测试。应记录每只器件每次辐射后的全部要求的数据。
器件具有事先确定的异常现象(如1/β的非线性退化)应进行失效分机
民政标准期代码和承制方给出的其他识务 数据表都应包括辐射试验日期、电测试条件、辐照水平、环境条件和测试数据。当不采用规定
应在试验要求或相关文件中规定以下内容: a)器件型号(见3.6); b)器件数量,如不按3.2中规定; 辐射前后需要测量的电参数(见3.3.1和3.5.1); d)合格或失效的判据,对被试器件的记录要求(见3.3.1,3.5.1和3.6); e)有关异常特性的判据(见3.5.2); f))辐照水平(见3.4); g)试验设备要求(见第2章); h)辐射剂量计,如不按2.3中规定; 1) 环境温度,如不按本部分中规定(见3.4和3.5.1); 对数据报告和提交的要求(见3.6)(适用时)
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